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本实用新型涉及半导体抛光技术领域,且公开了一种抛光装置,包括工作板和玻璃挡板,工作板左右两侧均固定连接有连接机构,连接板内部固定连接有抛光机构;抛光机构包括移动组件和夹持组件,夹持组件设置于移动组件底部,移动组件包括第一T型槽,第一T型槽开...该专利属于东润万博科技(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东润万博科技(北京)有限公司授权不得商用。
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