一种半导体石英环柔性测量设备制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体石英环柔性测量设备，包括六轴机器人主体和安装在六轴机器人主体活动端的机械手拉钉接头，红外扫码枪，所述红外扫码枪安装在固定连接板的上端，且固定连接板固定连接在支撑栅栏的中部，工件料架，所述工件料架安装在六轴机器人主体的外侧，且工件料架的下端固定连接有支撑脚，并且工件料架通过支撑脚直接置于地面，所述六轴机器人主体的左右两端均安装有测量机，且测量机的中部固定安装有台面夹具。该半导体石英环柔性测量设备，整体的自动化程度高，而且便于批量对产品进行测量，大大提升了实际的测量效率，并且在测量过程中有效的降低人为操作容易造成产品划伤，降低操作人员劳动强度。降低操作人员劳动强度。降低操作人员劳动强度。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体石英环柔性测量设备


[0001]本专利技术涉及半导体测量相关
，具体为一种半导体石英环柔性测量设备。

技术介绍

[0002]半导体指的是在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，并且半导体的应用非常广泛，如大部分的电子产品、计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等等；而在对石英圆盘类半导体工件进行柔性测量过程中，通常需要借助于相应的柔性测量设备来完成测量工作，测量设备根据工件类型，自动调用相对应的测量程序进行测量；但是，通常所使用的半导体石英环柔性测量设备，仍存在以下不足：1.现有的半导体石英环柔性测量设备，工件在测量机之间的上下料，主要靠人力将石英环安放到测量台面上，需要手动定位石英环，因而需要耗费较长的定位时间后，再开始自动测量；2.现有的半导体石英环柔性测量设备，在安装测量工件时会使石英环的上下料时间比较长，而此时测量系统处于等待中，严重影响了测量效率；3.现有的半导体石英环柔性测量设备，在实际测量过程中，需要依赖于人为操作，自动化程度较低，使得检测效率低，而且人为误操作容易造成产品划伤，对操作人员要求较高，需要对操作人员在测量之前进行培训。
[0003]因此，我们提出一种半导体石英环柔性测量设备，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种半导体石英环柔性测量设备，以解决上述
技术介绍
提出的工件在测量机之间的上下料，主要靠人力将石英环安放到测量台面上，需要手动定位石英环，因而需要耗费较长的定位时间后，再开始自动测量，在安装测量工件时会使石英环的上下料时间比较长，而此时测量系统处于等待中，严重影响了测量效率，在实际测量过程中，需要依赖于人为操作，自动化程度较低，使得检测效率低，而且人为误操作容易造成产品划伤，对操作人员要求较高，需要对操作人员在测量之前进行培训的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种半导体石英环柔性测量设备，包括六轴机器人主体和安装在六轴机器人主体活动端的机械手拉钉接头；还包括：红外扫码枪，所述红外扫码枪安装在固定连接板的上端，且固定连接板固定连接在支撑栅栏的中部；工件料架，所述工件料架安装在六轴机器人主体的外侧，且工件料架的下端固定连接有支撑脚，并且工件料架通过支撑脚直接置于地面。
[0006]优选的，所述六轴机器人主体的左右两端均安装有测量机，且测量机的中部固定安装有台面夹具，并且测量机的下端直接置于地面；其中，所述测量机的上端安装有状态显示灯。
[0007]优选的，所述支撑栅栏与中部的工件料架之间固定连接，且支撑栅栏分为前后2个单体，并且工件料架在六轴机器人主体的外侧呈等角度设置。
[0008]优选的，所述六轴机器人主体前侧支撑栅栏的上端安装有前主控显示屏，且六轴机器人主体后侧支撑栅栏的上端安装有后主控显示屏。
[0009]优选的，所述工件料架的中部等间距设置有石英环夹具，且石英环夹具的上方放置有石英环本体。
[0010]优选的，所述石英环夹具用于对上端的石英环本体进行限位，且石英环夹具内侧的中部设置有托盘接头；其中，所述石英环夹具安装在承载托盘的上端，且承载托盘在工件料架内部构成伸缩结构，并且承载托盘带动石英环夹具从工件料架内部的料库中移出。
[0011]优选的，所述工件料架的下端设置有用于辅助支撑的支撑柱，且支撑柱固定连接在支撑脚的侧面，并且支撑柱结合支撑脚对工件料架共同支撑。
[0012]优选的，所述半导体石英环柔性测量设备使用操作步骤如下：步骤一：工件装夹；步骤二：机器人自动抓取；步骤三：测量机测量；步骤四：工件归位；步骤五：生成测量报告。
[0013]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该半导体石英环柔性测量设备，工件料架在六轴机器人主体的外侧呈等角度设置，承载托盘带动石英环夹具在工件料架的内部构成伸缩结构，六轴机器人主体可对不同位置的工件料架内部的产品进行抓取，通过六轴机器人主体结合机械手拉钉接头对被测量的产品进行自动抓取至测量机中部的台面夹具上进行自动无人化测量，整体的自动化程度高，而且便于批量对产品进行测量，大大提升了实际的测量效率，并且在测量过程中有效的降低人为操作容易造成产品划伤，降低操作人员劳动强度，操作十分快捷方便；1.设有六轴机器人主体、机械手拉钉接头和测量机，六轴机器人主体结合机械手拉钉接头对被测量的产品进行自动抓取，将产品移送至测量机中部的台面夹具上，对产品进行自动测量，整体测量过程中的自动化程度较高，大大节省了人力操作，提升了实际的测量效率；2.设有工件料架、石英环夹具合承载托盘，工件料架的内部设置有承载托盘，并且承载托盘带动上端的石英环夹具在工件料架的内部构成伸缩结构，结合工件料架在六轴机器人主体的外侧呈等角度设置，可对不同位置的工件料架内部的产品进行抓取，便于批量对产品进行抓取测量，使用非常方便；3.设有支撑脚、支撑柱和状态显示灯，通过支撑脚和支撑柱能够对工件料架进行辅助支撑，提升工件料架在测量以及抓取过程中的稳定性，结合状态显示灯的设置，能够非常直观的对测量结果进行展示，便于对产品的检测结果进行观察和了解。
附图说明
[0014]图1为本专利技术整体结构示意图；图2为本专利技术图1中A处放大结构示意图；图3为本专利技术工件料架、石英环夹具、石英环本体、托盘接头和承载托盘连接正视结构示意图；图4为本专利技术支撑栅栏、固定连接板、红外扫码枪和前主控显示屏连接正视结构示意图；图5为本专利技术测量过程工作流程结构示意图。
[0015]图中：1、六轴机器人主体；2、机械手拉钉接头；3、测量机；4、台面夹具；5、支撑栅栏；6、固定连接板；7、红外扫码枪；8、前主控显示屏；9、后主控显示屏；10、工件料架；11、石英环夹具；12、石英环本体；13、托盘接头；14、承载托盘；15、支撑脚；16、支撑柱；17、状态显示灯。
具体实施方式
[0016]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
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5，本专利技术提供一种技术方案：一种半导体石英环柔性测量设备，包括六轴机器人主体1、安装在六轴机器人主体1活动端的机械手拉钉接头2以及安装在六轴机器人主体1左右两端的测量机3；其中，测量机3的上端安装有状态显示灯17；还包括：红外扫码枪7，红外扫码枪7安装在固定连接板6上端的边缘处，且固定连接板6固定连接在支撑栅栏5的中部；工件料架10，工件料架10等角度设置在六轴机器人主体1的外侧，且工件料架10的下端固定连接有支撑脚15，并且工件料架10通过支撑脚15直接置于地面；其中，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体石英环柔性测量设备，包括六轴机器人主体（1）和安装在六轴机器人主体（1）活动端的机械手拉钉接头（2）；其特征在于，还包括：红外扫码枪（7），所述红外扫码枪（7）安装在固定连接板（6）的上端，且固定连接板（6）固定连接在支撑栅栏（5）的中部；工件料架（10），所述工件料架（10）等角度设置在六轴机器人主体（1）的外侧，且工件料架（10）的下端固定连接有支撑脚（15），并且工件料架（10）通过支撑脚（15）直接置于地面。2.根据权利要求1所述的一种半导体石英环柔性测量设备，其特征在于：所述六轴机器人主体（1）的左右两端均安装有测量机（3），且测量机（3）的中部固定安装有台面夹具（4），并且测量机（4）的下端直接置于地面；其中，所述测量机（4）的上端安装有状态显示灯（17）。3.根据权利要求1所述的一种半导体石英环柔性测量设备，其特征在于：所述支撑栅栏（5）与中部的工件料架（10）之间固定连接，且支撑栅栏（5）分为前后2个单体，并且工件料架（10）在六轴机器人主体（1）的外侧呈等角度设置。4.根据权利要求1所述的一种半导体石英环柔性测量设备，其特征在于：所述六轴机器人主体（1）前侧支撑栅栏（5）的上端安装有前主控显示屏（8），且六轴机器人主体（1）...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈海源，于益民，张月清，杨军，
申请(专利权)人：江苏富乐德石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：