一种石墨加热器及碳化硅长晶设备制造技术

本实用新型专利技术的实施例提供了一种石墨加热器及碳化硅长晶设备，涉及碳化硅生长技术领域。该石墨加热器包括侧加热部和底加热部。侧加热部中，任意顶连接部的两端分别连接于两个中间连接部，任意底连接部的两端分别连接于两个中间连接部，且任意一个中间连接部的两端分别连接于顶连接部和底连接部，以使侧加热部呈蛇形；侧加热部围成加热空腔。多个底加热部分别连接于多个底连接部；底加热部用于承载位于加热空腔中的坩埚；且其中三个底加热部分别接入三相交流电源的R端、S端和T端。本实用新型专利技术提供的碳化硅长晶设备采用了上述的石墨加热器。本实用新型专利技术提供的石墨加热器及碳化硅长晶设备可以改善加热效率不高的问题。备可以改善加热效率不高的问题。备可以改善加热效率不高的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨加热器及碳化硅长晶设备


[0001]本技术涉及碳化硅生长
，具体而言，涉及一种石墨加热器及碳化硅长晶设备。

技术介绍

[0002]在现有技术中，对于碳化硅晶体的制作一般采用碳化硅单晶生长的方式，而碳化硅单晶生长以物理气相沉积法(PVT)为主要生长方式。
[0003]对于碳化硅晶体生长的加热方式较为常见的是电感式线圈加热的方式和电阻式加热的方式。在现有技术中，电阻式加热的方式一般采用外加热的方式。但是，现有的加热器的加热效率已经很难满足坩埚的加热需求，坩埚中没有均匀的径向温度，还需要坩埚由软件控制坩埚或感应线圈升降才有热场轴向温度梯度，影响长晶体的质量。

技术实现思路

[0004]本技术的目的包括，提供了一种石墨加热器，其能够改善现有技术中对于碳化硅生长坩埚的加热效率不高的技术问题。
[0005]本技术的目的还包括，提供了一种碳化硅长晶设备，其能够改善现有技术中对于碳化硅生长坩埚的加热效率不高的技术问题。
[0006]本技术的实施例可以这样实现：
[0007]本技术的实施例提供了一种石墨加热器，包括：
[0008]侧加热部，包括多个顶连接部、多个中间连接部和多个底连接部；任意所述顶连接部的两端分别连接于两个所述中间连接部，任意所述底连接部的两端分别连接于两个所述中间连接部，且任意一个所述中间连接部的两端分别连接于所述顶连接部和所述底连接部，以使所述侧加热部呈蛇形；所述侧加热部围成加热空腔；以及，
[0009]底加热部，所述底加热部的数量至少为三个，多个所述底加热部分别连接于多个所述底连接部；所述底加热部用于承载位于所述加热空腔中的坩埚；且其中三个所述底加热部用于分别接入三相交流电源的R端、S端和T端。
[0010]可选地，多个所述中间连接部沿圆周路径排列设置，多个所述底连接部沿圆周路径排列设置，多个所述顶连接部沿圆周路径排列设置，且使所述侧加热部围成环形。
[0011]可选地，至少一个所述中间连接部平行于所述加热空腔的中轴线。
[0012]可选地，所述顶连接部垂直于所述中间连接部；和/或，所述底连接部垂直于所述中间连接部。
[0013]可选地，所述侧加热部和所述底加热部一体成型。
[0014]可选地，其中三个所述底加热部上开设有接入孔，所述接入孔用于供三相交流电源的R端电极、S端电极或T端电极接入；
[0015]或，其中三个所述底加热部远离所述加热空腔的一侧凸设有连接柱，所述连接柱用于接入三相交流电源的R端、S端或T端。
[0016]可选地，用于接入三相交流电源的R端、S端和T端的三个所述底加热部中，任意相邻两个所述底加热部之间设置有另外的至少一个所述底加热部。
[0017]可选地，所述底加热部垂直于所述加热空腔的中轴线。
[0018]可选地，所述底加热部远离所述底连接部的一侧开设有凹槽，且多个所述底加热部的多个所述凹槽共同形成通孔，所述通孔与所述加热空腔连通，且所述通孔用于供驱动坩埚转动的转轴穿过。
[0019]一种碳化硅长晶设备，包括石墨加热器。所述石墨加热器包括：
[0020]侧加热部，包括多个顶连接部、多个中间连接部和多个底连接部；任意所述顶连接部的两端分别连接于两个所述中间连接部，任意所述底连接部的两端分别连接于两个所述中间连接部，且任意一个所述中间连接部的两端分别连接于所述顶连接部和所述底连接部，以使所述侧加热部呈蛇形；所述侧加热部围成加热空腔；以及，
[0021]底加热部，所述底加热部的数量至少为三个，多个所述底加热部分别连接于多个所述底连接部；所述底加热部用于承载位于所述加热空腔中的坩埚；且其中三个所述底加热部用于分别接入三相交流电源的R端、S端和T端。
[0022]本技术提供的石墨加热器及碳化硅长晶设备相对于现有技术的有益效果包括：
[0023]在采用该石墨加热器对坩埚进行加热的情况下，其中三个底加热部分别接入三相交流电源的R端、S端和T端，可以使得石墨加热器整体接入三相交流电源，以使得石墨加热器整体形成三相Δ型电路，能提高石墨加热器整体的升温速度，对加热空腔中的坩埚的加热效率也就更快，可以达到提高加热效率的目的。并且，由于侧加热部和底加热部同时对坩埚进行加热，能从坩埚的侧方位和底部同时对坩埚进行加热，底部加热器厚度比侧方位加热器厚，能产生加热坩埚的轴向温度梯度，均匀的径向温度向坩埚提供加热作用，提升加热效果，改善长晶质量。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0025]图1为本申请实施例中提供的一种石墨加热器第一视角的结构示意图；
[0026]图2为本申请实施例中提供的一种石墨加热器第二视角的结构示意图；
[0027]图3为本申请实施例中提供的一种石墨加热器第三视角的结构示意图；
[0028]图4为本申请实施例中提供的一种石墨加热器第四视角的结构示意图；
[0029]图5为本申请实施例中提供的一种石墨加热器第五视角的结构示意图；
[0030]图6为本申请实施例中提供的另一种石墨加热器第一视角的结构示意图；
[0031]图7为本申请实施例中提供的另一种石墨加热器第二视角的结构示意图。
[0032]图标：10
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石墨加热器；100
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侧加热部；110
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中间连接部；111
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加热空腔；120
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顶连接部；130
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底连接部；200
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底加热部；210
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接入孔；220
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连接柱；230
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凹槽；231
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通孔。
具体实施方式
[0033]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0034]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0035]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0036]在本技术的描本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨加热器，其特征在于，包括：侧加热部(100)，包括多个顶连接部(120)、多个中间连接部(110)和多个底连接部(130)；任意所述顶连接部(120)的两端分别连接于两个所述中间连接部(110)，任意所述底连接部(130)的两端分别连接于两个所述中间连接部(110)，且任意一个所述中间连接部(110)的两端分别连接于所述顶连接部(120)和所述底连接部(130)，以使所述侧加热部(100)呈蛇形；所述侧加热部(100)围成加热空腔(111)；以及，底加热部(200)，所述底加热部(200)的数量至少为三个，多个所述底加热部(200)分别连接于多个所述底连接部(130)；所述底加热部(200)用于承载位于所述加热空腔(111)中的坩埚；且其中三个所述底加热部(200)用于分别接入三相交流电源的R端、S端和T端。2.根据权利要求1所述的石墨加热器，其特征在于，多个所述中间连接部(110)沿圆周路径排列设置，多个所述底连接部(130)沿圆周路径排列设置，多个所述顶连接部(120)沿圆周路径排列设置，且使所述侧加热部(100)围成环形。3.根据权利要求2所述的石墨加热器，其特征在于，至少一个所述中间连接部(110)平行于所述加热空腔(111)的中轴线。4.根据权利要求3所述的石墨加热器，其特征在于，所述顶连接部(120)垂直于所述中间连接部(110)；和/或，所述底连接部(130)垂直于所述中间连接部(110)。5.根据权利要求1
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4中任意一项所述的石墨加热...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨光宇，吕芳栋，
申请(专利权)人：通威微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：