本发明专利技术涉及一种用于生长晶体的装置(200)，其包括坩埚(201)和包围该坩埚的用于对坩埚(201)进行隔热的包罩单元(206)。借助该保持单元(207)，包罩单元(206)在坩埚上被保持在其相对于坩埚(201)的相对位置中。所述保持单元(207)包括至少一个构造成细长的、优选易弯曲的保持元件(208)，该保持元件具有第一和第二端部区段(209、210)。保持元件(208)将包罩单元(206)在背离坩埚(201、301)的侧面上在周向上包围并且贴靠在包罩单元上。所述两个端部区段(209、210)相互耦联，由保持元件(208)施加沿径向方向作用在包罩单元(206)上的保持力。径向方向作用在包罩单元(206)上的保持力。径向方向作用在包罩单元(206)上的保持力。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有热包罩单元的、用于生长晶体的装置
[0001]本专利技术涉及一种用于生长晶体的装置，其具有坩埚和包围该坩埚的用于对坩埚进行隔热的包罩单元。
技术介绍
[0002]晶体生长是一个过程，在其中由于越来越多的分子或离子沉积在它们在晶格中的位置上，所以现有的晶体变大。晶体由以有序的、重复的模式排列的原子、分子或离子定义。这通常在晶格中进行，所述晶格在所有三个空间维度上延伸。因此，晶体生长与液滴生长的不同之处在于，在生长期间分子或离子必须落入正确的晶格位置中，以便能够生长出有序的晶体。
[0003]单晶或单晶固体是一种材料，在其中整个样品的晶格连续且不间断地存在直至没有晶界的样品边缘。
[0004]本申请人的DE 102018129492 A1描述了一种用于晶体生长、尤其是单晶生长的装置和方法。为此，该装置包括具有容纳空间的腔室、坩埚和包围坩埚的绝缘材料，使得坩埚的内部体积与周围环境热绝缘。加热装置设置用于加热坩埚的内部体积。作为加热装置的加热元件，提出射频(RF)加热装置、电阻加热装置和加热发生器。绝缘材料填充在坩埚与腔室壁的内腔室壁表面之间的间隙。在此不利的是在取出在坩埚中制造的晶体时对绝缘材料的操作。
[0005]EP 3260582 A4也描述了一种用于在坩埚中制造晶体的装置，该坩埚被由石墨毡制成的绝缘层包围。坩埚连同绝缘材料一起被插入双石英管中并支承在石墨支承杆上。此外，双石英管的内腔降低到相对于大气压力更小的压力上。借助于围绕双石英管设置的加热装置来加热坩埚及其内部空间以制造晶体。在此，在取出在坩埚中制造的晶体时也很难操作绝缘材料。
技术实现思路
[0006]本专利技术的任务是克服现有技术的缺点并提供一种用于制造晶体的装置，借助于该装置用户能够简单地安装绝缘材料并且在此实现在制造过程期间的可靠保持。
[0007]该任务通过根据权利要求的装置来解决。
[0008]根据本专利技术的装置用于生长晶体并且包括：
[0009]坩埚，所述坩埚定义外周面并且还包围界定容纳空间，该容纳空间具有在底部区段和开口区段之间的轴向延伸部，所述容纳空间构造用于生长晶体，
[0010]包罩单元，所述包罩单元将所述外周面至少在部分区段上覆盖并且构造用于对坩埚进行隔热，
[0011]设置有保持单元，借助该保持单元，包罩单元在坩埚上被保持在其相对于坩埚的相对位置中，
[0012]所述保持单元包括至少一个构造成细长的、优选易弯曲的保持元件，该保持元件
具有第一端部区段和在保持元件的纵向延伸上与所述第一端部区段间隔开的第二端部区段，
[0013]所述至少一个保持元件将包罩单元在背离坩埚的侧面上在周向上包围并且在包罩单元上贴靠地设置在该包罩单元上，并且
[0014]所述第一端部区段和第二端部区段在需要时可分离地相互耦联，并且由所述至少一个保持元件施加沿径向方向作用在包罩单元上的保持力。
[0015]由此实现的优点在于：如此提供了将包罩单元快速且可变地固定在坩埚外侧面上的可能性。因此，即使在利用用于生长和形成晶体的基础材料填充坩埚之后，也可以非常简单且可变地进行安装和固定。通过设置保持单元(由该保持单元向包罩单元施加在径向方向上作用在坩埚上的保持力)，实现了绝缘的包罩单元的主要基于摩擦力的相对位置固定的保持和安装。由于所述至少一个保持元件构造成细长的，因此(保持元件)在外侧缠绕包罩单元至少一次，在此相应保持元件的两个端部区段相互连接或耦联。由此实现了牢固且绷紧的缠绕，借助于该缠绕一方面实现保持并且另一方面基于可以简单方式根据需要分离的耦联而能够简单地实现拆除或更换。
[0016]此外可以有利的是，所述至少一个保持元件由石墨材料制成。因此，能实现高的温度负荷和温度作用。
[0017]另一种实施方式的特征在于，所述至少一个保持元件的第一端部区段和第二端部区段彼此打结。由此可以省去用于将所述端部区段相互耦联和连接的附加结构元件。
[0018]另一种可能的实施方式具有如下特征：设置有用于所述至少一个保持元件的耦联装置，借助于该耦联装置所述至少一个保持元件的第一端部区段和第二端部区段相互耦联。通过设置自身的耦联装置，可以实现保持元件的两个端部区段之间的更可靠的相互连接。此外，耦联装置也还可以直接位置固定地保持或固定在包罩单元的外表面上并且因此也用于将保持元件定位地保持在包罩单元上。
[0019]有利的是，所述构造成细长的、优选易弯曲的保持元件从绳、索、带、皮带、链的组中选出。因此，可以选择最适合用于相应需求或应用情况的保持元件。在多重设置保持元件的情况下，彼此不同的保持元件的组合也是可能的。
[0020]另一种设计方案规定，设置有多个保持元件，并且这些保持元件在坩埚的轴向延伸方向上彼此间隔开地设置。因此，在坩埚的轴向延伸方向上看可以实现包罩单元在坩埚上的更连续的贴靠。
[0021]另一种实施方式的特征在于，所述保持单元包括至少一个导向元件，所述至少一个导向元件在包罩单元上设置在背离坩埚的侧面上并且所述至少一个导向元件构造用于将所述至少一个保持元件在相对于包罩单元的预定相对位置中引导。因此，可以预定位保持元件并防止保持元件以较大程度意外移动，特别是在坩埚垂直设置的情况下。此外，保持元件也可以在将包罩单元从坩埚上取下时保留在保持单元上并且在重新安装在绝缘位置时不需要单独操作。
[0022]另一种优选实施方式的特征在于，所述包罩单元在周向方向上看具有第一纵向边缘区段和第二纵向边缘区段并且所述彼此面对的纵向边缘区段在周向方向上彼此重叠地设置。通过彼此重叠，可以省却包罩单元的精确的在周向上的纵向匹配。此外，如此可以实现在周向上看连续的覆盖和与此有关的良好的热绝缘效果。
[0023]此外有利的是，所述包罩单元在坩埚的轴向延伸方向上在至少一侧上向背离坩埚的一侧突出于坩埚。因此，尤其是可以在顶盖区域中借助附加的绝缘元件实现高绝缘效果。此外，由此也可以实现尤其是在径向方向上对于所述附加绝缘元件的良好且足够的保持作用。
[0024]另一种替代实施方式的特征在于，所述包罩单元由石墨毡制成。因此，使用一种耐高温的材料，以便在较长的时间上也能够实现良好的热绝缘效果。
[0025]另一种可能的和必要时可替代的实施方式的特征在于，所述石墨毡包括至少一个石墨硬毡层。因此，在一定限度内已经能够构成预成型的绝缘体。
[0026]另一种设计方案规定，所述石墨毡包括至少一个石墨软毡层。因此，可以实现在坩埚上的更好且在面积方面更连续的贴靠。
[0027]另一种实施方式的特征在于，所述至少一个石墨硬毡层比所述至少一个石墨软毡层更靠近坩埚地设置。
[0028]因此，可以实现在坩埚上的更好且更无间隙的贴靠和覆盖。
[0029]另一种优选实施方式的特征在于，所述坩埚由选自包括金属基、氧化物基、氮化物基、碳基和致密石墨的组的材料制成。
[0030]此外有利的是，所述坩埚构造成多件式的并且包括坩埚底部部件、至少一个坩埚壁部本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于生长晶体的装置(200)，该装置包括
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坩埚(201、301)，所述坩埚(201、301)定义外周面(203)并且还包围界定容纳空间(202)，该容纳空间具有在底部区段(204)和开口区段(205)之间的轴向延伸部，所述容纳空间(202)构造用于生长晶体，
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包罩单元(206)，所述包罩单元(206)将所述外周面(203)至少在部分区段上覆盖并且构造用于对坩埚(201、301)进行隔热，其特征在于，设置有保持单元(207)，借助该保持单元(207)，包罩单元(206)在坩埚(201、301)上被保持在其相对于坩埚(201、301)的相对位置中，所述保持单元(207)包括至少一个构造成细长的、优选易弯曲的保持元件(208)，该保持元件具有第一端部区段(209)和在保持元件的纵向延伸上与所述第一端部区段间隔开的第二端部区段(210)，所述至少一个保持元件(208)将包罩单元(206)在背离坩埚(201、301)的侧面上在周向上包围并且在包罩单元(206)上贴靠地设置在该包罩单元上，并且所述第一端部区段(209)和第二端部区段(210)在需要时可分离地相互耦联，并且由所述至少一个保持元件(208)施加沿径向方向作用在包罩单元(206)上的保持力。2.根据权利要求1所述的装置(200)，其特征在于，所述至少一个保持元件(208)由石墨材料制成。3.根据权利要求1或2所述的装置(200)，其特征在于，所述至少一个保持元件(208)的第一端部区段(209)和第二端部区段(210)彼此打结。4.根据权利要求1或2所述的装置(200)，其特征在于，设置有用于所述至少一个保持元件(208)的耦联装置(211)，所述至少一个保持元件(208)的第一端部区段(209)和第二端部区段(210)借助于该耦联装置(211)相互耦联。5.根据前述权利要求中任一项所述的装置(200)，其特征在于，所述构造成细长的、优选易弯曲的保持元件(208)从绳、索、带、皮带、链的组中选出。6.根据前述权利要求中任一项所述的装置(200)，其特征在于，设置有多个保持元件(208)，并且所述保持元件(208)在坩埚(201、301)的轴向延伸方向上彼此间隔开地设置。7.根据前述权利要求中任一项所述的装置(200)，其特征在于，所述保持单元(207)包括至少一个导向元件(212)，所述至少一个导向元件...
【专利技术属性】
技术研发人员：K，
申请(专利权)人：艾伯纳工业炉公司，
类型：发明
国别省市：
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