一种更换高频信号生成器的辅助工具及其化学沉积设备制造技术

本发明专利技术公开了一种更换高频信号生成器的辅助工具及其化学沉积设备，所述辅助工具包括升降支架和顶部支撑板；所述顶部支撑板设置在所述升降支架的顶部，所述升降支架能够带动所述顶部支撑板上下移动；所述顶部支撑板用于支撑和承载高频信号生成器。上述技术方案解决了更换高频信号生成器时面临的有限空间和没有着力点的问题，降低了作业风险，且制作成本低，便于操作，保证了更换质量，提高了设备维护的整体效益，填补了半导体领域没有相关工具的空白。白。白。

【技术实现步骤摘要】
一种更换高频信号生成器的辅助工具及其化学沉积设备


[0001]本专利技术涉及半导体
，具体涉及一种更换高频信号生成器的辅助工具及其化学沉积设备。

技术介绍

[0002]在目前半导体工厂中，由于主机厂商的设备布局非常紧凑，机台内部空间有限，加上高频信号发生器(HF Generator)自重较大且安装位置不确定，在更换高频信号生成器时，施工人员没有足够空间和着力点，不仅费时费力，还容易造成高频信号生成器损坏和人员身体伤害。

技术实现思路

[0003]本申请实施例提供一种更换高频信号生成器的辅助工具及其化学沉积设备，以解决现有人工操作方式没有足够空间和着力点，不仅费时费力，还容易造成高频信号生成器损坏和人员身体伤害的问题。
[0004]本申请实施例一方面提供一种更换高频信号生成器的辅助工具，其特征在于，所述辅助工具包括顶部支撑板和升降支架；
[0005]所述顶部支撑板设置在所述升降支架的顶部，所述升降支架能够带动所述顶部支撑板上下移动；
[0006]所述顶部支撑板用于支撑和承载高频信号生成器。
[0007]在一些实施方式中，所述顶部支撑板上设置有多个避让孔，用于容纳高频信号发生器底部突出的端子或接口；
[0008]所述端子或接口包括至少如下的一种：交流电源接口、互锁连接器端子、C连接器端子或针端子。
[0009]在一些实施方式中，所述升降支架上设置有升降驱动机构，所述升降驱动机构包括旋转手柄和螺杆。
[0010]在一些实施方式中，所述升降支架是由多个交叉的连杆对组成，所述升降驱动机构设置在两个相邻的连杆对之间。
[0011]在一些实施方式中，各所述连杆对在中间位置枢接。
[0012]在一些实施方式中，所述两个相邻的连杆对铰接有滑块，所述滑块上设置有螺纹孔，所述螺杆穿过所述螺纹孔。
[0013]在一些实施方式中，所述旋转手柄设置在所述螺杆的一端，通过转动所述旋转手柄，带动所述连杆对相互靠近或者远离，调节所述升降支架的高度。
[0014]在一些实施方式中，所述升降支架底部还包括底座，所述底座的上表面上设置有供位于升降支架底部的连杆移动的带孔滑轨。
[0015]在一些实施方式中，所述底座的底部设置有万向轮。
[0016]本申请实施例另一方面提供一种化学沉积设备，所述化学沉积设备包括高频信号
生成器，所述高频信号生成器采用根据上述任一项所述的辅助工具更换。
[0017]与现有技术相比，本专利技术具有以下优点：
[0018]本申请实施例提供的更换高频信号生成器的辅助工具，包括顶部支撑板和升降支架，通过升降支架带动顶部支撑板的升降，进而带动高频信号生成器的升降，从而解决了更换高频信号生成器时面临的有限空间和没有着力点的问题，降低了作业风险，且制作成本低，便于操作，保证了更换质量，提高了设备维护的整体效益，填补了半导体领域没有相关工具的空白。
附图说明
[0019]图1是本申请一实施例提供的更换高频信号生成器的辅助工具的结构示意图；
[0020]图2是本申请一实施例提供的高频信号发生器的结构示意图；
[0021]图3是本申请一实施例提供的顶部支撑板的结构示意图；
[0022]附图标注说明：
[0023]高频信号生成器0、交流电源接口01、互锁连接器端子02、C连接器端子03、针端子避让孔04、顶部支撑板1、交流电源接口避让孔11、互锁连接器端子避让孔12、C连接器端子避让孔13、针端子避让孔14、升降支架2、旋转手柄3、螺杆4、带孔滑轨5、底座6、连杆对7。
具体实施方式
[0024]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似推广，因此本专利技术不受下面公开的具体实施的限制。
[0025]为了解决高频信号生成器以及类似重量大且比较关键部件的更换问题，本专利技术提出了一种底座
‑
升级机构
‑
升降旋转手柄
‑
顶部支撑板的结构，通过手柄的旋转，带动升降支架的高度变化，达到调节顶部平台高度的目的，最终获得一个满足作业需求的平台。由于高频信号生成器停留位置的不确定性，可能存在空间受限的一系列问题，所以辅助工具的具体尺寸可进行适当调整。
[0026]参见图1所示，本专利技术的实施例公开了一种更换高频信号生成器0的辅助工具，所述辅助工具包括顶部支撑板1和升降支架2。
[0027]所述顶部支撑板1设置在所述升降支架2的顶部，顶部支撑板1和升降支架2的连接方式可选为可拆卸连接，比如螺纹连接、铰接等。
[0028]其中，所述升降支架2能够带动所述顶部支撑板1上下移动。具体的，升降支架的驱动方式可以是自动的也可以是手动的，在本实施例中可不作具体的限制。
[0029]所述顶部支撑板1上用于支撑和承载高频信号生成器，可选的，该顶部支撑板可为托盘状，满足一般工具的存放需要。
[0030]该实施例能够解决更换高频信号生成器面临的有限空间和没有着力点的问题，降低了作业风险和制作成本，便于操作，保证了更换质量，提高了设备维护的整体效益，填补了半导体领域没有相关工具的空白。
[0031]在一些实施例中，参见图2和图3所示，所述高频信号发生器1与顶部支撑板1抵接的底部包括交流电源接口01、互锁连接器端子02、针端子04，所述顶部支撑板上设置有多个
避让孔，用于容纳上述高频信号发生器底部突出的端子或接口，相应的，所述避让孔的类型包括但不限于：交流电源接口避让孔11、互锁连接器端子避让孔12、C连接器端子避让孔13、针端子避让孔14。
[0032]并且，上述避让孔的尺寸与相应的接口或端子的尺寸相对应，提高支撑的稳定性。通过上述设计，能够避免各端子或者接口损伤，并且对高频信号发生器1起到更为稳定的支撑作用。
[0033]在一个或一些实施例中，所述升降支架2上设置有升降驱动机构，所述升降驱动机构包括旋转手柄3和螺杆4。
[0034]具体的，上述旋转手柄3和螺杆4可以设置在升降支架2的底部或者中间位置，具体不作限定。
[0035]在一个或一些可选实施例中，结合图1所示的，所述升降支架2是由多个交叉的连杆对7依次连接组成，其中，所述升降驱动机构设置在某两个相邻的连杆对7之间。
[0036]也即，在该实施例中，上述的升降驱动机构即旋转手柄和螺杆组合设置在升降支架2的中间。
[0037]在一个或一些实施例中，各所述连杆对7在中间位置枢接。具体的，结合图1所示，各连杆对在交叉的位置是通过枢接进行连接的，两个连杆能够分别相对于枢轴自由转动。
[0038]在一个或一些实施例中，所述两个相邻的连杆对7铰接有滑块(图1中未示出)，所述滑块上设置有螺纹孔，所述螺杆4穿过所述螺纹孔。
[0039]具体的，两个相邻的连杆对的接合处可以连接滑块，滑块为两个，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种更换高频信号生成器的辅助工具，其特征在于，所述辅助工具包括顶部支撑板和升降支架；所述顶部支撑板设置在所述升降支架的顶部，所述升降支架能够带动所述顶部支撑板上下移动；所述顶部支撑板用于支撑和承载高频信号生成器。2.根据权利要求1所述的辅助工具，其特征在于，所述顶部支撑板上设置有多个避让孔，用于容纳高频信号发生器底部突出的端子或接口；所述端子或接口包括至少如下的一种：交流电源接口、互锁连接器端子、连接器端子、针端子。3.根据权利要求1所述的辅助工具，其特征在于，所述升降支架上设置有升降驱动机构，所述升降驱动机构包括旋转手柄和螺杆。4.根据权利要求3所述的辅助工具，其特征在于，所述升降支架是由多个交叉的连杆对组成，所述升降驱动机构设置在两个相邻的连杆对之间。5.根据权利要求4所述的辅助工具，其特征在于，各所述连杆对在中间...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨绪，金補哲，黄中山，
申请(专利权)人：盛吉盛半导体技术上海有限公司，
类型：发明
国别省市：