芯片量测探针卡及芯片量测系统技术方案

本申请提供一种芯片量测探针卡及芯片量测系统，涉及芯片制程技术领域。本申请通过通信单元建立主控制单元与上位机设备之间的通信连接，由主控制单元经通信单元获取上位机设备下达的探针电压输出指令，而后通过将主控制单元与每个电压调控电路的控制输入端电性连接，并将每个电压调控电路的信号输出端与一个探针电性连接，使主控制单元得以按照获取到的探针电压输出指令，控制与该探针电压输出指令对应的目标电压调控电路向对应探针接触的被量测芯片输出适配的芯片量测电压信号，从而确保芯片量测探针卡能够在上位机设备控制下针对不同版本的不同芯片分别输出合适的探针电压进行芯片量测作业，以提高芯片量测探针卡的量测普适性。量测普适性。量测普适性。

【技术实现步骤摘要】
芯片量测探针卡及芯片量测系统


[0001]本申请涉及芯片制程
，具体而言，涉及一种芯片量测探针卡及芯片量测系统。

技术介绍

[0002]随着科学技术的不断发展，各大行业(例如，探测雷达行业)对芯片集成度的要求越来越高，往往需要在同一片晶圆上大量地制备集成度高的芯片，而在芯片制程过程中，往往会因制程设备优劣程度、制程控制精度、制程环境变化等因素导致对应晶圆上间杂有非良品芯片，由此通常需要在晶圆加工完成后利用探针对该晶圆上的各个芯片进行量测，以及时地将良品芯片与非良品芯片分辨出来，便于后续的芯片制程处理。
[0003]目前，现有芯片量测方案需要针对被量测芯片的芯片设计版本“一对一”地定制探针卡，而后利用飞线连接方式将定制的探针卡与普通探针连接在一起，使该普通探针能够在探针卡的引导作用下针对芯片设计版本匹配的被量测芯片进行芯片量测作业。但值得注意的是，这种芯片量测方案适用于定制化芯片版本场景，无法有效涵盖不同版本的不同芯片的量测需求，同时需要工程师耗费大量精力及耗材去定制探针卡。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请的目的在于提供一种芯片量测探针卡及芯片量测系统，能够在上位机设备控制下针对不同版本的不同芯片分别输出合适的探针电压进行芯片量测作业，以提高芯片量测探针卡的量测普适性，确保芯片量测探针卡能够有效满足不同版本的不同芯片的量测需求，降低芯片量测作业成本。
[0005]为了实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：
[0006]第一方面，本申请提供一种芯片量测探针卡，所述芯片量测探针卡包括通信单元、主控制单元、至少一个电压调控电路及至少一个探针；
[0007]所述通信单元与上位机设备通信连接，所述主控制单元与所述通信单元电性连接，用于经所述通信单元获取所述上位机设备下达的探针电压输出指令；
[0008]所述主控制单元与每个电压调控电路的控制输入端电性连接，每个电压调控电路的信号输出端与一个探针电性连接，其中所述主控制单元用于按照所述探针电压输出指令控制目标电压调控电路经对应探针向被量测芯片输出适配的芯片量测电压信号。
[0009]在可选的实施方式中，在所述目标电压调控电路针对的被量测芯片为负压驱动芯片的情况下，所述目标电压调控电路包括运算放大器、第一电阻及第二电阻；
[0010]所述运算放大器的反相输入端作为所述目标电压调控电路的控制输入端，并经所述第一电阻与所述主控制单元电性连接，用于接收所述主控制单元按照所述探针电压输出指令输出的逻辑电平信号；
[0011]所述运算放大器的同相输入端接地，所述运算放大器的反相输入端经所述第二电阻与所述运算放大器的电压输出端电性连接，用于对所述逻辑电平信号进行电平反相处
理，得到对应的芯片量测电压信号；
[0012]所述运算放大器的电压输出端作为所述目标电压调控电路的信号输出端，并与对应的探针电性连接，用于将得到的芯片量测电压信号经所述探针输出给被量测芯片。
[0013]在可选的实施方式中，在所述目标电压调控电路针对的被量测芯片为正压驱动芯片的情况下，所述目标电压调控电路包括运算放大器、第一电阻及第二电阻；
[0014]所述运算放大器的反相输入端作为所述目标电压调控电路的控制输入端，并经所述第一电阻与所述主控制单元电性连接，用于接收所述主控制单元按照所述探针电压输出指令输出的逻辑电平信号；
[0015]所述运算放大器的同相输入端与直流电源电性连接，所述运算放大器的反相输入端经所述第二电阻与所述运算放大器的电压输出端电性连接，用于在所述直流电源的直流电压作用下对所述逻辑电平信号进行高低电平互换处理，得到对应的芯片量测电压信号；
[0016]所述运算放大器的电压输出端作为所述目标电压调控电路的信号输出端，并与对应的探针电性连接，用于将得到的芯片量测电压信号经所述探针输出给被量测芯片。
[0017]在可选的实施方式中，每个电压调控电路包括运算放大器、第一电阻、第二电阻及电平处理模式切换电路；
[0018]所述运算放大器的反相输入端作为对应电压调控电路的第一控制输入端，并经所述第一电阻与所述主控制单元电性连接，用于接收所述主控制单元按照所述探针电压输出指令输出的逻辑电平信号；
[0019]所述电平处理模式切换电路的切换控制端作为对应电压调控电路的第二控制输入端，并与所述主控制单元直接电性连接，用于在所述主控制单元的控制作用下切换所述运算放大器的电平处理模式；
[0020]所述运算放大器的同相输入端与所述电平处理模式切换电路的模式输出端电性连接，所述运算放大器的反相输入端经所述第二电阻与所述运算放大器的电压输出端电性连接，用于按照所述电平处理模式切换电路切换出的电平处理模式，对接收到的逻辑电平信号进行电平调控处理，得到对应的芯片量测电压信号；
[0021]所述运算放大器的电压输出端作为对应电压调控电路的信号输出端，并与对应的探针电性连接，用于将得到的芯片量测电压信号经所述探针输出给被量测芯片。
[0022]在可选的实施方式中，所述电平处理模式切换电路包括单刀双掷开关；
[0023]所述单刀双掷开关的第一触点作为所述电平处理模式切换电路的模式输出端，并与所述运算放大器的同相输入端电性连接；
[0024]所述单刀双掷开关的第二触点接地，所述单刀双掷开关的第三触点与直流电源电性连接；
[0025]所述单刀双掷开关的控制端作为所述电平处理模式切换电路的切换控制端，并与所述主控制单元直接电性连接，用于在所述主控制单元的控制作用下驱使所述第一触点与所述第二触点导通，以将对应电平处理模式切换为与负压驱动芯片匹配的电平反相模式，或者在所述主控制单元的控制作用下驱使所述第一触点与所述第三触点导通，以将对应电平处理模式切换为与正压驱动芯片匹配的高低电平互换模式。
[0026]在可选的实施方式中，在所述通信单元的实际通信模式为无线通信模式的情况下，所述芯片量测探针卡还包括内置供电单元；
[0027]所述内置供电单元与所述通信单元、所述主控制单元及每个电压调控电路分别电性连接，用于向所述通信单元、所述主控制单元及每个电压调控电路分别提供电能。
[0028]在可选的实施方式中，在所述通信单元的实际通信模式为有线通信模式的情况下，所述通信单元包括外置通信接口及接口转换模块，其中所述外置通信接口与所述上位机设备有线连接；
[0029]所述接口转换模块与所述外置通信接口及所述主控制单元电性连接，用于对所述上位机设备与所述主控制单元之间的被传输数据进行通讯协议转换，以将所述上位机设备经所述外置通信接口下达的探针电压输出指令传输给所述主控制单元；
[0030]所述主控制单元经所述接口转换模块及所述外置通信接口从所述上位机设备处获取电能，并基于获取到的电能为各个电压调控电路进行供电。
[0031]在可选的实施方式中，所述芯片量测探针卡还包括印制电路板；
[0032]所述通信单元、所述主控制单本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片量测探针卡，其特征在于，所述芯片量测探针卡包括通信单元、主控制单元、至少一个电压调控电路及至少一个探针；所述通信单元与上位机设备通信连接，所述主控制单元与所述通信单元电性连接，用于经所述通信单元获取所述上位机设备下达的探针电压输出指令；所述主控制单元与每个电压调控电路的控制输入端电性连接，每个电压调控电路的信号输出端与一个探针电性连接，其中所述主控制单元用于按照所述探针电压输出指令控制目标电压调控电路经对应探针向被量测芯片输出适配的芯片量测电压信号。2.根据权利要求1所述的芯片量测探针卡，其特征在于，在所述目标电压调控电路针对的被量测芯片为负压驱动芯片的情况下，所述目标电压调控电路包括运算放大器、第一电阻及第二电阻；所述运算放大器的反相输入端作为所述目标电压调控电路的控制输入端，并经所述第一电阻与所述主控制单元电性连接，用于接收所述主控制单元按照所述探针电压输出指令输出的逻辑电平信号；所述运算放大器的同相输入端接地，所述运算放大器的反相输入端经所述第二电阻与所述运算放大器的电压输出端电性连接，用于对所述逻辑电平信号进行电平反相处理，得到对应的芯片量测电压信号；所述运算放大器的电压输出端作为所述目标电压调控电路的信号输出端，并与对应的探针电性连接，用于将得到的芯片量测电压信号经所述探针输出给被量测芯片。3.根据权利要求1所述的芯片量测探针卡，其特征在于，在所述目标电压调控电路针对的被量测芯片为正压驱动芯片的情况下，所述目标电压调控电路包括运算放大器、第一电阻及第二电阻；所述运算放大器的反相输入端作为所述目标电压调控电路的控制输入端，并经所述第一电阻与所述主控制单元电性连接，用于接收所述主控制单元按照所述探针电压输出指令输出的逻辑电平信号；所述运算放大器的同相输入端与直流电源电性连接，所述运算放大器的反相输入端经所述第二电阻与所述运算放大器的电压输出端电性连接，用于在所述直流电源的直流电压作用下对所述逻辑电平信号进行高低电平互换处理，得到对应的芯片量测电压信号；所述运算放大器的电压输出端作为所述目标电压调控电路的信号输出端，并与对应的探针电性连接，用于将得到的芯片量测电压信号经所述探针输出给被量测芯片。4.根据权利要求1所述的芯片量测探针卡，其特征在于，每个电压调控电路包括运算放大器、第一电阻、第二电阻及电平处理模式切换电路；所述运算放大器的反相输入端作为对应电压调控电路的第一控制输入端，并经所述第一电阻与所述主控制单元电性连接，用于接收所述主控制单元按照所述探针电压输出指令输出的逻辑电平信号；所述电平处理模式切换电路的切换控制端作为对应电压调控电路的第二控制输入端，并与所述主控制单元直接电性连接，用于在所述主控制单元的控制作用下切换所述运算放大器的电平处理模式；所述运算放大器的同相输入端与所述电平处理模式切换电路的模式输出端电性连接，所述运算放大器的反相输入端经所述第二电阻与所述运算放大器的电压输出端电性连接，
用于按照所述电平处理模式切换电路切换出的电平处理模式，对...

【专利技术属性】
技术研发人员：逄立飞，邢红梅，何娇，
申请(专利权)人：成都市时代速信科技有限公司，
类型：新型
国别省市：