基于差分干涉对比度的激光扫描线共焦表面缺陷检测设备及方法技术

本发明专利技术公开了一种基于差分干涉对比度的激光扫描线共焦表面缺陷检测设备及方法，该设备主要包括激光器、第一反射镜、第二反射镜、扩束镜、起偏器、分光镜、沃拉斯顿棱镜、第三反射镜、光束扫描装置、F

【技术实现步骤摘要】
基于差分干涉对比度的激光扫描线共焦表面缺陷检测设备及方法


[0001]本专利技术属于光学检测
，具体涉及一种基于差分干涉对比度的激光扫描线共焦表面缺陷检测设备及方法。

技术介绍

[0002]随着技术的不断创新以及对生产生活中各类智能设备高度集成化与微型化发展的迫切需求，精密光学和半导体元件扮演着越来越重要的角色，广泛应用于智能制造、大规模集成电路、消费电子、精准医疗、航空航天、军事装备等新兴战略产业领域。表面微纳缺陷是评价精密光学和半导体元件质量的重要指标。缺陷不仅影响元器件的光学、机械、热物、电化学等方面的关键性能，对于高能量和高负载系统，缺陷甚至会对元器件造成损伤以致整个系统瘫痪。因此，对精密光学和半导体元件表面微纳缺陷的检测要求变得越来越高，高速度、高灵敏度、高精度、自动化变得愈加迫切。
[0003]近些年来国内外相关学者对表面缺陷检测进行深入研究，目前已经提出了多种检测方法。
[0004]基于形貌特性的检测方法是利用特定的高分辨率显微仪器测量光学元件表面的微观形貌，进而定位缺陷的位置。原子力显微镜和扫描电子显微镜虽本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于差分干涉对比度的激光扫描线共焦表面缺陷检测设备，其特征在于，设置激光器(1)，用于发射激光束，且在所述激光器(1)的后方设有扩束镜(4)，在所述扩束镜(4)与所述激光器(1)之间依次设有第一反射镜(2)和第二反射镜(3)；在所述扩束镜(4)的后方设有光束扫描装置(9)，用于将所述激光束转变为线光束，在所述述扩束镜(4)和光束扫描装置(9)之间依次设置有起偏器(5)、分光镜(6)、沃拉斯顿棱镜(7)和第三反射镜(8)；在所述分光镜(6)后方依次设有检偏器(17)，透镜(18)和光电探测器(19)；所述光束扫描装置(9)的后方依次设有光电二极管(20)和F
‑
theta远心场镜(10)；所述F
‑
theta远心场镜(10)将线光束转变为汇聚的扫描激光束并经第四反射镜(11)的反射后，垂直入射到被测元件(16)表面上；入射到被测元件(16)表面上的光沿原光路返回后，经过所述分光镜(6)，并依次通过所述检偏器(17)，透镜(18)和所述光电探测器(19)；在所述被测元件(16)的表面上方设有柱状椭面镜(12)，所述柱状椭面镜(12)内表面涂有高反射材料，其底部和上方均设有缺口；所述柱状椭面镜(12)的前焦线与激光束在被测样品(16)表面汇聚的位置重合；在所述柱状椭面镜(12)的上方设有线形光纤束(13)，且所述线形光纤束(13)的入口与柱状椭面镜(12)的后焦线重合，所述线形光纤束(13)的出口处设有光电倍增管(15)，所述光电倍增管(15)的底部管口设有滤光片(14)；其中，后方均指激光束照射的方向。2.根据权利要求1所述的基于差分干涉对比度的激光扫描线共焦表面缺陷检测设备，其特征在于：所述被测元件(16)的下方设有样品移动装置，用于控制被测元件(16)的移动。3.根据权利要求1所述的基于差分干涉对比度的激光扫描线共焦表面缺陷检测设备，其特征在于：所述光束扫描装置(9)为多边形扫描镜或声光调制器AOM或振镜。4.根据权利要求1所述的基于差分干涉对比度的激光扫描线共焦表面缺陷检测设备，其特征在于：所述柱状椭面镜(12)上方和下方的缺口为矩形，且矩形开口的长度大于激光线扫描长度。5.根据权利要求1所述的基于差分干涉对比度的激光扫描线共焦表面缺陷检测设备，其特征在于：所述光束扫描装置(9)的瞬时扫描中心处于F
‑
theta远心场镜(10)的孔径光阑位置上。...

【专利技术属性】
技术研发人员：董敬涛，常凯，程莹钧，王硕，田志彭，
申请(专利权)人：合肥工业大学智能制造技术研究院，
类型：发明
国别省市：