温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种基于差分干涉对比度的激光扫描线共焦表面缺陷检测设备及方法，该设备主要包括激光器、第一反射镜、第二反射镜、扩束镜、起偏器、分光镜、沃拉斯顿棱镜、第三反射镜、光束扫描装置、F
...
该专利属于合肥工业大学智能制造技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学智能制造技术研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。