一种单晶或多晶硅料堆积棒料整体转移水淬装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种单晶或多晶硅料堆积棒料整体转移水淬装置，包括加热通道，所述加热通道的出料端下方横向对接有水淬槽，水淬槽外端横向对接有冷却烘干通道，所述冷却烘干通道与加热通道内均设有用于水平输送硅棒料的步进机构；所述加热通道的出料端横向对接有底面开口的第一隔热罩，且第一隔热罩架设于所述水淬槽朝向所述加热通道一侧的顶面上；所述加热通道的进料端下方横向对接有所述步进机构，且该步进机构上架设有沿其运料方向匹配开口的第二隔热罩，所述第一隔热罩和第二隔热罩内分别对应设置有连杆机构，且所述连杆机构通过外力驱动而实现90

【技术实现步骤摘要】
一种单晶或多晶硅料堆积棒料整体转移水淬装置


[0001]本技术属于硅棒料水淬设备
，特别涉及一种单晶或多晶硅料堆积棒料整体转移水淬装置。

技术介绍

[0002]硅料是重要的半导体材料，电子工业上使用的硅料具有高纯度和优良的电学和机械等性能，硅料同时也是产量最大、应用最广的半导体材料，它的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平，为了适应超大规模集成电路的需要，高完整性、高均匀度的硅单晶制备技术正在快速发展。
[0003]硅棒料的加工方向为破碎技术，即通过破碎机将硅棒料破碎，在破碎之前，一般还需将硅棒料进行水淬处理，以使其产生自然破裂或容易破裂的状态。现有的硅棒料水淬装置主要由加热通道、水淬槽以及冷却烘干通道依次横向对接组成，加热通道的进料侧通过台阶输送式步进机构输送硅棒料，其出料侧通过输送机械手转运硅棒料，这样加热通道两端开口较大，导致其内部热量容易散失，既不利于硅棒料的热处理效果，又不利于加工过程中的节能降耗。

技术实现思路

[0004]本技术针对现有技术存在的不足，提供了一种单晶或多晶硅料堆积棒料整体转移水淬装置，具体技术方案如下：
[0005]本技术提供一种单晶或多晶硅料堆积棒料整体转移水淬装置，包括加热通道，所述加热通道的出料端下方横向对接有水淬槽，所述水淬槽外端横向对接有冷却烘干通道，所述冷却烘干通道与加热通道内均设有用于水平输送硅棒料的步进机构；所述水淬槽外侧与所述冷却烘干通道的出料端均配设有用于转移硅棒料的输送机械手，所述加热通道的出料端横向对接有底面开口的第一隔热罩，且所述第一隔热罩架设于所述水淬槽朝向所述加热通道一侧的顶面上；所述加热通道的进料端下方横向对接有所述步进机构，且该步进机构上架设有沿其运料方向匹配开口的第二隔热罩，所述第一隔热罩和第二隔热罩内分别对应设置有连杆机构，且所述连杆机构通过外力驱动而实现90
°
翻转取放对应的硅棒料。
[0006]作为本技术一种优选技术方案，所述连杆机构包括横向相对设置的硅棒托板，且所述硅棒托板呈倒L形结构，两个所述硅棒托板的水平部外端分别垂直对称转动连接有第一杆轴，两个所述第一杆轴外端分别垂直对称固定连接有第一连杆；两个所述硅棒托板的竖直部底端分别垂直对称转动连接有第二杆轴，两个所述第二杆轴外端分别垂直对称固定连接有第二连杆，两个所述第一连杆的自由端之间垂直固定穿接有第三杆轴，两个所述第二连杆的自由端之间垂直固定穿接有第四杆轴，所述第三杆轴与第四杆轴的端部分别通过轴承座与对应所述第一隔热罩或第二隔热罩的内壁转动连接；所述第三杆轴一端垂直固定连接有主动杆，所述主动杆与设置于所述第一隔热罩或第二隔热罩外壁的推力气缸的
活塞杆倾斜铰接，且倾斜角为钝角。
[0007]作为本技术一种优选技术方案，所述步进机构包括横向设置的第一推拉板，所述第一推拉板的侧面分别间隔对称设置有滚轮，所述滚轮的下方分别滚动卡设有楔形块，所述楔形块与设置于地面上的固定座垂直连接，所述第一推拉板的顶面上方通过滑轨座横向滑动连接有第二推拉板，所述第二推拉板的顶面横向等间距垂直设置有多个呈T形结构的活动梁，所述活动梁的水平部顶面横向垂直相对设置有两组用于卡托硅棒料的第一排座；所述固定座顶面上方横向相对架设有固定梁，所述固定梁的顶面横向垂直相对设置有多组用于卡托硅棒料的第二排座，所述活动梁处于两个所述固定梁之间，且所述第二排座与对应的所述第一排座之间相对间隔设置。
[0008]作为本技术一种优选技术方案，所述输送机械手包括横移滑台，所述横移滑台的顶面竖直设置有纵移滑台，所述纵移滑台一侧设置有用于卡托硅棒料的转移托架。
[0009]作为本技术一种优选技术方案，处于所述第一隔热罩与所述冷却烘干通道之间的所述水淬槽顶口正上方设置有辅助冷却组件；所述辅助冷却组件包括横向间隔设置的至少一组喷淋头和至少一组风刀，且两者之间保持直线排列。
[0010]本技术的有益效果是：
[0011]本技术通过在水淬槽顶面朝向加热通道一侧架设底面开口的第一隔热罩，这样水淬槽在满水后可以对第一隔热罩形成水封效果，有效阻止热量散失，第一隔热罩内的连杆机构可以将加热通道出料端的硅棒料自上而下90
°
翻转取放至水淬槽内进行急速冷却，再由水淬槽处的输送机械手接转至冷却烘干通道内；同时，加热通道的进料侧通过水平输送式步进机构上的第二隔热罩来减少热量散失，第二隔热罩内的连杆机构可以将该步进机构上的硅棒料自下而上90
°
翻转取放至加热通道的进料端，这样既利于硅棒料的热处理效果，又利于加工过程中的节能降耗。
附图说明
[0012]图1示出了本技术的整体结构示意图；
[0013]图2示出了本技术中连杆机构的结构示意图(一)；
[0014]图3示出了本技术中连杆机构的结构示意图(二)；
[0015]图4示出了本技术中加热通道进料侧的局部结构示意图；
[0016]图5示出了本技术中第一排座与第二排座之间的位置示意图；
[0017]图6示出了本技术中加热通道出料侧的局部结构示意图；
[0018]图7示出了本技术中输送机械手的结构示意图。
[0019]图中所示：1、加热通道；11、第一隔热罩；12、第二隔热罩；2、水淬槽；3、冷却烘干通道；31、正压吹风口；32、负压吸风口；4、输送机械手；41、横移滑台；42、纵移滑台；43、转移托架；5、步进机构；51、第一推拉板；52、滚轮；53、楔形块；54、固定座；55、滑轨座；56、第二推拉板；57、活动梁；571、第一排座；58、固定梁；581、第二排座；6、硅棒料；7、连杆机构；71、硅棒托板；72、第一杆轴；73、第一连杆；74、第二杆轴；75、第二连杆；76、第三杆轴；77、第四杆轴；78、轴承座；79、主动杆；8、推力气缸；9、辅助冷却组件；91、喷淋头；92、风刀。
具体实施方式
[0020]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0021]如图1所示，一种单晶或多晶硅料堆积棒料整体转移水淬装置，包括加热通道1，所述加热通道1的出料端下方横向对接有水淬槽2，所述水淬槽2外端横向对接有冷却烘干通道3，所述冷却烘干通道3与加热通道1内均设有用于水平输送硅棒料6的步进机构5；所述水淬槽2外侧与所述冷却烘干通道3的出料端均配设有用于转移硅棒料6的输送机械手4，所述加热通道1的出料端横向对接有底面开口的第一隔热罩11，且所述第一隔热罩11架设于所述水淬槽2朝向所述加热通道1一侧的顶面上；所述加热通道1的进料端下方横向对接有所述步进机构5，且该步进机构5上架设有沿其运料方向匹配开口的第二隔热罩12，所述第一隔热罩11和第二隔热罩12内分别对应设置有连杆机构7，且所述连杆机构7通过外力驱动而实现90...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶或多晶硅料堆积棒料整体转移水淬装置，包括加热通道(1)，所述加热通道(1)的出料端下方横向对接有水淬槽(2)，所述水淬槽(2)外端横向对接有冷却烘干通道(3)，所述冷却烘干通道(3)与加热通道(1)内均设有用于水平输送硅棒料(6)的步进机构(5)；所述水淬槽(2)外侧与所述冷却烘干通道(3)的出料端均配设有用于转移硅棒料(6)的输送机械手(4)，其特征在于：所述加热通道(1)的出料端横向对接有底面开口的第一隔热罩(11)，且所述第一隔热罩(11)架设于所述水淬槽(2)朝向所述加热通道(1)一侧的顶面上；所述加热通道(1)的进料端下方横向对接有所述步进机构(5)，且该步进机构(5)上架设有沿其运料方向匹配开口的第二隔热罩(12)，所述第一隔热罩(11)和第二隔热罩(12)内分别对应设置有连杆机构(7)，且所述连杆机构(7)通过外力驱动而实现90
°
翻转取放对应的硅棒料(6)。2.根据权利要求1所述的一种单晶或多晶硅料堆积棒料整体转移水淬装置，其特征在于：所述连杆机构(7)包括横向相对设置的硅棒托板(71)，且所述硅棒托板(71)呈倒L形结构，两个所述硅棒托板(71)的水平部外端分别垂直对称转动连接有第一杆轴(72)，两个所述第一杆轴(72)外端分别垂直对称固定连接有第一连杆(73)；两个所述硅棒托板(71)的竖直部底端分别垂直对称转动连接有第二杆轴(74)，两个所述第二杆轴(74)外端分别垂直对称固定连接有第二连杆(75)，两个所述第一连杆(73)的自由端之间垂直固定穿接有第三杆轴(76)，两个所述第二连杆(75)的自由端之间垂直固定穿接有第四杆轴(77)，所述第三杆轴(76)与第四杆轴(77)的端部分别通过轴承座(78)与对应所述第一隔热罩(11)或第二隔热罩(12)的内壁转动连接；所述第三杆轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：左召明，许庆刚，余仲元，郭家伸，
申请(专利权)人：合肥开比锐精机科技有限公司，
类型：新型
国别省市：