一种远程等离子发生器的散热系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种远程等离子发生器的散热系统，该系统包括电离腔体和散热装置；电离腔体内设置有两个冷却水道；散热装置包括散热盘、进水管、第一出水管、第二出水管和回水管，散热盘内开设有水盘流道，散热盘包括第一散热盘和第二散热盘；进水管一端连通第一散热盘和第二散热盘的进水口，另一端用以连接冷却水泵；第一出水管一端与第一散热盘的出水口连通，另一端用以连接一个冷却水道的进水端；第二出水管一端与第二散热盘的出水口连通，另一端用以连接另一个冷却水道的进水端；回水管，一端用以两个冷却水道的出水端，另一端用以连接冷却水泵。该散热系统通过外置的散热盘配合电离腔体内的冷却水道，内外同步换热，提升了散热效率。散热效率。散热效率。

【技术实现步骤摘要】
一种远程等离子发生器的散热系统


[0001]本技术涉及等离子发生器
，特别涉及一种远程等离子发生器的散热系统。

技术介绍

[0002]在目前的半导体生产领域，远程等离子发生器利用等离子源在反应区之外合成等离子体，在气流、电场、磁场等作用下将等离子体引入反应区，常用于表面改性、腔室清洗、薄膜蚀刻以及等离子辅助沉积，具体是由腔室、进气口、出气口、磁芯、点火口组成的一个远程等离子源解离腔体。远程等离子发生器，其功能是用于泛半导体设备工艺腔体原子级别的清洁，使用含氟的化合物当做氟的原材料气体进入腔室内，并在交变电场和磁场的作用下，原材料气体将会被解离，并释放出氟自由基，活性离子F
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进入工艺室内与工艺室内的污染材料，如氧化硅、氮化硅等发生反应，并将生成的气化新物质由真空泵抽出工艺室，从而保证工艺室的清洁。
[0003]远程等离子发生器电离气体时会持续产生高温，需实时散热。而散热效率不高、散热不足时，腔体和磁芯组件极易出现过热的情况，严重降低了腔体及密封件的使用寿命，同时降低了生产效率。因此，亟需配置高效散热的冷却系统。

技术实现思路

[0004]本申请通过提供一种远程等离子发生器的散热系统，解决了现有技术中散热效率不高、散热不足的问题，提高了散热效率及生产效率。
[0005]本申请实施例提供了一种远程等离子发生器的散热系统，包括：电离腔体和设置于所述电离腔体外的散热装置；
[0006]所述电离腔体内设置有两个冷却水道，两个所述冷却水道分别设置于所述电离腔体内的气腔的两侧，两个所述冷却水道均设置有进水端和出水端；
[0007]所述散热装置包括散热盘、进水管、第一出水管、第二出水管和回水管，所述散热盘内开设有水盘流道，所述散热盘还设置有进水口和出水口，所述水盘流道连通进水口和出水口，所述散热盘设置有两个，分别为第一散热盘和第二散热盘，所述第一散热盘和第二散热盘用以分别设置于电离腔体两侧；
[0008]所述进水管一端连通所述第一散热盘和第二散热盘的进水口，另一端用以连接冷却水泵的出水端口；
[0009]所述第一出水管一端与所述第一散热盘的出水口连通，另一端与一个所述冷却水道的进水端连通；
[0010]所述第二出水管一端与所述第二散热盘的出水口连通，另一端与另一个所述冷却水道的进水端连通；
[0011]所述回水管一端用以连接两个所述冷却水道的出水端，另一端用以连接所述冷却水泵的回水端口。
[0012]上述实施例的有益效果在于：该散热系统通过外置的散热盘配合电离腔体内的冷却水道，内外同步换热，提升了散热效率，同时延长了腔体及密封件的使用寿命，提高了生产效率。
[0013]在上述实施例基础上，本申请可进一步改进，具体如下：
[0014]在本申请其中一个实施例中，所述散热装置还包括进出水接头，所述进水管和回水管通过所述进出水接头与所述冷却水泵连接。方便调整管路走向，节省空间，同时连接更稳固。
[0015]在本申请其中一个实施例中，所述散热盘螺接于磁芯组件壳体。磁芯组件安装于电离腔体外部，为高温部件，散热盘直接贴近安装于磁芯组件上，方便散热。
[0016]在本申请其中一个实施例中，所述散热盘包括盖板、流道水盘，所述流道水盘内开设有所述水盘流道。
[0017]在本申请其中一个实施例中，所述散热盘还包括密封圈，所述密封圈沿所述水盘流道内壁设置。
[0018]在本申请其中一个实施例中，所述水盘流道包括主流道和若干辅流道，所述主流道的截面积大于所述辅流道的截面积，所述主流道呈S型连通所述进水口和所述出水口，所述辅流道两端分别与所述主流道连通，所述辅流道与所述主流道不重叠。主流道配合辅流道可尽可能扩大换热面积，提高散热效率。
[0019]本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：
[0020]1.该散热系统通过外置的散热盘配合电离腔体内的冷却水道，内外同步换热，提升了散热效率，同时延长了腔体及密封件的使用寿命，提高了生产效率。
[0021]2.该散热装置的散热盘的主流道配合辅流道可尽可能扩大换热面积，提高散热效率。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
[0023]图1为一种远程等离子发生器的散热系统的结构示意图；
[0024]图2为一种远程等离子发生器的散热系统的爆炸示意图；
[0025]图3为电离腔体的结构示意图；
[0026]图4为散热装置的爆炸结构示意图；
[0027]图5为散热盘的结构示意图；
[0028]图6为水盘流道的结构示意图一；
[0029]图7为水盘流道的结构示意图二。
[0030]其中，1.电离腔体、101.进水端、102.出水端、103.气腔、104.冷却水道、201.散热盘、2011.盖板、2012.流道水盘、2013.密封圈、2014.进水口、2015.出水口、2016.主流道、2017.辅流道、202.进水管、203.第一出水管、204.第二出水管、205.回水管、206.进出水接头、3.磁芯组件。
具体实施方式
[0031]下面结合具体实施方式，进一步阐明本技术，应理解这些实施方式仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围，在阅读了本技术之后，本领域技术人员对本技术的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
[0032]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0033]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“外周面”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0034]此外，术语“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0035]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种远程等离子发生器的散热系统，其特征在于：包括电离腔体和设置于所述电离腔体外的散热装置；所述电离腔体内设置有两个冷却水道，两个所述冷却水道分别设置于所述电离腔体内的气腔的两侧，两个所述冷却水道均设置有进水端和出水端；所述散热装置包括散热盘、进水管、第一出水管、第二出水管和回水管，所述散热盘内开设有水盘流道，所述散热盘还设置有进水口和出水口，所述水盘流道连通进水口和出水口，所述散热盘设置有两个，分别为第一散热盘和第二散热盘，所述第一散热盘和第二散热盘用以分别设置于电离腔体两侧；所述进水管一端连通所述第一散热盘和第二散热盘的进水口，另一端用以连接冷却水泵；所述第一出水管一端与所述第一散热盘的出水口连通，另一端与一个所述冷却水道的进水端连通；所述第二出水管一端与所述第二散热盘的出水口连通，另一端与另一个所述冷却水道的进水端...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱培文，朱国俊，潘小刚，潜世军，
申请(专利权)人：江苏神州半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：