一种远程等离子发生器制造技术

本发明专利技术公开了一种远程等离子发生器，包括：电离腔体，分别开设有气腔和两个冷却水道，两个冷却水道均设置有进水端和出水端；散热装置，包括散热盘、进水管、第一出水管、第二出水管和回水管，散热盘内开设有水盘流道、进水口和出水口，散热盘设置有两个分别为第一散热盘和第二散热盘，进水管连通散热盘的进水口，第一出水管连通第一散热盘的出水口和一个冷却水道的进水端；第二出水管连通第二散热盘的出水口和另一个冷却水道的进水端；回水管连接两个冷却水道的出水端。该远程等离子发生器通过外置的散热装置配合电离腔体内的冷却水道，内外同步换热，提升了散热效率，同时延长了腔体及密封件的使用寿命，提高了生产效率。提高了生产效率。提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种远程等离子发生器


[0001]本专利技术涉及等离子发生器
，特别涉及一种远程等离子发生器。

技术介绍

[0002]在目前的半导体生产领域，远程等离子发生器利用等离子源在反应区之外合成等离子体，在气流、电场、磁场等作用下将等离子体引入反应区，常用于表面改性、腔室清洗、薄膜蚀刻以及等离子辅助沉积，具体是由腔室、进气口、出气口、磁芯、点火口组成的一个远程等离子源解离腔体。远程等离子发生器，其功能是用于泛半导体设备工艺腔体原子级别的清洁，使用含氟的化合物当做氟的原材料气体进入腔室内，并在交变电场和磁场的作用下，原材料气体将会被解离，并释放出氟自由基，活性离子F
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进入工艺室内与工艺室内的污染材料，如氧化硅、氮化硅等发生反应，并将生成的气化新物质由真空泵抽出工艺室，从而保证工艺室的清洁。
[0003]远程等离子发生器电离气体时会持续产生高温，需实时散热。而现有的冷却装置多为外置冷却模块，但散热效率不高，腔体和磁芯组件极易出现过热的情况，严重降低了腔体及密封件的使用寿命，同时降低了生产效率。

技术实现思路

[0004]本申请通过提供一种远程等离子发生器，解决了现有技术中散热效率不高、散热不足的问题，提高了散热效率及生产效率。
[0005]本申请实施例提供了一种远程等离子发生器，包括：
[0006]电离腔体，所述电离腔体分别开设有气腔和两个冷却水道，两个所述冷却水道分别设置于所述气腔的两侧，两个所述冷却水道均设置有进水端和出水端；
[0007]磁芯组件，所述磁芯组件安装于所述电离腔体；
[0008]散热装置，所述散热装置包括散热盘、进水管、第一出水管、第二出水管和回水管，所述散热盘内开设有水盘流道，所述散热盘还设置有进水口和出水口，所述水盘流道连通进水口和出水口，所述散热盘设置有两个，分别为第一散热盘和第二散热盘，所述第一散热盘和第二散热盘用以分别设置于所述电离腔体两侧，所述进水管一端连通所述第一散热盘和第二散热盘的进水口，另一端用以连接冷却水泵的出水端口，所述第一出水管一端与所述第一散热盘的出水口连通，另一端与一个所述冷却水道的进水端连通；所述第二出水管一端与所述第二散热盘的出水口连通，另一端与另一个所述冷却水道的进水端连通；所述回水管一端用以连接两个所述冷却水道的出水端，另一端用以连接所述冷却水泵的回水端口。
[0009]上述实施例的有益效果在于：该远程等离子发生器通过外置的散热装置配合电离腔体内的冷却水道，内外同步换热，提升了散热效率，同时延长了腔体及密封件的使用寿命，提高了生产效率。
[0010]在上述实施例基础上，本申请可进一步改进，具体如下：
[0011]在本申请其中一个实施例中，所述电离腔体包括：
[0012]一进气口，所述进气口上方还设置有进气口座；
[0013]一进气端长腔体，上端与所述进气口下端连接；
[0014]两短腔体，上端分别通过陶瓷环与所述进气端长腔体连接；
[0015]一出气端长腔体，上端分别通过所述陶瓷环与两所述短腔体的下端连接；
[0016]一出气口，上端与所述出气端长腔体连接；
[0017]其中，所述进气口、进气端长腔体、短腔体、出气端长腔体、出气口组合成完整腔体，所述完整腔体内部分别开设有所述气腔和所述冷却水道。该腔体结构的气体循环通道和冷却水道都在腔体上，冷却水道分布在气腔的外侧，热传导效率更高，从而延长了腔体及密封件的使用寿命，提高了生产效率，同时外部附加散热装置进一步提高散热效率。
[0018]本申请其中一个实施例中，还包括两连接件，两所述连接件上端分别连接于所述进气端长腔体的两侧壁，下端分别连接于所述出气端长腔体的两侧壁。通过连接件紧固连接进气端长腔体和出气端长腔体，确保结构稳定性。
[0019]在本申请其中一个实施例中，所述气腔包括位于所述进气口的第一气腔段、位于所述进气端长腔体的第二气腔段、位于所述短腔体的第三气腔段、位于所述出气端长腔体的第四气腔段、位于所述出气口的第五气腔段，所述第一至第五气腔段依次连通，所述第一气腔段还与所述进气口座的进气端口连通。
[0020]在本申请其中一个实施例中，所述冷却水道包括位于所述进气口的第一水道段、位于所述进气端长腔体的第二水道段、位于所述短腔体的第三水道段、位于所述出气端长腔体的第四水道段、位于所述出气口的第五水道段，所述第一至第五水道段依次连通，其中，所述第一水道段连通有出水端，所述第五水道段连通有进水端。出气口电离过程中温度最高，冷却水优先从出气口腔体进去，气体整体上从上至下经过腔体，冷却水从下至上经过腔体，提高换热效率。
[0021]在本申请其中一个实施例中，所述冷却水道设置有两个，分别设置于所述气腔的两侧。两侧冷却水道同步换热，进一步提高换热效率。
[0022]在本申请其中一个实施例中，所述第一、第五水道段均设置有两条相互连通的横向平行段；所述第二、第三、第四水道段均设置有两道，同一侧的所述第二、第三、第四水道段相互连通，所述第三水道段设置有两条竖向平行段。冷却水道分散于腔体侧壁，扩大换热面积，提高换热效率。
[0023]在本申请其中一个实施例中，所述散热装置还包括进出水接头，所述进水管和回水管通过所述进出水接头与所述冷却水泵连接。方便调整管路走向，节省空间，同时连接更稳固。
[0024]在本申请其中一个实施例中，所述散热盘螺接于磁芯组件壳体。磁芯组件安装于电离腔体外部，为高温部件，散热盘直接贴近安装于磁芯组件上，方便散热。
[0025]在本申请其中一个实施例中，所述散热盘包括盖板、流道水盘和密封圈，所述流道水盘内开设有所述水盘流道，所述密封圈沿所述水盘流道内壁设置。
[0026]在本申请其中一个实施例中，所述水盘流道包括主流道和若干辅流道，所述主流道的截面积大于所述辅流道的截面积，所述主流道呈S型连通所述进水口和所述出水口，所述辅流道两端分别与所述主流道连通，所述辅流道与所述主流道不重叠。主流道配合辅流
道可尽可能扩大换热面积，提高散热效率。
[0027]本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：
[0028]1.该远程等离子发生器通过外置的散热装置配合电离腔体内的冷却水道，内外同步换热，提升了散热效率，同时延长了腔体及密封件的使用寿命，提高了生产效率。
[0029]2.该远程等离子发生器的冷却水道分布在气腔的外侧，热传导效率更高，从而提升了生产效率和使用寿命；
[0030]3.该远程等离子发生器的冷却水道分散于腔体侧壁，扩大换热面积，提高换热效率。
[0031]4.该远程等离子发生器的散热盘的主流道配合辅流道可尽可能扩大换热面积，提高散热效率。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种远程等离子发生器，其特征在于，包括：电离腔体，所述电离腔体分别开设有气腔和两个冷却水道，两个所述冷却水道分别设置于所述气腔的两侧，两个所述冷却水道均设置有进水端和出水端；磁芯组件，所述磁芯组件安装于所述电离腔体；散热装置，所述散热装置包括散热盘、进水管、第一出水管、第二出水管和回水管，所述散热盘内开设有水盘流道，所述散热盘还设置有进水口和出水口，所述水盘流道连通进水口和出水口，所述散热盘设置有两个，分别为第一散热盘和第二散热盘，所述第一散热盘和第二散热盘用以分别设置于所述电离腔体两侧，所述进水管一端连通所述第一散热盘和第二散热盘的进水口，另一端用以连接冷却水泵的出水端口，所述第一出水管一端与所述第一散热盘的出水口连通，另一端与一个所述冷却水道的进水端连通；所述第二出水管一端与所述第二散热盘的出水口连通，另一端与另一个所述冷却水道的进水端连通；所述回水管一端用以连接两个所述冷却水道的出水端，另一端用以连接所述冷却水泵的回水端口。2.根据权利要求1所述的远程等离子发生器，其特征在于：所述电离腔体包括：一进气口，所述进气口上方还设置有进气口座；一进气端长腔体，上端与所述进气口下端连接；两短腔体，上端分别通过陶瓷环与所述进气端长腔体连接；一出气端长腔体，上端分别通过所述陶瓷环与两所述短腔体的下端连接；一出气口，上端与所述出气端长腔体连接；其中，所述进气口、进气端长腔体、短腔体、出气端长腔体、出气口组合成完整腔体，所述完整腔体内部分别开设有所述气腔和所述冷却水道。3.根据权利要求2所述的远程等离子发生器，其特征在于：所述电离腔体还包括两连接件，两所述连接件上端分别连接于所述进气端长腔体的两侧壁，下端分别连接于所述出气端长腔体的两侧壁。4.根据权利要求2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱培文，朱国俊，潘小刚，潜世军，
申请(专利权)人：江苏神州半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：