一种用于涂层处理的等离子装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及等离子装置技术领域，且公开了一种用于涂层处理的等离子装置，包括箱体，箱体内设置有等离子发生器以及真空室水冷机构；箱体的一侧连接有真空系统，等离子发生器包括阴极，阴极的外侧套有水套管，水套管的外侧套有空气管，空气管的一端外侧缠绕有线圈，线圈上连接有电源，阴极的一端设置有可更换的阴极头，阴极头设置在线圈的内部，阴极头的外端连接有阳极，阳极内侧设置有放电腔，且在放电腔的表面设置有电弧，阳极的一端设置有等离子喷头，真空室水冷机构设置在阳极的侧面，箱体的内部设置有用于调节等离子发生器角度的调节装置，可以对等离子喷头喷出的等离子体冷却降温处理，方便实现联动控制水冷。方便实现联动控制水冷。方便实现联动控制水冷。

【技术实现步骤摘要】
一种用于涂层处理的等离子装置


[0001]本技术涉及等离子装置
，具体为一种用于涂层处理的等离子装置。

技术介绍

[0002]在真空等离子表面处理工艺中，真空等离子体清洗机产生的等离子体温度很低，但是在使用过程中，如果使用功率较大或处理时刻过长，就会出现电极板温度升高的情况，而等离子体清洗机一般也会处理一些对温度比较敏感的产品，这时就需要根据用户的要求给电极板降温，以达到使对腔内温度稳定在要求范围的目的。
[0003]等离子体清洗机的等离子体发生器是该设备的核心部件，一般小型等离子体清洗机使用功率较小，等离子体发生器自身产生的热量较小，一般会选择风冷除温的方法。而大型等离子清洗机都是会使用输出功率较大的等离子发生器，工作时自身产生的热量也很大，为了保证设备使用的稳定性，延长使用寿命，采用工艺冷却水除温的方法来冷却。
[0004]真空泵在使用过程中无润滑油冷却，机械结构之间又产生了很高的摩擦温度，如真空泵在没有冷却的情况下工作时，会出现转子或螺杆抱死的情况，造成报废。因此，真空泵在使用中需要实时冷却，所采用的方法就是采用过程本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于涂层处理的等离子装置，其特征在于：包括箱体（21），所述箱体（21）内设置有等离子发生器（22）以及真空室水冷机构（23）；所述箱体（21）的一侧连接有真空系统（24），所述等离子发生器（22）包括阴极（25），所述阴极（25）的外侧套有水套管（26），所述水套管（26）的外侧套有空气管（27），所述空气管（27）的一端外侧缠绕有线圈（28），所述线圈（28）上连接有电源，所述阴极（25）的一端设置有可更换的阴极头（29），所述阴极头（29）设置在线圈（28）的内部，所述阴极头（29）的外端连接有阳极（30），所述阳极（30）内侧设置有放电腔（31），且在放电腔（31）的表面设置有电弧（32），所述阳极（30）的一端设置有等离子喷头（33），所述真空室水冷机构（23）设置在阳极（30）的侧面，所述箱体（21）的内部设置有用于调节等离子发生器（22）角度的调节装置（34）。2.根据权利要求1所述的一种用于涂层处理的等离子装置，其特征在于：真空室水冷机构（23）包括外壳（1）、水管（2）、转杆（3）以及第一喷嘴器（4），所述外壳（1）内开设有滑槽（5）与槽体（6），所述滑槽（5）与所述槽体（6）相连通，所述滑槽（5）内可滑动连接有密封块（7），所述密封块（7）上开设有流通槽（8），所述转杆（3）上固定连接有连接杆（9），所述连接杆（9）上固定连接有限流部件，所述转杆（3）用于将所述密封块（7）进行位置调整从而促使所述流通槽（8）与所述水管（2）相连通；所述限流部件为转动板（10），所述转动板（10）上开设有第一通孔（11），所述连接杆（9）用于促使所述转动板（10）进行转动。3.根据权利要求2所述的一种用于涂层处理的等离子装置，其特征在于：所述密封块（7）上固定连接有定位板（12），所述定位板（12）上开设有第二通孔（13），所述连接杆（9）用于促使所述第一通孔（11）与所述第二通孔（13）相连通，从而控制水流大小进入到所述槽体（6）内。4.根据权利要求2所述的一种用于涂层处理的等离子装置，其特征在于：所述密封块（7）上可转动连接有限位圈（14），所述限位圈（14）呈中空环形状...

【专利技术属性】
技术研发人员：阙永生，刘斌，汪庆蓉，卢彬彬，闫向领，鲍恩霞，鲍金胜，
申请(专利权)人：浙江鑫盛永磁科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：