本实用新型专利技术涉及原子层沉积技术领域，且公开了一种原子层沉积用远程等离子体发生装置，包括主体，所述主体两侧的中间位置处对称开设有出口，所述主体内部的两侧对称固接有安装板，所述安装板内部的中间位置处安装有发生器，所述主体内顶部的中间位置处安装有可以进行散热的散热组件，该原子层沉积用远程等离子体发生装置，可以将装置内部的热量抽出，防止装置内部的热量过高对装置内部的零部件造成损伤，不但提高了装置的散热效果，还提高了装置的使用寿命，该原子层沉积用远程等离子体发生装置，可以对外界连接的管道进行加固，防止装置在使用时连接管道发生掉落，进而提高了装置在使用时的稳定性。置在使用时的稳定性。置在使用时的稳定性。
【技术实现步骤摘要】
一种原子层沉积用远程等离子体发生装置
[0001]本技术涉及原子层沉积
，具体为一种原子层沉积用远程等离子体发生装置。
技术介绍
[0002]等离子体发生器用人工方法获得等离子体的装置，等离子体由自然产生的称为自然等离子体(如北极光和闪电)，由人工产生的称为实验室等离子体，实验室等离子体是在有限容积的等离子体发生器中产生的。
[0003]现有装置大多数都无法将装置内部的热量抽出，装置内部的热量过高会对装置内部的零部件造成损伤，不但降低了装置的散热效果，还降低了装置的使用寿命，并且现有装置大多数都无法对外界连接的管道进行加固，装置在使用时连接的管道可能会发生掉落，进而降低了装置在使用时的稳定性。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种原子层沉积用远程等离子体发生装置，解决了无法将装置内部的热量抽出和无法对外界连接的管道进行加固的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]本技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种原子层沉积用远程等离子体发生装置，包括主体，所述主体两侧的中间位置处对称开设有出口，所述主体内部的两侧对称固接有安装板，所述安装板内部的中间位置处安装有发生器，所述主体内顶部的中间位置处安装有可以进行散热的散热组件，所述出口的顶部和底部对称安装有可以对外界连接的管道进行加固的加固组件。
[0008]优选的，所述散热组件内底部的中间位置处安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固接有第一转动杆，且第一转动杆与散热组件的内顶部转动连接，所述散热组件内部两侧的底部对称转动连接有第二转动杆，所述第二转动杆外侧的顶部套设有扇叶，所述第二转动杆和第一转动杆外侧的中间位置处皆套设有链轮，所述链轮的外侧套设有链条，且链条与链轮相互啮合。
[0009]优选的，所述加固组件远离出口的位置处铰接有铰接板，所述铰接板内部的一侧开设有内螺纹孔，所述内螺纹孔的内部插设有螺纹杆，所述螺纹杆靠近出口的一侧转动连接有加固夹板。
[0010]优选的，所述伺服电机的外侧套设有电机仓，且电机仓与散热组件的内部相互连接。
[0011]优选的，所述第二转动杆外侧的顶部和底部对称套设有轴承，且轴承与散热组件的内侧相互连接。
[0012]优选的，所述螺纹杆远离出口的一侧固接有把手，且把手一侧的顶部和底部对称
开设有凹槽。
[0013]优选的，所述主体底部的两侧对称固接有支撑底板，所述支撑底板底部的两端对称固接有支撑腿。
[0014]本技术的有益效果是：
[0015]一)、该原子层沉积用远程等离子体发生装置，可以将装置内部的热量抽出，防止装置内部的热量过高对装置内部的零部件造成损伤，不但提高了装置的散热效果，还提高了装置的使用寿命。
[0016]二)、该原子层沉积用远程等离子体发生装置，可以对外界连接的管道进行加固，防止装置在使用时连接管道发生掉落，进而提高了装置在使用时的稳定性。
附图说明
[0017]图1为本技术的主视局部结构立体示意图；
[0018]图2为本技术的主视剖视结构示意图；
[0019]图3为本技术图2的A处结构放大示意图。
[0020]图中：1、主体；10、出口；11、支撑底板；12、发生器；13、安装板；2、散热组件；20、伺服电机；21、链条；22、第一转动杆；23、扇叶；24、第二转动杆；25、链轮；3、加固组件；30、加固夹板；31、内螺纹孔；32、螺纹杆；33、铰接板。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例一，由图1
‑
2给出，一种原子层沉积用远程等离子体发生装置，本技术包括主体1，主体1两侧的中间位置处对称开设有出口10，主体1内部的两侧对称固接有安装板13，安装板13内部的中间位置处安装有发生器12，主体1内顶部的中间位置处安装有可以进行散热的散热组件2，出口10的顶部和底部对称安装有可以对外界连接的管道进行加固的加固组件3。
[0023]具体的，加固组件3远离出口10的位置处铰接有铰接板33，铰接板33内部的一侧开设有内螺纹孔31，内螺纹孔31的内部插设有螺纹杆32，螺纹杆32靠近出口10的一侧转动连接有加固夹板30。
[0024]具体的，螺纹杆32远离出口10的一侧固接有把手，且把手一侧的顶部和底部对称开设有凹槽。
[0025]具体的，主体1底部的两侧对称固接有支撑底板11，支撑底板11底部的两端对称固接有支撑腿。
[0026]实施例二，由图1
‑
3给出，在实施例一的基础上，散热组件2内底部的中间位置处安装有伺服电机20，伺服电机20的输出端固接有第一转动杆22，且第一转动杆22与散热组件2的内顶部转动连接，散热组件2内部两侧的底部对称转动连接有第二转动杆24，第二转动杆24外侧的顶部套设有扇叶23，第二转动杆24和第一转动杆22外侧的中间位置处皆套设有链
轮25，链轮25的外侧套设有链条21，且链条21与链轮25相互啮合。
[0027]具体的，伺服电机20的外侧套设有电机仓，且电机仓与散热组件2的内部相互连接。
[0028]具体的，第二转动杆24外侧的顶部和底部对称套设有轴承，且轴承与散热组件2的内侧相互连接。
[0029]工作原理：在使用时首先将装置放置到指定的位置处，然后打开发生器12进行使用，在使用时将外界的管道与出口10相互连通，在连通时转动铰接板33带动将外界连接的管道卡住，在卡住时通过转动螺纹杆32带动加固夹板30进行加固，并且装置在使用时装置会产生大量的热量，在产生热量时打开伺服电机20，利用伺服电机20带动第一转动杆22进行转动，然后第一转动杆22利用链条21和链轮25的相互配合带动第二转动杆24进行转动，然后利用第二转动杆24带动扇叶23进行转动，利用扇叶23转动产生向外吹的风力，利用向外吹的风力将装置内的热量吹出。
[0030]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种原子层沉积用远程等离子体发生装置，包括主体(1)，其特征在于：所述主体(1)两侧的中间位置处对称开设有出口(10)，所述主体(1)内部的两侧对称固接有安装板(13)，所述安装板(13)内部的中间位置处安装有发生器(12)，所述主体(1)内顶部的中间位置处安装有可以进行散热的散热组件(2)，所述出口(10)的顶部和底部对称安装有可以对外界连接的管道进行加固的加固组件(3)。2.根据权利要求1所述的一种原子层沉积用远程等离子体发生装置，其特征在于：所述散热组件(2)内底部的中间位置处安装有伺服电机(20)，所述伺服电机(20)的输出端固接有第一转动杆(22)，且第一转动杆(22)与散热组件(2)的内顶部转动连接，所述散热组件(2)内部两侧的底部对称转动连接有第二转动杆(24)，所述第二转动杆(24)外侧的顶部套设有扇叶(23)，所述第二转动杆(24)和第一转动杆(22)外侧的中间位置处皆套设有链轮(25)，所述链轮(25)的外侧套设有链条(21)，且链条(21)与链轮(25)相互啮合。3.根据权利要求1所述的一种原子层沉积...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁阳，蔡村，许颖，韦德远，王会鹏，
申请(专利权)人：活石半导体北京有限公司，
类型：新型
国别省市：
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