一种原子层沉积用前驱体储罐制造技术

本实用新型专利技术涉及储罐技术领域，具体为一种原子层沉积用前驱体储罐，包括储罐主体和沉积盘，所述储罐主体包括罐体，所述罐体的内壁连接有紧固机构，所述罐体的底端外表面连接有取样瓶，且取样瓶的顶端表面连接有取样机构；所述紧固机构包括第一卡杆、第一连接座、第一抵块和扭力弹簧，所述罐体的内壁连接有第一连接座，且第一连接座的内壁连接有第一卡杆，所述第一卡杆的一侧表面连接有扭力弹簧，所述第一卡杆的外表面连接有第一抵块。该原子层沉积用前驱体储罐，通过设置紧固机构，可有效方便对沉积盘进行紧固固定，且该装置通过设置取样机构，可有效方便对气体进行引导取样。可有效方便对气体进行引导取样。可有效方便对气体进行引导取样。

【技术实现步骤摘要】
一种原子层沉积用前驱体储罐


[0001]本技术涉及储罐
，具体为一种原子层沉积用前驱体储罐。

技术介绍

[0002]是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。
[0003]目前，现有的部分储罐，其内部一般是通过将气体导入至设备内部，使其进行气体沉积在储罐内壁的积盘上进行工作的，但是传统的罐体内积盘固定较为不便，且现有的部分储罐，其本身在进行工作时可能会需要对气体进行取样检测，但传统取样方式是需要封闭管道进行取样的，取样较为繁杂，因此亟需一种原子层沉积用前驱体储罐来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种原子层沉积用前驱体储罐，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的部分储罐，其本身在进行工作时，内部积盘固定较为不便，且现有的部分储罐，其在针对气体进行取样时取样较为不便的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种原子层沉积用前驱体储罐，包括储罐主体和沉积盘，所述储罐主体包括罐体，所述罐体的内壁连接有紧固机构，所述罐体的底端外表面连接有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种原子层沉积用前驱体储罐，包括储罐主体和沉积盘(2)，其特征在于：所述储罐主体包括罐体(1)，所述罐体(1)的内壁连接有紧固机构，所述罐体(1)的底端外表面连接有取样瓶(6)，且取样瓶(6)的顶端表面连接有取样机构；所述紧固机构包括第一卡杆(3)、第一连接座(4)、第一抵块(7)和扭力弹簧(8)，所述罐体(1)的内壁连接有第一连接座(4)，且第一连接座(4)的内壁连接有第一卡杆(3)，所述第一卡杆(3)的一侧表面连接有扭力弹簧(8)，所述第一卡杆(3)的外表面连接有第一抵块(7)。2.根据权利要求1所述的一种原子层沉积用前驱体储罐，其特征在于：所述取样机构包括内连接环(9)、第一连接盘(10)、第二连接盘(11)和第一螺纹件(5)，所述罐体(1)的底端表面连接有内连接环(9)，且内连接环(9)的一侧表面连接有第二连接盘(11)，所述第二连接盘(11)的外表面通过轴承连接有第一连接盘(10)，所述罐体(1)的底端表面连接有第一螺纹件(5)，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁阳，蔡村，许颖，韦德远，
申请(专利权)人：活石半导体北京有限公司，
类型：新型
国别省市：