温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及储罐技术领域，具体为一种原子层沉积用前驱体储罐，包括储罐主体和沉积盘，所述储罐主体包括罐体，所述罐体的内壁连接有紧固机构，所述罐体的底端外表面连接有取样瓶，且取样瓶的顶端表面连接有取样机构；所述紧固机构包括第一卡杆、第一连接座...
该专利属于活石半导体（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过活石半导体（北京）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。