一种低压三氟化硼储气罐制造技术

本实用新型专利技术的低压三氟化硼储气罐，包括具有上盖和下盖的罐体，上盖的中心设有进出气口，进出气口连接三通管路，其中，第一管路通过第一手动阀门与真空表相连，第二管路通过第二手动阀门与三氟化硼气源的压力流量调节器相连，第三管路通过第三手动阀门与真空泵或储气罐应用系统相连，进出气口内侧焊有防止碳纳米管外漏的过滤网，下盖有中心孔，环绕中心孔有带内螺纹的环形圈，带外螺纹的孔塞通过螺纹拧接在环形圈上，在环形圈与孔塞之间有Ｏ型橡胶密封圈，罐体内填充有碳纳米管吸附材料。本实用新型专利技术具有制造工艺简单、储气过程易于控制、设备投资少，成本低和安装使用方便，可广泛应用于三氟化硼气体的低压储存。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种低压三氟化硼储气罐，特别是涉及一种用在硅和锗外 延、扩散和离子注入过程的P型掺杂源三氟化硼气体的储气罐。
技术介绍
高纯度三氟化硼(BF3)气体是硅和锗外延、扩散和离子注入过程的P型掺杂 源，在半导体工业有着极其重要的应用。通常，高纯度三氟化硼气体是用高压钢瓶储存，气压高达10-100MPa，在 工业应用中存在着潜在的危险。因而，半导体工业界对于能够在低压条件下储 存高纯度三氟化硼气体的储气罐有着一定的需求。近年来，随着碳纳米管储气研究的不断深入，碳纳米管在高纯度三氟化硼 气体储存应用的广阔前景正日益显示出来。碳纳米管极高的比表面积和特殊的 化学结构，使其能够在低压(〈lMPa)条件下对高纯度三氟化硼气体进行大量的 物理吸附。因而，设计一种适用于碳纳米管的高纯度三氟化硼气体储气罐有着 很强的实际应用背景。
技术实现思路
本技术的目的是针对以碳纳米管为三氟化硼气体的物理吸附材料，设 计一种三氟化硼气体储气罐，该储气罐可方便地实现三氟化硼气体的低压 (〈1MPa)储存。本技术的低压三氟化硼储气罐，包括具有上盖和下盖的罐体，上盖的 中心设有进出气口，进出气口连接三通管路，其中，第一管路通过第一手动阀 门与真空表相连，第二管路通过第二手动阀门与三氟化硼气源的压力流量调节 器相连，第三管路通过第三手动阀门与真空泵或储气罐应用系统相连，进出气 口内侧焊有防止碳纳米管外漏的过滤网，下盖有中心孔，环绕中心孔有带内螺 纹的环形圈，带外螺纹的孔塞通过螺纹拧接在环形圈上，在环形圈与孔塞之间 有O型橡胶密封圈，罐体内填充有碳纳米管吸附材料。本技术具有以下优点低压三氟化硼储气罐可以在低于一个大气压(〈lMPa)的条件下，通过罐体 内充填的碳纳米管吸附材料大量吸附高纯度三氟化硼气体，从而改变了目前半 导体工业界通常采用的高压瓶储三氟化硼气体的方式，可有效地避免采用高压 瓶储三氟化硼气体时潜在的危险。本技术具有制造工艺简单、储气过程3易于控制、设备投资少，成本低和安装使用方便，可广泛应用于三氟化硼气体的低压储存。附图说明图1是低压三氟化硼储气罐结构示意图； 图2是下盖放大图。具体实施方式参照图1、图2，低压三氟化硼储气罐包括具有上盖3和下盖15的罐体 1，上盖3的中心设有进出气口 2，进出气口 2连接三通管路4、 5、 6，其中， 第一管路4通过第一手动阀门7与真空表8相连，第二管路5通过第二手动阀 门9与三氟化硼气源10的压力流量调节器11相连，第三管路6通过第三手动 阀门12与真空泵或储气罐应用系统13相连，进出气口 2内侧焊有防止碳纳米 管外漏的过滤网14，下盖15有中心孔16，环绕中心孔有带内螺纹18的环形圈 17，带外螺纹的孔塞19通过螺纹拧接在环形圈17上，在环形圈17与孔塞19 之间有O型橡胶密封圈20，罐体1内填充有碳纳米管吸附材料21，用于吸附 三氟化硼气体。低压三氟化硼储气罐的罐体呈圆柱体状。上盖和下盖可为半球体或平板状。低压三氟化硼储气罐的罐体、上盖和下盖的材质可为硬质铝合金或不锈 钢。过滤网的材质可为硬质铝合金或不锈钢。过滤网的孔径为400-600目。 低压三氟化硼储气罐储三氟化硼气体时的使用操作过程如下(1) 填充碳纳米管:拧下下盖孔塞，将碳纳米管填充入罐体内，碳纳米管 的最大填充量为罐体体积的95%，然后拧上孔塞。(2) 储气罐抽真空关闭第二手动阀门9，打开第一手动阀门7，将第三 手动阀门12与真空泵13相连接，打开第三手动阀门12，启动真空泵13，对储 气罐罐体1和三通管路4， 5， 6抽真空，直至真空表8显示的真空度<0.01托 (torr)，关闭第一手动阀门7和第三手动阔门12，再关闭真空泵，将与第三手动 阀门12相连的真空泵13分离；(3) 储气罐储三氟化硼气体将接在高纯度三氟化硼气源10上的压力流 量调节器11与第二手动阀门9相连，通过调节压力流量调节器11，设定好三 氟化硼气源10的输出气压为750托(torr)，打开第一手动阀门7和第二手动阀 门9，连续向储气罐供气3h，使储气罐体内的碳纳米管吸附材料21充分吸附 高纯度三氟化硼气体，之后，关闭第一手动阀门7和第二手动阀门9，完成全 部储气操作。4(4)将高纯度三氟化硼气源IO与连接第二手动阀门9分离，即可将储气 罐的第三手动阀门12与储气罐应用系统连接后使用。权利要求1.一种低压三氟化硼储气罐，其特征是包括具有上盖(3)和下盖(15)的罐体(1)，上盖(3)的中心设有进出气口(2)，进出气口(2)连接三通管路(4、5、6)，其中，第一管路(4)通过第一手动阀门(7)与真空表(8)相连，第二管路(5)通过第二手动阀门(9)与三氟化硼气源(10)的压力流量调节器(11)相连，第三管路(6)通过第三手动阀门(12)与真空泵或储气罐应用系统(13)相连，进出气口(2)内侧焊有防止碳纳米管外漏的过滤网(14)，下盖(15)有中心孔(16)，环绕中心孔有带内螺纹(18)的环形圈(17)，带外螺纹的孔塞(19)通过螺纹拧接在环形圈(17)上，在环形圈(17)与孔塞(19)之间有O型橡胶密封圈(20)，罐体(1)内填充有碳纳米管吸附材料(21)。2. 根据权利要求1所述的低压三氟化硼储气罐，其特征是罐体(1)呈圆 柱体状。3. 根据权利要求1所述的低压三氟化硼储气罐，其特征是上盖(3)和下 盖(15)呈半球体或平板状。4. 根据权利要求1所述的低压三氟化硼储气罐，其特征是罐体、上盖和下 盖的材质为硬质铝合金或不锈钢。5. 根据权利要求1所述的低压三氟化硼储气罐，其特征是过滤网为硬质铝 合金或不锈钢。6. 根据权利要求1所述的低压三氟化硼储气罐，其特征是过滤网的孔径为 400-600目。专利摘要本技术的低压三氟化硼储气罐，包括具有上盖和下盖的罐体，上盖的中心设有进出气口，进出气口连接三通管路，其中，第一管路通过第一手动阀门与真空表相连，第二管路通过第二手动阀门与三氟化硼气源的压力流量调节器相连，第三管路通过第三手动阀门与真空泵或储气罐应用系统相连，进出气口内侧焊有防止碳纳米管外漏的过滤网，下盖有中心孔，环绕中心孔有带内螺纹的环形圈，带外螺纹的孔塞通过螺纹拧接在环形圈上，在环形圈与孔塞之间有O型橡胶密封圈，罐体内填充有碳纳米管吸附材料。本技术具有制造工艺简单、储气过程易于控制、设备投资少，成本低和安装使用方便，可广泛应用于三氟化硼气体的低压储存。文档编号F17C11/00GK201407481SQ20092012010公开日2010年2月17日 申请日期2009年5月18日 优先权日2009年5月18日专利技术者炯 陈, 黄德欢 申请人:黄德欢;陈 炯本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低压三氟化硼储气罐，其特征是包括具有上盖（３）和下盖（１５）的罐体（１），上盖（３）的中心设有进出气口（２），进出气口（２）连接三通管路（４、５、６），其中，第一管路（４）通过第一手动阀门（７）与真空表（８）相连，第二管路（５）通过第二手动阀门（９）与三氟化硼气源（１０）的压力流量调节器（１１）相连，第三管路（６）通过第三手动阀门（１２）与真空泵或储气罐应用系统（１３）相连，进出气口（２）内侧焊有防止碳纳米管外漏的过滤网（１４），下盖（１５）有中心孔（１６），环绕中心孔有带内螺纹（１８）的环形圈（１７），带外螺纹的孔塞（１９）通过螺纹拧接在环形圈（１７）上，在环形圈（１７）与孔塞（１９）之间有Ｏ型橡胶密封圈（２０），罐体（１）内填充有碳纳米管吸附材料（２１）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄德欢，陈炯，
申请(专利权)人：黄德欢，陈炯，
类型：实用新型
国别省市：86[]