密封阀门及半导体检测设备制造技术

本申请属于密封阀门技术领域，尤其是涉及一种密封阀门及半导体检测设备。该密封阀门包括密封组件、第一筒体组件以及驱动装置，驱动装置的部分设置于第一筒体组件内并与第一筒体组件活动连接，密封组件位于第一筒体组件外并连接于驱动装置，驱动装置能够驱动密封组件沿第一方向远离第一筒体组件运动至换向位置；在密封组件处于换向位置的状态下，驱动装置能够相对于第一筒体组件运动，并带动密封组件沿第二方向运动。将该密封阀门应用于发射源腔室的密封，能够将发射源腔室在打开状态与密封状态之间切换，通过第一筒体组件与驱动装置配合活动实现密封组件的方向切换以达到密封过道的目的，具备更好的密封效果及使用寿命。具备更好的密封效果及使用寿命。具备更好的密封效果及使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
密封阀门及半导体检测设备


[0001]本申请属于密封阀门
，尤其是涉及一种密封阀门及半导体检测设备。

技术介绍

[0002]随着半导体产业链中的半导体检测设备的快速发展，其对真空的要求也越来越高，尤其是扫描电镜中的电子枪对真空的要求更是严格。
[0003]目前，采用密封阀门对电子枪所处环境进行密封，以使电子枪所处环境在密封状态与非密封状态之间切换。在现有的密封阀门中，电子束过道处设有压块，通过驱动密封块抵接于压块，在压块的反向作用力下使得密封块盖合电子束过道，如此以达到密封目的。
[0004]然而，压块与密封块之间滑动摩擦，如此易因摩擦导致碎屑，碎屑易附着在密封块上从而降低密封性。

技术实现思路

[0005]本申请提供了一种密封阀门及半导体检测设备，以解决现有技术提出的因摩擦产生的碎屑而导致降低密封性的技术问题。
[0006]根据本申请的一个方面，提供了一种密封阀门，包括密封组件、第一筒体组件以及驱动装置，驱动装置的部分设置于第一筒体组件内并与第一筒体组件活动连接，密封组件位于第一筒体组件外并连接于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种密封阀门，其特征在于，包括密封组件、第一筒体组件以及驱动装置，所述驱动装置的部分设置于所述第一筒体组件内并与所述第一筒体组件活动连接，所述密封组件位于所述第一筒体组件外并连接于所述驱动装置，所述驱动装置能够驱动所述密封组件沿第一方向远离所述第一筒体组件运动至换向位置；在所述密封组件处于所述换向位置的状态下，所述驱动装置能够相对于所述第一筒体组件运动，并带动所述密封组件沿第二方向运动。2.根据权利要求1所述的密封阀门，其特征在于，所述驱动装置包括驱动机构以及补偿机构，所述驱动机构的部分设置于所述第一筒体组件内，所述补偿机构设置于所述第一筒体组件内并在所述第一方向上连接于所述第一筒体组件与所述驱动机构之间；所述密封组件连接于所述驱动机构，所述驱动机构能够驱动所述密封组件沿所述第一方向移动至所述换向位置；在所述密封组件处于所述换向位置的状态下，所述驱动机构能够相对于所述第一筒体组件运动并使所述补偿机构动作、且带动所述密封组件沿所述第二方向运动。3.根据权利要求2所述的密封阀门，其特征在于，所述驱动机构包括第二筒体组件以及活动杆组，所述第二筒体组件设置于所述第一筒体组件内并活动连接于所述第一筒体组件，所述密封组件连接于所述活动杆组；所述活动杆组穿设于所述第一筒体组件及所述第二筒体组件，并能够沿所述第一方向运动至抵接于所述第一筒体组件，使得所述密封组件处于所述换向位置；在所述密封组件处于所述换向位置的状态下，所述第二筒体组件能够相对于所述第一筒体组件沿第三方向运动并使所述补偿机构动作，以限定所述活动杆组沿所述第二方向运动；其中，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第三方向与所述第一方向及所述第二方向交叉。4.根据权利要求3所述的密封阀门，其特征在于，所述补偿机构包括活动板以及第二弹性件，所述活动板设置于所述第一筒体组件与所述第二筒体组件之间并抵接于所述第一筒体组件，所述第二弹性件在所述第一方向上夹设于所述活动板与所述第二筒体组件之间。5.根据权利要求3所述的密封阀门，其特征在于，所述驱动机构还包括第一弹性件以及控制阀，所述活动杆组包...

【专利技术属性】
技术研发人员：李帅辰，侯明凯，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：发明
国别省市：