密封阀门及半导体检测设备制造技术

本申请属于密封阀门技术领域，尤其是涉及一种密封阀门及半导体检测设备。该密封阀门包括密封组件、第一筒体组件以及驱动装置，驱动装置的部分设置于第一筒体组件内并与第一筒体组件活动连接，密封组件位于第一筒体组件外并连接于驱动装置，驱动装置能够驱动密封组件沿第一方向远离第一筒体组件运动至换向位置；在密封组件处于换向位置的状态下，驱动装置能够相对于第一筒体组件运动，并带动密封组件沿第二方向运动。将该密封阀门应用于发射源腔室的密封，能够将发射源腔室在打开状态与密封状态之间切换，通过第一筒体组件与驱动装置配合活动实现密封组件的方向切换以达到密封过道的目的，具备更好的密封效果及使用寿命。具备更好的密封效果及使用寿命。具备更好的密封效果及使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
密封阀门及半导体检测设备


[0001]本申请属于密封阀门
，尤其是涉及一种密封阀门及半导体检测设备。

技术介绍

[0002]随着半导体产业链中的半导体检测设备的快速发展，其对真空的要求也越来越高，尤其是扫描电镜中的电子枪对真空的要求更是严格。
[0003]目前，采用密封阀门对电子枪所处环境进行密封，以使电子枪所处环境在密封状态与非密封状态之间切换。在现有的密封阀门中，电子束过道处设有压块，通过驱动密封块抵接于压块，在压块的反向作用力下使得密封块盖合电子束过道，如此以达到密封目的。
[0004]然而，压块与密封块之间滑动摩擦，如此易因摩擦导致碎屑，碎屑易附着在密封块上从而降低密封性。

技术实现思路

[0005]本申请提供了一种密封阀门及半导体检测设备，以解决现有技术提出的因摩擦产生的碎屑而导致降低密封性的技术问题。
[0006]根据本申请的一个方面，提供了一种密封阀门，包括密封组件、第一筒体组件以及驱动装置，驱动装置的部分设置于第一筒体组件内并与第一筒体组件活动连接，密封组件位于第一筒体组件外并连接于驱动装置，驱动装置能够驱动密封组件沿第一方向远离第一筒体组件运动至换向位置；在密封组件处于换向位置的状态下，驱动装置能够相对于第一筒体组件运动，并带动密封组件沿第二方向运动。
[0007]在本申请可选的方案中，驱动装置包括驱动机构以及补偿机构，驱动机构的部分设置于第一筒体组件内，补偿机构设置于第一筒体组件内并在第一方向上连接于第一筒体组件与驱动机构之间；密封组件连接于驱动机构，驱动机构能够驱动密封组件沿第一方向移动至换向位置；在密封组件处于换向位置的状态下，驱动机构能够相对于第一筒体组件运动并使补偿机构动作、且带动密封组件沿第二方向运动。
[0008]在本申请可选的方案中，驱动机构包括第二筒体组件以及活动杆组，第二筒体组件设置于第一筒体组件内并活动连接于第一筒体组件，密封组件连接于活动杆组；活动杆组穿设于第一筒体组件及第二筒体组件，并能够沿第一方向运动至抵接于第一筒体组件，使得密封组件处于换向位置；在密封组件处于换向位置的状态下，第二筒体组件能够相对于第一筒体组件沿第三方向运动并使补偿机构动作，以限定活动杆组沿第二方向运动；其中，第一方向与第二方向垂直，第三方向与第一方向及第二方向交叉。
[0009]在本申请可选的方案中，补偿机构包括活动板以及第二弹性件，活动板设置于第一筒体组件与第二筒体组件之间并抵接于第一筒体组件，第二弹性件在第一方向上夹设于活动板与第二筒体组件之间。
[0010]在本申请可选的方案中，驱动机构还包括第一弹性件以及控制阀，活动杆组包括活塞杆，活塞杆穿设于第二筒体组件并包括活塞段；活塞段设置于第二筒体组件内并将第
二筒体组件的筒腔分隔为第一腔室及第二腔室；第一弹性件设置于第一腔室内并夹设于活塞段及第二筒体组件之间，控制阀连接于第二筒体组件并连通第二腔室。
[0011]在本申请可选的方案中，活动杆组还包括抵接件，抵接件连接于活塞杆；在换向位置，抵接件抵接于第一筒体组件。
[0012]在本申请可选的方案中，第二筒体组件的侧壁设有导向槽，导向槽沿第三方向延伸；第一筒体组件包括第一筒体、封盖组件、导向柱以及形变套管，封盖组件连接于第一筒体远离密封组件的一端，形变套管连接于第一筒体靠近密封组件的一端，活动杆组穿过形变套管并连接形变套管；导向柱连接于第一筒体的侧壁并收容于导向槽中、且能够沿导向槽移动。
[0013]在本申请可选的方案中，封盖组件包括第一封盖以及多个滚动件，多个滚动件均设置于第一封盖；补偿机构抵接于滚动件。
[0014]在本申请可选的方案中，密封组件包括密封块以及第一密封圈；密封块连接于驱动装置，第一密封圈连接于密封块在第二方向上的侧壁。
[0015]根据本申请的另一个方面，提供了一种半导体检测设备，包括转接腔室、发射源腔室、样品检测腔室以及上述的密封阀门；转接腔室包括主通道以及分通道，主通道内设有隔板以将主通道分隔为第一主通道以及第二主通道，分通道连通第二主通道；第一主通道连通发射源腔室，第二主通道连通样品检测腔室，隔板设有过道以连通第一主通道以及第二主通道；第一筒体组件连接于转接腔室的侧壁且部分位于转接腔室外，驱动装置的部分伸入于第二主通道内，密封组件位于第二主通道内，在换向位置，密封组件在第二方向的投影覆盖过道。
[0016]在本申请提供的密封阀门中，驱动装置提供动力驱动密封组件沿第一方向运动至换向位置，密封组件处于换向位置的状态下，驱动装置与第一筒体组件能够相对运动以带动密封组件沿第二方向运动，进而使得密封组件在第一方向运动与第二方向运动之间切换，如此安装有该密封阀门的转接腔室能够开合过道，以使发射源腔室在打开状态与密封状态之间切换。
[0017]相较于现有技术，不须在隔板的过道处增设压块以配合密封组件，因而避免出现因摩擦产生碎屑的情况，进而本申请提供的密封阀门具备更好的密封效果及使用寿命。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域的技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为根据本申请其中一个实施例提供的半导体检测设备的示意简图；
[0020]图2为图1中密封阀门与转接腔室配合结构的剖视图；
[0021]图3为图2中密封阀门的剖视图；
[0022]图4为图3中的密封阀门在另一状态下的示意图；
[0023]图5为图1中的密封阀门的立体图；
[0024]图6为图5中密封阀门的爆炸图。
[0025]附图标记如下：
[0026]100、密封阀门；10、密封组件；11、密封块；12、第一密封圈；
[0027]20、第一筒体组件；21、第一筒体；22、封盖组件；221、第一封盖；222、滚动件；23、导向柱；24、形变套管；25、限位件；26、盖板；
[0028]30、驱动装置；31、驱动机构；311、第二筒体组件；3111、第二筒体；3112、第二封盖；3113、第四密封圈；312、活动杆组；3121、活塞杆；31211、活塞段；31212、第二密封圈；3122、第一转接杆；3123、第二转接杆；3124、抵接件；313、第一弹性件；314、控制阀；
[0029]32、补偿机构；321、活动板；322、第二弹性件；
[0030]40、第三密封圈；51、螺栓；52、螺钉；60、转接块；71、第五密封圈；72、第六密封圈；80、堵头
[0031]A1、安装腔；A2、环腔；B、导向槽；R1、第一腔室；R2、第二腔室；H0、通孔；
[0032]201、隔板；D、过道；C1、发射源腔室；C2、样品检测腔室；C3、转接腔室；C31、主通道；C311、第一主通道；C3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种密封阀门，其特征在于，包括密封组件、第一筒体组件以及驱动装置，所述驱动装置的部分设置于所述第一筒体组件内并与所述第一筒体组件活动连接，所述密封组件位于所述第一筒体组件外并连接于所述驱动装置，所述驱动装置能够驱动所述密封组件沿第一方向远离所述第一筒体组件运动至换向位置；在所述密封组件处于所述换向位置的状态下，所述驱动装置能够相对于所述第一筒体组件运动，并带动所述密封组件沿第二方向运动。2.根据权利要求1所述的密封阀门，其特征在于，所述驱动装置包括驱动机构以及补偿机构，所述驱动机构的部分设置于所述第一筒体组件内，所述补偿机构设置于所述第一筒体组件内并在所述第一方向上连接于所述第一筒体组件与所述驱动机构之间；所述密封组件连接于所述驱动机构，所述驱动机构能够驱动所述密封组件沿所述第一方向移动至所述换向位置；在所述密封组件处于所述换向位置的状态下，所述驱动机构能够相对于所述第一筒体组件运动并使所述补偿机构动作、且带动所述密封组件沿所述第二方向运动。3.根据权利要求2所述的密封阀门，其特征在于，所述驱动机构包括第二筒体组件以及活动杆组，所述第二筒体组件设置于所述第一筒体组件内并活动连接于所述第一筒体组件，所述密封组件连接于所述活动杆组；所述活动杆组穿设于所述第一筒体组件及所述第二筒体组件，并能够沿所述第一方向运动至抵接于所述第一筒体组件，使得所述密封组件处于所述换向位置；在所述密封组件处于所述换向位置的状态下，所述第二筒体组件能够相对于所述第一筒体组件沿第三方向运动并使所述补偿机构动作，以限定所述活动杆组沿所述第二方向运动；其中，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第三方向与所述第一方向及所述第二方向交叉。4.根据权利要求3所述的密封阀门，其特征在于，所述补偿机构包括活动板以及第二弹性件，所述活动板设置于所述第一筒体组件与所述第二筒体组件之间并抵接于所述第一筒体组件，所述第二弹性件在所述第一方向上夹设于所述活动板与所述第二筒体组件之间。5.根据权利要求3所述的密封阀门，其特征在于，所述驱动机构还包括第一弹性件以及控制阀，所述活动杆组包...

【专利技术属性】
技术研发人员：李帅辰，侯明凯，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：发明
国别省市：