【技术实现步骤摘要】
本公开涉及晶圆测试，尤其涉及一种晶圆固定装置、方法及检测设备。
技术介绍
1、在晶圆的电子束测试设备中，需要对晶圆加压以实现电子束减速，降低电子束的能量，使其在接触晶圆表面时具有合适的动能，从而避免电子束对晶圆表面产生过大的损伤。由于用于固定晶圆的静电卡盘中的介电质层耐压有限，因此为了保护介电质层不会被击穿，常规技术中通常是同时对静电卡盘以及加压探针供电，以保证晶圆与介电质层之间的电压不会损坏介电质层。但是由于静电卡盘的供电电源存在有信号噪声，因此会对晶圆的电压产生影响，从而影响到电子束测试设备的测试结果。因此，如何消除供电电源中的信号噪声对测试结果的影响，成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题或者至少部分地解决上述技术问题，本公开提供了一种晶圆固定装置、方法及检测设备。
2、第一方面，本公开提供了一种晶圆固定装置，包括：吸附模块、加压模块以及开关模块。吸附模块用于固定晶圆；加压模块用于为晶圆施加电压；开关模块分别与吸附模块以及加压模块连接，开关模块用于在任意时刻下将吸附模块以及加压模块中的一者与电源连通。
3、可选的，开关模块包括第一开关单元、第二开关单元以及总控开关；第一开关单元以及第二开关单元的控制端均与总控开关连接，第一开关单元与吸附模块连接，第二开关单元与加压模块连接；其中，第一开关单元用于将吸附模块与电源连通，第二开关单元用于将加压模块与电源连通；总控开关用于在同一时间导通第一开关单元以及第二开关单元中的一
4、可选的，总控开关包括第一继电器；第一继电器的控制端与控制模块连接，第一继电器的第一端与控制电压端连接，第一继电器的第二端与第二开关单元的控制端连接，第一继电器的第三端与第一开关单元的控制端连接；第一继电器用于在接收到第一控制信号的情况下将第一端与第二端连通，或者，在接收到第二控制信号的情况下将第一端与第三端连通。
5、可选的，总控开关还包括第二继电器；吸附模块包括第一吸附单元以及第二吸附单元；第一开关单元包括第一子开关以及第二子开关；其中，第一吸附单元以及第二吸附单元共同用于固定第一尺寸晶圆，第二吸附单元用于固定第二尺寸晶圆；第一尺寸晶圆的尺寸大于第二尺寸晶圆的尺寸；第二继电器的控制端与控制模块连接，第二继电器的第一端与第一继电器的第三端连接，第二继电器的第二端与第一子开关的控制端以及第二子开关的控制端连接，第二继电器的第三端与第二子开关的控制端连接；其中，第一子开关连接于第一吸附单元与电源之间，第二子开关连接于第二吸附单元与电源之间；第二继电器用于在接收到第三控制信号的情况下将第一端与第二端连通，或者，在接收到第四控制信号的情况下将第一端与第三端连通。
6、可选的，第一吸附单元包括第一环形卡盘；第二吸附单元包括第二环形卡盘；第一环形卡盘的第一极通过第一子开关与第一电源的负极端连接，第一环形卡盘的第二极通过第一子开关与第一电源的正极端连接；第二环形卡盘的第一极通过第二子开关与第一电源的负极端连接，第二环形卡盘的第二极通过第二子开关与第一电源的正极端连接；其中，第一环形卡盘的直径大于第二环形卡盘的直径，第一环形卡盘与第二环形卡盘嵌套设置，第一环形卡盘以及第二环形卡盘用于在与第一电源连接时，吸附晶圆。
7、可选的，加压模块包括加压探针；加压探针通过开关模块与第二电源连接，加压探针用于在吸附模块固定晶圆的情况下，与晶圆连接；开关模块用于导通第二电源与加压探针；加压探针用于在与第二电源连接时，向晶圆施加电压。
8、可选的，加压模块包括保护单元；保护单元的第一端与加压探针连接，保护单元的第二端通过开关模块与第二电源连接。
9、可选的，保护单元包括保护电阻；保护电阻的第一端与加压探针连接，保护电阻的第二端通过开关模块与第二电源连接。
10、第二方面，本公开还提供了一种晶圆检测设备，包括第一方面的晶圆固定装置。
11、第三方面，本公开还提供了一种晶圆固定方法，应用于第一方面的晶圆固定装置；方法包括：控制开关模块将吸附模块与电源连通；在吸附模块固定晶圆的情况下，控制开关模块将加压模块与电源连通。
12、本公开提供了一种晶圆固定装置、方法及检测设备，晶圆固定装置包括吸附模块、加压模块以及开关模块。在测试过程中，开关模块先导通吸附模块与电源的连接，此时加压模块并未与电源连接，吸附模块在通电后将晶圆进行固定，待晶圆固定完成后，开关模块先断开电源与吸附模块之间的连接，再将电源与加压模块之间的连接导通，由此使加压模块为晶圆施加电压，从而实现降低电子束的能量，对晶圆进行保护。并且开关模块并不会使吸附模块和加压模块同时与电源连接，而是待吸附模块完成对晶圆的固定后，先断开吸附模块与电源的连接再导通加压模块与电源的连接，因此可以避免出现由于吸附模块与加压模块同时工作而导致吸附模块被击穿，从而实现对吸附模块的保护。并且，本公开在加压模块施加的电压时，吸附模块与电源的连接已经断开，因此吸附模块携带的信号噪声也被隔断，从而避免了信号噪声对测试结果的影响，保证了测试的准确性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种晶圆固定装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述开关模块包括第一开关单元、第二开关单元以及总控开关；
3.根据权利要求2所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述总控开关包括第一继电器；
4.根据权利要求3所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述总控开关还包括第二继电器；
5.根据权利要求4所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述第一吸附单元包括第一环形卡盘；所述第二吸附单元包括第二环形卡盘；
6.根据权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述加压模块包括加压探针；
7.根据权利要求6所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述加压模块包括保护单元；
8.根据权利要求7所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述保护单元包括保护电阻；
9.一种晶圆检测设备，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的晶圆固定装置。
10.一种晶圆固定方法，其特征在于，应用于如权利要求1-8任一项所述的晶圆固定装置；
【技术特征摘要】
1.一种晶圆固定装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述开关模块包括第一开关单元、第二开关单元以及总控开关；
3.根据权利要求2所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述总控开关包括第一继电器；
4.根据权利要求3所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述总控开关还包括第二继电器；
5.根据权利要求4所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述第一吸附单元包括第一环形卡盘；所述第二吸附单元包括第二环...
【专利技术属性】
技术研发人员：李帅辰，孙炳晖，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。