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本申请属于密封阀门技术领域，尤其是涉及一种密封阀门及半导体检测设备。该密封阀门包括密封组件、第一筒体组件以及驱动装置，驱动装置的部分设置于第一筒体组件内并与第一筒体组件活动连接，密封组件位于第一筒体组件外并连接于驱动装置，驱动装置能够驱动密...
该专利属于东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司授权不得商用。

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