打点器及测试系统技术方案

本发明专利技术公开了一种打点器，包括：外壳，具有运动腔，所述外壳具有第一磁极；运动件，设置于所述运动腔中；通电线圈，设置于所述运动腔中，所述通电线圈围绕于所述运动件，所述通电线圈能够产生第一磁场和第二磁场，且所述通电线圈能够使所述第一磁场和所述第二磁场互相转换；当所述通电线圈产生所述第一磁场时，所述通电线圈使所述运动件的顶端和底端分别具有所述第一磁极和第二磁极；当所述通电线圈产生所述第二磁场时，所述通电线圈使所述运动件的顶端和底端分别具有所述第二磁极和所述第一磁极，所述第一磁极的磁性与所述第二磁极的磁性相反。本发明专利技术的打点器，能够具有较高的打点效率。能够具有较高的打点效率。能够具有较高的打点效率。

【技术实现步骤摘要】
打点器及测试系统


[0001]本专利技术涉及半导体测试
，尤其是涉及一种打点器及测试系统。

技术介绍

[0002]相关技术中，被测样板(被测样板比如有晶圆)在测试后，需要对不合格的被测单元进行打点标记，方便后工序的识别。打点标记通常通过打点器完成。其中，机台运动后，会将不合格的被测单元移动到打点器下，再驱动打点器向下运动，打点器推动墨水向下，喷射或接触到不合格的被测单元表面上。待墨水干后，被测单元上会形成一个不合格的墨点标记，该墨点标记可以方便后面的工序识别。
[0003]其中，现有的打点器在回位时采用弹簧进行回位，然而由于弹簧的弹性系数较小，因此，弹簧在回位的时候会比较需要较长的时间。如此，打点器打点的效率较低。

技术实现思路

[0004]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种打点器，能够具有较高的打点效率。
[0005]本专利技术还提出一种测试系统。
[0006]根据本专利技术的实施例的打点器，包括：
[0007]外壳，具有运动腔，所述外壳具有第一磁极；
[0008]运动件，设置于所述运动腔中；
[0009]通电线圈，设置于所述运动腔中，所述通电线圈围绕于所述运动件，所述通电线圈能够产生第一磁场和第二磁场，且所述通电线圈能够使所述第一磁场和所述第二磁场互相转换；当所述通电线圈产生所述第一磁场时，所述通电线圈使所述运动件的顶端和底端分别具有所述第一磁极和第二磁极；当所述通电线圈产生所述第二磁场时，所述通电线圈使所述运动件的顶端和底端分别具有所述第二磁极和所述第一磁极，所述第一磁极的磁性与所述第二磁极的磁性相反。
[0010]根据本专利技术实施例的打点器，至少具有如下有益效果：外壳、运动件和通电线圈位于运动腔中，外壳具有第一磁极；通电线圈可以产生第一磁场和第二磁场，并且通电线圈能够使第一磁场和第二磁场互相转换，也即通电线圈能够将第一磁场转换成第二磁场，将第二磁场转换成第一磁场；其中，当通电线圈产生第一磁场时，通电线圈使运动件的顶端和底端分别具有第一磁极和第二磁极，这时，运动件的顶端和外壳产生排斥，运动件的底端和外壳产生吸引，从而运动件可以向下运动；当通电线圈产生第二磁场时，通电线圈使运动件的顶端和底端分别具有第二磁极和第一磁极，这时，运动件的顶端和外壳产生吸引，运动件的底端和外壳产生排斥，从而运动件可以向上运动；如此，通过通电线圈将第一磁场和第二磁场互相转换，运动件可以在运动腔中上下运动。具体地，打点器在回位时具有较快的速度，从而打点器能够具有较高的打点效率。
[0011]根据本专利技术的一些实施例的打点器，还包括点液组件，所述点液组件包括：储存
盒、驱动件和第一管，所述储存盒具有储存腔，所述储存腔用于储存液体，所述第一管具有喷射腔，所述储存腔连通于所述喷射腔，所述驱动件设置于所述储存腔中和所述喷射腔中，所述运动件连接于所述驱动件，所述运动件运动以带动所述驱动件在所述储存腔中和所述喷射腔中运动，并使所述液体从所述喷射腔的开口喷出。
[0012]根据本专利技术的一些实施例的打点器，所述点液组件还包括第二管，所述第二管套设在所述第一管的外部。
[0013]根据本专利技术的一些实施例的打点器，所述点液组件还包括夹持件，所述夹持件的一端连接于所述运动件，所述夹持件的另一端夹持于所述驱动件。
[0014]根据本专利技术的一些实施例的打点器，所述点液组件还包括导向件，所述导向件设置有导向槽，所述导向槽沿竖直方向延伸，所述夹持件滑动设置于所述导向槽中。
[0015]根据本专利技术的一些实施例的打点器，所述外壳还具有安装孔，所述安装孔和所述运动腔连通，所述运动件包括本体部和凸出部，所述凸出部连接于所述本体部的外周并沿所述本体部的径向凸出于所述本体部，所述凸出部的直径大于所述安装孔的直径。
[0016]根据本专利技术的一些实施例的打点器，还包括永磁体，所述永磁体的两端分别具有所述第一磁极和所述第二磁极，所述永磁体的一端连接于所述外壳，以使所述外壳具有所述第一磁极。
[0017]根据本专利技术的一些实施例的打点器，所述通电线圈设置有两个，两个所述通电线圈沿竖直方向排列在所述运动腔中，其中，一个所述通电线圈对应设置于所述运动件的顶部，另一个所述通电线圈对应设置于所述运动件的底部。
[0018]根据本专利技术的一些实施例的打点器，所述外壳设置有散热孔，所述散热孔连通于所述运动腔。
[0019]根据本专利技术的第二方面实施例的测试系统，包括：
[0020]第一方面实施例中任一项所述的打点器；
[0021]控制器，通讯连接于所述打点器，所述控制器能够调节所述通电线圈的电流。
[0022]根据本专利技术实施例的测试系统，至少具有如下有益效果：由于打点器的外壳、运动件和通电线圈位于运动腔中，外壳具有第一磁极；通电线圈可以产生第一磁场和第二磁场，并且通电线圈能够使第一磁场和第二磁场互相转换，也即通电线圈能够将第一磁场转换成第二磁场，将第二磁场转换成第一磁场；其中，当通电线圈产生第一磁场时，通电线圈使运动件的顶端和底端分别具有第一磁极和第二磁极，这时，运动件的顶端和外壳产生排斥，运动件的底端和外壳产生吸引，从而运动件可以向下运动；当通电线圈产生第二磁场时，通电线圈使运动件的顶端和底端分别具有第二磁极和第一磁极，这时，运动件的顶端和外壳产生吸引，运动件的底端和外壳产生排斥，从而运动件可以向上运动；如此，通过通电线圈将第一磁场和第二磁场互相转换，运动件可以在运动腔中上下运动。具体地，打点器在回位时具有较快的速度，从而打点器能够具有较高的打点效率。进一步地，通过控制器调节通电线圈的电流后，可以改变电流的方向和大小，从而进一步提高打点器打点的效率。如此，测试系统在测试时具有较高的测试效率。
[0023]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0024]下面结合附图和实施例对本专利技术做进一步的说明，其中：
[0025]图1为本专利技术的一些实施例的打点器的示意图；
[0026]图2为本专利技术的第一实施例的打点器的剖视图；
[0027]图3为图2中A处的放大示意图；
[0028]图4为本专利技术的第二实施例的打点器的剖视图；
[0029]图5为图4中B处的放大示意图；
[0030]图6为本专利技术的一些实施例的打点器的爆炸示意图；
[0031]图7为本专利技术的一些实施例的测试系统的示意图。
[0032]附图标记：
[0033]打点器10、外壳100、安装孔110、运动腔120、散热孔130、运动件200、本体部210、凸出部220、通电线圈300、点液组件400、储存盒410、驱动件420、第一管430、第二管440、夹持件450、导向件460、导向槽461、永磁体500、转接头600、保护管700、遮光罩800、三维座900。
具体实施方式
[0034]下面详细描述本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.打点器，其特征在于，包括：外壳，具有运动腔，所述外壳具有第一磁极；运动件，设置于所述运动腔中；通电线圈，设置于所述运动腔中，所述通电线圈围绕于所述运动件，所述通电线圈能够产生第一磁场和第二磁场，且所述通电线圈能够使所述第一磁场和所述第二磁场互相转换；当所述通电线圈产生所述第一磁场时，所述通电线圈使所述运动件的顶端和底端分别具有所述第一磁极和第二磁极；当所述通电线圈产生所述第二磁场时，所述通电线圈使所述运动件的顶端和底端分别具有所述第二磁极和所述第一磁极，所述第一磁极的磁性与所述第二磁极的磁性相反。2.根据权利要求1所述的打点器，其特征在于，还包括点液组件，所述点液组件包括：储存盒、驱动件和第一管，所述储存盒具有储存腔，所述储存腔用于储存液体，所述第一管具有喷射腔，所述储存腔连通于所述喷射腔，所述驱动件设置于所述储存腔中和所述喷射腔中，所述运动件连接于所述驱动件，所述运动件运动以带动所述驱动件在所述储存腔中和所述喷射腔中运动，并使所述液体从所述喷射腔的开口喷出。3.根据权利要求2所述的打点器，其特征在于，所述点液组件还包括第二管，所述第二管套设在所述第一管的外部。4.根据权利要求2所述的打点器，其特征在于，所述点液组件还包括夹持件，所述夹持件的一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨应俊，黄艺谦，沈杰，吴小明，黄文渊，吴贵阳，
申请(专利权)人：矽电半导体设备深圳股份有限公司，
类型：发明
国别省市：