本发明专利技术涉及硅片生产设备技术领域，尤其涉及一种空气悬浮式接料装置及硅片接料系统，本发明专利技术在底座上设置第一悬浮弧面，在安装台上对应设置有第二悬浮弧面，第一悬浮弧面上开设有悬浮气孔，悬浮气孔吹气以将安装台悬浮在底座上，这样的设计使得安装台摆动时受到的阻力极小，接料盒则设置在安装台的上端，接料盒上设置有挡料板，硅片做抛物线轨迹运动并接触挡料板时，接料盒/安装台可相对底座摆动从而吸收了硅片的绝大部分动能，使得硅片与挡料板碰撞时，硅片自身仅吸收少量动能转换为内能，因此可以大幅降低硅片崩边、硅落、隐裂等品质异常问题的发生率。问题的发生率。问题的发生率。
【技术实现步骤摘要】
一种空气悬浮式接料装置及硅片接料系统
[0001]本专利技术涉及硅片生产设备
，尤其涉及一种空气悬浮式接料装置及硅片接料系统。
技术介绍
[0002]在分选工序中，硅片以平行或不平行于水平面的姿态做抛物线轨迹运动,硅片的侧边与接料盒的侧边发生硬接触，由于硅片的动能较大，硅片自高速运动至静止的过程中，其动能无法被缓冲而转化为内能，从而产生隐裂、崩边、硅落等问题，降低了硅片的生产良率。
技术实现思路
[0003]为达到上述目的，本专利技术提供一种空气悬浮式接料装置，包括：
[0004]底座，其上端具有第一悬浮弧面，所述第一悬浮弧面上开设有至少一个悬浮气孔，所述悬浮气孔与外置的进气管连通；
[0005]安装台，其底部具有第二悬浮弧面，所述第二悬浮弧面与所述第一悬浮弧面相匹配，气体自所述悬浮气孔吹向所述第二悬浮弧面，以使所述安装台悬浮于所述底座上；
[0006]接料盒，设置在所述安装台上，其上具有挡料板；
[0007]硅片做抛物线轨迹运动接触所述挡料板，并推动所述安装台随所述接料盒相对所述底座摆动。
[0008]在一些可能实现的方式中，所述第一悬浮弧面为凹弧面，所述第二悬浮弧面对应设置为凸弧面。
[0009]在一些可能实现的方式中，所述悬浮气孔有一个并且其垂直设置在所述第一悬浮弧面的底部，所述悬浮气孔的轴心线与所述第一悬浮弧面的圆心同轴设置。
[0010]在一些可能实现的方式中，所述悬浮气孔有若干个，并且若干个所述悬浮气孔的轴心线相交于所述第二悬浮弧面的圆心点。
[0011]在一些可能实现的方式中，所述底座上相对的两侧均形成有朝上突起的限位部，所述安装台位于在两个所述限位部之间，所述限位部上设置有导向气孔，所述导向气孔与外置的进气管连通。
[0012]在一些可能实现的方式中，两个所述导向气孔同轴设置并且其轴心线水平设置。
[0013]在一些可能实现的方式中，所述底座上设置有进气通道，所述悬浮气孔和所述导向气孔均通过所述进气通道与外置的进气管连通。
[0014]在一些可能实现的方式中，所述挡料板有两个，并且两个所述挡料板分设置所述接料盒相邻的两端。
[0015]在一些可能实现的方式中，所述第一悬浮弧面和所述第二悬浮弧面的间隙配合公差带范围是50微米至100微米。
[0016]本专利技术还提供一种硅片接料系统，包括如上述实施例的空气悬浮式接料装置，还
包括控制组件、检测组件和进气组件，所述检测组件和所述进气组件均与所述控制组件信号连接，所述进气组件与所述导向气孔连通，所述检测组件用于检测硅片落料位置并将检测信号发送至所述控制组件，所述控制组件根据接收到的检测信号控制所述进气组件启闭，以调整所述接料盒相对硅片的位置。
[0017]相比现有技术，本专利技术的有益效果在于：本专利技术在底座上设置第一悬浮弧面，在安装台上对应设置有第二悬浮弧面，第一悬浮弧面上开设有悬浮气孔，悬浮气孔吹气以将安装台悬浮在底座上，这样的设计使得安装台摆动时受到的阻力极小，接料盒则设置在安装台的上端，接料盒上设置有挡料板，硅片做抛物线轨迹运动并接触挡料板时，接料盒/安装台可相对底座摆动从而吸收了硅片的绝大部分动能，使得硅片与挡料板碰撞时，硅片自身仅吸收少量动能转换为内能，因此可以大幅降低硅片崩边、硅落、隐裂等品质异常问题的发生率。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本专利技术实施例提供的空气悬浮式接料装置的装配示意图；
[0020]图2为本专利技术实施例提供的空气悬浮式接料装置的结构俯视图；
[0021]图3为图2中A方向的剖面示意图；
[0022]图4为图2中B方向的剖面示意图。
[0023]附图标记：
[0024]底座100、第一悬浮弧面101、悬浮气孔102、导向气孔103、限位部104、进气通道105；
[0025]安装台200、第二悬浮弧面201；
[0026]接料盒300、挡料板301。
具体实施方式
[0027]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。以下，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本公开实施例的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0028]参照图1至图4所示的一种空气悬浮式接料装置，其包括底座100、安装台200和接料盒300，接料盒300可拆卸固定于安装台200上，接料盒300的上端突起有挡料板301，硅片可在外置的输送机构驱使下，呈抛物线轨迹运动落入到接料盒300中并接触挡料板301，该输送机构可以是水平设置的传送带，本专利技术的空气悬浮式接料装置位于传送带的末端；所
述底座100的上端面形成有第一悬浮弧面101，第一悬浮弧面101上设置有至少一个悬浮气孔102，悬浮气孔102与外置的进气管连通，进气管的一端还连接气体发生装置如气泵，安装台200的底部设置有与第一悬浮弧面101相配合的第二悬浮弧面201，安装台200可置于底座100上，此时第二悬浮弧面201可贴合第一悬浮弧面101，从悬浮气孔102吹出的气体可将安装台200顶升起，使得安装台200悬浮于底座100上，即本专利技术是通过正压悬浮原理使得安装台200悬浮在底座100上，此时安装台200受自身重力和空气的向上的阻力作用以达到平衡状态，而空气相对第二悬浮弧面201的摩擦阻力极小，即安装台200/接料盒300受到硅片的作用力时安装台200可相对底座100摆动以吸收硅片的动能，硅片碰撞时自身吸收的动能极少，因此可以大幅降低硅片碰撞到挡料板301而导致的崩边、硅落、隐裂等品质异常的问题。
[0029]在一些可能实现的方式中，参照图1与图3所示，第一悬浮弧面101为凹弧面，第二悬浮弧面201对应设置为凸弧面，第一悬浮弧面101对应的圆心角范围是60
°
至120
°
，第二悬浮弧面201对应的圆心角大于第一悬浮弧面101的圆心角，这样可以保证自悬浮气孔102吹出的气体在第一悬浮弧面101和第二悬浮弧面201之间的区域并对安装台200起到稳定支撑悬浮作用。
[0030]在一些可能实现的方式中，参照图1与图4所示，悬浮气孔102有一个并且该一个悬浮气孔102垂直朝上设置在第一悬浮弧面101的底部，该悬浮气孔102的轴心线与第一悬本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种空气悬浮式接料装置，其特征在于，包括：底座(100)，其上端具有第一悬浮弧面(101)，所述第一悬浮弧面(101)上开设有至少一个悬浮气孔(102)，所述悬浮气孔(102)与外置的进气管连通；安装台(200)，其底部具有第二悬浮弧面(201)，所述第二悬浮弧面(201)与所述第一悬浮弧面(101)相匹配，气体自所述悬浮气孔(102)吹向所述第二悬浮弧面(201)，以使所述安装台(200)悬浮于所述底座(100)上；接料盒(300)，设置在所述安装台(200)上，其上具有挡料板(301)；硅片做抛物线轨迹运动接触所述挡料板(301)，并可推动所述安装台(200)随所述接料盒(300)相对所述底座(100)摆动。2.根据权利要求1所述的一种空气悬浮式接料装置，其特征在于，所述第一悬浮弧面(101)为凹弧面，所述第二悬浮弧面(201)对应设置为凸弧面。3.根据权利要求2所述的一种空气悬浮式接料装置，其特征在于，所述悬浮气孔(102)有一个并且其垂直设置在所述第一悬浮弧面(101)的底部，所述悬浮气孔(102)的轴心线与所述第一悬浮弧面(101)的圆心同轴设置。4.根据权利要求1所述的一种空气悬浮式接料装置，其特征在于，所述悬浮气孔(102)有若干个，并且若干个所述悬浮气孔(102)的轴心线相交于所述第二悬浮弧面(201)的圆心点。5.根据权利要求1所述的一种空气悬浮式接料装置，其特征在于，所述底座(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：周禹，付明全，薄千顷，郭翔，
申请(专利权)人：四川高景太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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