真空泵的控制装置以及控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种防止运行模式误转变为运行限制模式的真空泵的控制装置以及控制方法。控制装置(6)包括控制部(62)。控制部(62)对真空泵(1)中发生的多种异常各自的发生次数进行计数，当多种异常的发生次数分别超过规定阈值时，产生重大警报。产生重大警报。产生重大警报。

【技术实现步骤摘要】
真空泵的控制装置以及控制方法


[0001]本专利技术涉及一种真空泵的控制装置以及真空泵的控制方法。

技术介绍

[0002]在真空泵中，有通过马达来驱动转子旋转以排出气体的真空泵。专利文献1所记载的真空泵中记载了：检测转子轴的轴位移，对检测到的次数进行累计，在累计次数超过规定次数的情况或者累计次数在规定时间内超过规定次数的情况下发出警报。
[0003][现有技术文献][0004][专利文献][0005]专利文献1：日本专利特开2004
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150340号公报

技术实现思路

[0006][专利技术所要解决的问题][0007]根据专利文献1所记载的真空泵，仅基于计测到转子轴的轴位移的累计次数来发出警报，对于其他种类的异常未作考虑。因此，例如在检测到转子轴的轴位移的累计次数超过了规定次数，另一方面，其他种类的异常的发生次数少的情况下，尽管真空泵发生故障的可能性低，但仍会发出警报。即，在以往的泵中，即便在原本不需要产生警报的情况下也有可能产生警报。虽无特别限定，但例如在与警报同时使真空泵停止的结构中，尽管真空泵发生故障的可能性低，但仍会使真空泵停止，从而有可能对利用真空泵进行排气的对象装置的动作造成障碍。而且，在将此种真空泵适用于半导体制造装置的情况下，真空泵的不必要停止会造成制造线停止的重大问题。
[0008]本专利技术是为了解决所述以往的问题而完成，其目的在于防止根据仅一种异常的发生次数而误产生重大警报(alarm)的情况。
[0009][解决问题的技术手段][0010]本专利技术的一形态的控制装置是通过马达来驱动转子旋转以排出气体的真空泵的控制装置。控制装置包括控制部。控制部对真空泵中发生的多种异常各自的发生次数进行计数，当多种异常的发生次数分别超过规定阈值时，产生重大警报。
[0011][专利技术的效果][0012]所述的控制装置中，当真空泵中发生的多种真空泵的各异常的发生次数超过规定阈值时，产生重大警报。即，是否产生重大警报，是根据多种异常各自的发生次数来决定。由此，在仅一种异常的发生次数多而其他异常的发生次数少，因而真空泵发生故障的可能性低的情况下，能够防止误产生重大警报。另外，所谓重大警报的产生，未必需要告知给用户(显示或发声等)，也可仅存储于存储部中。
附图说明
[0013]图1是表示真空泵的结构的图。
[0014]图2是表示控制装置的结构的图。
[0015]图3是表示真空泵的运行的流程图。
[0016]图4是表示真空泵1的启动动作的流程图。
[0017][符号的说明][0018]1：真空泵
[0019]2：壳体
[0020]3：底座
[0021]4：转子
[0022]5：定子
[0023]6：控制装置
[0024]7：操作装置
[0025]11：第一端部
[0026]12：第二端部
[0027]13：进气口
[0028]14：底座端部
[0029]16：排气口
[0030]21：轴
[0031]22：转子叶片
[0032]23：转子圆筒部
[0033]31：定子叶片
[0034]32：定子圆筒部
[0035]33：框体
[0036]41A～41E：轴承
[0037]42：马达
[0038]42A：马达转子
[0039]42B：马达定子
[0040]43：转速传感器
[0041]44A～44C：位移传感器
[0042]45：马达电流测定装置
[0043]51：加热器
[0044]52：温度传感器
[0045]53：加热器电流测定装置
[0046]61：存储部
[0047]62：控制部
[0048]A1：轴线
[0049]AH：重大警报产生历史
[0050]CNT：异常发生计数器
[0051]CON：异常发生条件
[0052]PW：解除密码
[0053]RCO：重大警报条件
[0054]S1～S8、S11～S14：步骤
[0055]SP1：第一内部空间
[0056]SP2：第二内部空间。
具体实施方式
[0057]＜真空泵的整体结构＞
[0058]使用图1来说明真空泵1。图1是表示真空泵1的结构的图。真空泵1包含壳体2、底座3、转子4、定子5以及控制装置6。
[0059]壳体2包含第一端部11、第二端部12以及第一内部空间SP1。在第一端部11设有进气口13。第一端部11被安装于排气对象(未图示)。第一内部空间SP1连通于进气口13。第二端部12在转子4的轴线A1的延长方向上位于第一端部11的相反端。第二端部12连接于底座3。底座3包含底座端部14。底座端部14连接于壳体2的第二端部12。
[0060]转子4连接于轴21。轴21沿轴线A1的延长方向延伸。轴21可旋转地被收纳于底座3。转子4包含多级的转子叶片22与转子圆筒部23。多级的转子叶片22分别连接于轴21。多个转子叶片22在轴线A1的延长方向上彼此隔开间隔而配置。尽管省略图示，但多级的转子叶片22分别以轴21为中心呈辐射状延伸。另外，附图中，仅对多级的转子叶片22中的一个标注了符号，其他转子叶片22的符号予以省略。转子圆筒部23被配置在多级的转子叶片22的下方。转子圆筒部23沿轴线A1的延长方向延伸。
[0061]定子5包含多级的定子叶片31与定子圆筒部32。多级的定子叶片31连接于壳体2的内表面。多级的定子叶片31在轴线A1的延长方向上彼此隔开间隔而配置。多级的定子叶片31分别配置在多级的转子叶片22之间。尽管省略图示，但多级的定子叶片31分别以轴21为中心呈辐射状延伸。另外，附图中，仅对多级的定子叶片31中的两个标注了符号，其他定子叶片31的符号予以省略。定子圆筒部32以热接触的状态固定于底座3。定子圆筒部32是在转子圆筒部23的径向上，隔开微小的间隙而与转子圆筒部23相对地配置。在定子圆筒部32的内周面，设有螺旋状槽。
[0062]如图1所示，在转子圆筒部23与定子圆筒部32的排气下游侧的端部的更下游侧，形成有第二内部空间SP2。从安装对象排出的气体被排出至第二内部空间SP2。第二内部空间SP2连通于排气口16。排气口16被设于底座3。在排气口16连接有其他的真空泵(未图示)。
[0063]控制装置6被收纳在设于底座3下部的框体33的内部，对真空泵1进行控制。而且，控制装置6在由后述的位移传感器44A～位移传感器44C所测定的轴21的浮起位置、由电流值测定装置所测定的供给至马达42的电流值、由转速传感器43所测定的转子4的转速不处于正常值的范围的情况下，产生通知真空泵1中发生了异常的警报或警告。控制装置6是包括中央处理器(Central Processing Unit，CPU)、只读存储器(Read Only Memory，ROM本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种控制装置，为真空泵的控制装置，其特征在于，所述真空泵通过马达来驱动转子旋转以排出气体，所述控制装置包括控制部，所述控制部对所述真空泵中发生的多种异常各自的发生次数进行计数，在多种异常的发生次数分别超过规定阈值的情况下，产生重大警报。2.根据权利要求1所述的控制装置，其中所述控制部在多种异常的发生次数分别超过规定阈值的情况下，使所述真空泵的运行模式转变为运行限制模式，所述运行限制模式是在使所述真空泵停止后重新启动时，比通常时限制所述真空泵的运行。3.根据权利要求2所述的控制装置，其中所述控制部在所述真空泵的运行模式为所述运行限制模式的情况下，使所述真空泵从启动开始运行了规定时间后停止。4.根据权利要求2所述的控制装置，其中，还包括存储部，所述控制部在产生了所述重大警报时，将表示产生了所述重大警报的重大警报产...

【专利技术属性】
技术研发人员：广田圣典，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：