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本发明提供一种防止运行模式误转变为运行限制模式的真空泵的控制装置以及控制方法。控制装置(6)包括控制部(62)。控制部(62)对真空泵(1)中发生的多种异常各自的发生次数进行计数，当多种异常的发生次数分别超过规定阈值时，产生重大警报。产生重...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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