一种PECVD镀膜载板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种PECVD镀膜载板，包括：面板、导向条和多块支撑板；所述面板顶部用于承载硅片，所述面板底部均布有多块支撑板，所述支撑板的设置方向与导向条的设置方向相互垂直；所述导向条沿着载板的运行方向对称设置在面板的两侧部，用于辅助载板移动；所述导向条侧部设有多个凹槽，所述凹槽用于卡接支撑板两端部。本实用新型专利技术具有结构紧凑、承载强度高且便于维护等优点，解决了因载板面积增大而引起载板变形、因加强筋厚度增加而引起载板升温速率慢等问题，增强了载板结构强度的同时也有效提高了载板的温升速率，保证了PECVD非晶镀膜设备的工艺稳定性。镀膜设备的工艺稳定性。镀膜设备的工艺稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种PECVD镀膜载板


[0001]本技术属于异质结HIT太阳能电池制备
，具体涉及一种PECVD镀膜载板。

技术介绍

[0002]异质结HIT太阳能电池拥有工序少，效率高等特点，是继perc电池后行业新一代主流技术，越来越受行业关注。相对于传统晶硅太阳能电池而言，异质结HIT太阳能电池对外界环境非常敏感。异质结PECVD非晶镀膜设备作为异质结产线最核心的一环，其工艺稳定性及产能一直是设备难点。其中的本征非晶硅层和掺杂非晶硅层沉积时的工艺温度窗口窄，温度变化所造成的影响尤为明显，导致异质结PECVD镀膜设备对温度的均匀性和稳定性要求异常严格。
[0003]PECVD设备一般以载板为硅片载体，载板通过滚轮进行传输、加热以及镀膜工艺。如图1和图2所示，传统的载板一般采用细长条状的长方体结构形式的加强筋来加强载板的强度，提高载板在滚轮跨度方向上的垂直变形量。随着设备产能的逐步提升，载板的面积也越来越大，传统的加强筋必须通过不断的增加厚度和数量来增强载板的强度，减少载板的变形。加强筋增厚导致载板面板离加热板的距离也更大，真空环境下所依赖的辐射传热速率也随之变慢，造成设备的节拍时间增加，导致设备产能降低，这与增大载板面积来提升设备产能的想法背道而驰。因此，迫切需要一种新结构形式的载板加强形式，既能有效提高载板的变形量，提高载板的强度，又能提升载板的温升速率，减短设备的节拍时间，从而提高设备的产能。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑、支撑强度高、厚度较小且温升速率快的PECVD镀膜载板。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种PECVD镀膜载板，包括：面板、导向条和多块支撑板；所述面板顶部用于承载硅片，所述面板底部均布有多块支撑板，所述支撑板的设置方向与导向条的设置方向相互垂直；所述导向条沿着载板的运行方向对称设置在面板的两侧部，用于辅助载板移动；所述导向条侧部设有多个凹槽，所述凹槽用于卡接支撑板两端部。
[0007]作为本技术的进一步改进，所述支撑板的外轮廓呈正弦波形结构。
[0008]作为本技术的进一步改进，所述支撑板采用碳纤维材料制备得到。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述凹槽的数量与支撑板的数量一一对应。
[0010]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0011]本技术的PECVD镀膜载板，通过在导向条侧部设置凹槽，并且将支撑板卡接在凹槽内，提高了支撑板的拆装灵活性；通过采用正弦波形结构的支撑板来代替传统的加强筋，降低了载板在工艺腔内滚轮跨度方向上的垂直变形量，提升了载板的强度；进一步地，
正弦波形结构的支撑板相较于传统加强筋而言，将条状加强结构改进为面状加强结构，有效增强了载板的整体强度，并极大地降低了载板的整体厚度，载板整体厚度越薄，其面板离加热板的距离越近，加热效果越好，载板的温升速率越高，设备节拍时间越短，有利于提高设备的产能。与此同时，载板整体厚度越薄，其面板上的硅片位置越贴近设备放电时作为阳极的加热板表面，工艺效果更佳稳定。
附图说明
[0012]图1为现有载板的结构示意图。
[0013]图2为图1中A
‑
A向的结构示意图。
[0014]图3为本技术PECVD镀膜载板的结构原理示意图。
[0015]图4为图3中B
‑
B向的结构原理示意图。
[0016]图5为本技术PECVD镀膜载板中导向条的结构原理示意图。
[0017]图例说明：10、传统载板；101、传统面板；102、传统导向条；103、传统加强筋；20、载板；201、面板；202、导向条；2021、凹槽；203、支撑板。
具体实施方式
[0018]以下结合说明书附图和具体优选的实施例对本技术作进一步描述，但并不因此而限制本技术的保护范围。
[0019]实施例
[0020]如图3至图5所示，本技术的PECVD镀膜载板，包括：面板201、导向条202和多块支撑板203。面板201顶部用于承载硅片，面板201底部均布有多块支撑板203，支撑板203的设置方向与导向条202的设置方向相互垂直；导向条202沿着载板20的运行方向对称设置在面板201的两侧部，用于辅助载板20移动。导向条202侧部设有多个凹槽2021，凹槽2021用于卡接支撑板203两端部，使得支撑板203被限制在面板201与导向条202之间，实现支撑板203与面板201的非固定连接，得到轻薄化高强度大面积的镀膜载板。可以理解，凹槽2021的数量与支撑板203的数量一一对应。
[0021]如图4所示，本实施例中，支撑板203的外轮廓呈正弦波形结构，正弦横截面平行于载板20运动方向，增大了对面板201的支撑面，有利于提高载板20整体的结构强度。
[0022]本实施例中，支撑板203采用碳纤维材料制备得到，碳纤维材料具有耐高温、耐腐蚀及高强度等优点。
[0023]本实施例中，通过在导向条202侧部设置凹槽2021，并且将支撑板203卡接在凹槽2021内，实现支撑板203的非固定安装形式，提高了支撑板203的拆装灵活性。通过采用正弦波形结构的支撑板203来代替传统的加强筋，降低了载板在工艺腔内滚轮跨度方向上的垂直变形量，提升了载板20的强度。进一步地，正弦波形结构的支撑板203相较于传统加强筋而言，将条状加强结构改进为面状加强结构，有效增强了载板20的整体强度，并极大地降低了载板20的整体厚度，载板20整体厚度越薄，其面板201离加热板的距离越近，加热效果越好，载板20的温升速率越高，设备节拍时间越短，有利于提高设备的产能。与此同时，载板20整体厚度越薄，其面板201上的硅片位置越贴近设备放电时作为阳极的加热板表面，工艺效果更佳稳定。
[0024]虽然本技术以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本技术。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本技术的精神实质和技术方案的情况下，都可利用上述揭示的方法和
技术实现思路
对本技术技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本技术技术方案的内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰，均仍属于本技术技术方案保护的范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PECVD镀膜载板，其特征在于，包括：面板(201)、导向条(202)和多块支撑板(203)；所述面板(201)顶部用于承载硅片，所述面板(201)底部均布有多块支撑板(203)，所述支撑板(203)的设置方向与导向条(202)的设置方向相互垂直；所述导向条(202)沿着载板(20)的运行方向对称设置在面板(201)的两侧部，用于辅助载板(20)移动；所述导向条(202)侧部设有多个凹...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈臻阳，彭宜昌，曾武杨，张单辉，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：