一种MPCVD设备用防尘装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种MPCVD设备用防尘装置，属于MPCVD设备技术领域，包括操作设备，操作设备的外侧壁上铰接有门板，操作设备的一侧设置有防尘组件，防尘组件包括防护箱、液压箱、支撑弹簧、延伸箱、输出气缸、阀片、限位块、密封片、移动杆、万向节和散热片，液压箱固定安装在操作设备的内侧壁上，防护箱的一端固定安装在液压箱的外侧壁上，防护箱与液压箱的连接区域设置有通孔，输出气缸固定安装在防护箱的内侧壁上，该一种MPCVD设备用防尘装置，可对散热片在散热孔内的位置进行调节，可便于对本实用新型专利技术散热，在对操作设备使用完毕后，可通过散热片对散热孔进行封堵，从而可防止外界的灰尘通过散热孔进入到本实用新型专利技术内，功能多样。功能多样。功能多样。

【技术实现步骤摘要】
一种MPCVD设备用防尘装置


[0001]本技术涉及一种MPCVD设备用防尘装置，属于MPCVD设备


技术介绍

[0002]化学气相沉积(CVD)技术被广泛应用于金刚石、类金刚石、氧化硅、非晶硅等薄膜/晶体的制备，CVD法具有沉积温度低、薄膜成分易控、均匀性好等优势，其中微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)因为其无极放电、污染少和等离子体密度高等优点，微波等离子体气相沉积(MPCVD)法是目前制备高质量、大面积金刚石的最有前景的手段，现有的MPCVD设备为了提高散热效果，其自身的防尘性能较差，进而在使用时，需要经常对其内部的散热组件上的灰尘进行清理，在使用时较为不便。

技术实现思路

[0003]本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种MPCVD设备用防尘装置，可防止外界的灰尘通过散热孔进入到本技术内，功能多样。
[0004]本技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种MPCVD设备用防尘装置，包括操作设备，所述操作设备的外侧壁上铰接有门板，所述操作设备的一侧设置有防尘组件，所述防尘组件包括防护箱、液压箱、支撑弹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MPCVD设备用防尘装置，其特征在于：包括操作设备(1)，所述操作设备(1)的外侧壁上铰接有门板(2)，所述操作设备(1)的一侧设置有防尘组件(3)，所述防尘组件(3)包括防护箱(301)、液压箱(302)、支撑弹簧(303)、延伸箱(304)、输出气缸(305)、阀片(306)、限位块(307)、密封片(308)、移动杆(309)、万向节(3010)和散热片(3011)，所述液压箱(302)固定安装在所述操作设备(1)的内侧壁上，所述防护箱(301)的一端固定安装在所述液压箱(302)的外侧壁上，所述防护箱(301)与所述液压箱(302)的连接区域设置有通孔，所述输出气缸(305)固定安装在所述防护箱(301)的内侧壁上，所述输出气缸(305)的输出端通过所述通孔穿设在所述液压箱(302)内。2.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备用防尘装置，其特征在于：所述阀片(306)的一侧固定安装在所述输出气缸(305)的输出轴上，所述延伸箱(304)的一端固定安装在所述液压箱(302)的内侧壁上，所述延伸箱(304)与所述液压箱(302)连通。3.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备用防尘装置，其特征在于：所述延伸箱(304)与所述液压箱(302)内均填充有液压油，所述限位块(307)的一端固定安装在所述延伸箱(304)的内侧壁上，所述移动杆(309)的一端穿设在所述延伸箱(304)内。4.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备用防尘装置，其特征在于：所述密封片(308)的一侧固定安装在所述移动杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：王凯，秦静，
申请(专利权)人：美若科技有限公司，
类型：新型
国别省市：