【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种mpcvd设备用控温装置,属于mpcvd设备相关。
技术介绍
1、mpcvd设备为一种常见的气相沉积设备,特别适合于金刚石生产,通过等离子体在基片台上的基片表面沉积金刚石,为实现批量生产,基片台上会按照阵列放置基片(如金刚石单晶片),为了实现各个基片表面均匀沉积金刚石,要求整个生长过程各个基片的上表面温度尽量保持一致,但是,由于mpcvd设备制备金刚石薄膜时在金刚石沉积过程中,理想状态下,等离子体形态呈轴对称,中心区域等离子体更靠近基片,使得基片台中心处基片的温度比周围基片的温度高,因此在mpcvd设备工作时,需要对基片台的温度进行控制,现有的mpcvd设备用控温装置在使用时,大多是通过水冷散热的方式达到控温的目的,进而在使用时,需要经常加水,而现有的mpcvd设备用控温装置子啊使用时并不能够提醒使用者进行加水,需要使用者经常观察,在使用时较为不便。
技术实现思路
1、本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种mpcvd设备用控温装置,可在制冷水箱内的水较少时对使用者进行提醒。
2、本技术通过以下技术方案来实现上述目的,一种mpcvd设备用控温装置,包括mpcvd设备本体,所述mpcvd设备本体底部的外侧壁上固定安装有支腿,所述mpcvd设备本体的一侧设置有控温组件,所述控温组件包括制冷水箱、输出泵、外壳、制冷板、散热翅片、导流管、支撑弹簧、传动板、固定电极、移动电极和警示灯,所述导流管的一端穿设在所述mpcvd设备本体内,所述外壳固定安装在所述导流管的
3、优选的,为了提高对制冷水箱内水的制冷效果,所述散热翅片的一端固定安装在所述制冷板的外侧壁上,所述传动板的一端固定安装在所述制冷水箱底部的外侧壁上。
4、优选的,为了便于对移动电极进行传动,所述移动电极固定安装在所述传动板的一端,所述固定电极固定安装在所述外壳的内侧壁上,所述警示灯固定安装在所述外壳的外侧壁上。
5、优选的,为了便于对输出泵进行安装,所述输出泵固定安装在所述外壳的一侧,所述导流管的一端套设在所述输出泵的输出端上,所述输出泵的输入端穿设在制冷水箱内。
6、优选的,为了便于对基片台的温度进行控制,所述mpcvd设备本体内设置有基片台,所述基片台的一端固定安装在所述导流管上。
7、优选的,为了便于对冰块进行粉碎,所述外壳的顶部设置有辅助组件,所述辅助组件包括电机箱、输出电机、粉碎杆、下料嘴和粉碎箱。
8、优选的,为了便于粉碎后的冰块进入到外壳内,所述外壳的顶部设置有安装孔,所述粉碎箱的一端固定安装在所述安装孔的内侧壁上,所述电机箱的一端固定安装在所述粉碎箱的另一端上。
9、优选的,为了便于对输出电机进行安装,所述输出电机固定安装在所述电机箱的内侧壁上,所述粉碎杆的一端转动安装在所述粉碎箱的内侧壁上,所述输出电机的输出轴固定安装在所述粉碎杆的另一端上。
10、本技术的有益效果是:
11、该一种mpcvd设备用控温装置,可通过导流管将制冷后的水抽进基片台内,进而可对基片台进行降温,可对达到对其温度进行控制的目的,同时可在制冷水箱内的水较少时对使用者进行提醒。
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1.一种MPCVD设备用控温装置,其特征在于:包括MPCVD设备本体(1),所述MPCVD设备本体(1)底部的外侧壁上固定安装有支腿(2),所述MPCVD设备本体(1)的一侧设置有控温组件(3),所述控温组件(3)包括制冷水箱(301)、输出泵(302)、外壳(303)、制冷板(304)、散热翅片(305)、导流管(306)、支撑弹簧(307)、传动板(308)、固定电极(309)、移动电极(3010)和警示灯(3011),所述导流管(306)的一端穿设在所述MPCVD设备本体(1)内,所述外壳(303)固定安装在所述导流管(306)的另一端上,所述支撑弹簧(307)的一端固定安装在所述外壳(303)底部的内侧壁上,所述制冷水箱(301)的一端固定安装在所述支撑弹簧(307)的一端,所述制冷板(304)的一端固定安装在所述制冷水箱(301)的内侧壁上。
2.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备用控温装置,其特征在于:所述散热翅片(305)的一端固定安装在所述制冷板(304)的外侧壁上,所述传动板(308)的一端固定安装在所述制冷水箱(301)底部的外侧壁上。
...【技术特征摘要】
1.一种mpcvd设备用控温装置,其特征在于:包括mpcvd设备本体(1),所述mpcvd设备本体(1)底部的外侧壁上固定安装有支腿(2),所述mpcvd设备本体(1)的一侧设置有控温组件(3),所述控温组件(3)包括制冷水箱(301)、输出泵(302)、外壳(303)、制冷板(304)、散热翅片(305)、导流管(306)、支撑弹簧(307)、传动板(308)、固定电极(309)、移动电极(3010)和警示灯(3011),所述导流管(306)的一端穿设在所述mpcvd设备本体(1)内,所述外壳(303)固定安装在所述导流管(306)的另一端上,所述支撑弹簧(307)的一端固定安装在所述外壳(303)底部的内侧壁上,所述制冷水箱(301)的一端固定安装在所述支撑弹簧(307)的一端,所述制冷板(304)的一端固定安装在所述制冷水箱(301)的内侧壁上。
2.根据权利要求1所述的一种mpcvd设备用控温装置,其特征在于:所述散热翅片(305)的一端固定安装在所述制冷板(304)的外侧壁上,所述传动板(308)的一端固定安装在所述制冷水箱(301)底部的外侧壁上。
3.根据权利要求1所述的一种mpcvd设备用控温装置,其特征在于:所述移动电极(3010)固定安装在所述传动板(308)的一端,所述固定电极(309)固定安装在所述外壳(303)的内侧壁上,所述警示灯(3011)固定安装在所述外壳(...
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