【技术实现步骤摘要】
本技术属于一种炉体配件,具体是用于电热加工炉体上固定电热偶的装置。
技术介绍
在电热加工工艺中使用的炉子,比如对晶片进行热加工的炉子炉体上,需要设置 一种热电偶固定装置,用以固定热电偶。目前使用的热电偶固定装置为金属材料,以螺钉固 定热电偶瓷管,无持续弹性力;金属易导热,热涨系数大,容易热变形,有时会造成热电偶瓷 管移位或脱落。因此,需要对其进行改进。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述技术问题,提出一种自锁紧热电偶固定装置, 该固定装置克服了上述的技术问题。 本技术的目的是通过以下技术方案来实现的自锁紧热电偶固定装置,其特 征在于设有定位块、夹块,在该定位块和夹块上设有纵向透孔,透孔中设有紧固螺钉和螺 母,螺钉上套有锁紧定位块和夹块的弹簧,在定位块和夹块的夹缝中设有固定热电偶瓷管 的定位孔。 本技术进一步完善和实施的补充方案是 在定位块上设有用于固定在炉体上的固定孔。 在所述定位块底部安装弹簧及螺母处做成矩形凹槽,窄边尺寸略大于所使用六角 螺母平面边距而小于螺母平面对角线。 本技术的自锁紧热电偶固定装置,使热电偶瓷管穿过定位块与夹块之间的限 位方孔,用弹簧锁紧定位块与夹块,以此定位并夹紧瓷管。弹簧提供了一个持续的夹紧力, 避免了因热电偶固定块热胀冷縮导致瓷管固定螺钉移位,因而造成的瓷管移位或脱落,保 证了测温的稳定可靠。具有结构精巧实用,安装方便,固定效果好的优点。附图说明图1是本技术的结构示意图; 图2是本技术的俯视图; 图3是本技术的仰视图。具体实施方式以下结合附图和实施例对本技术做进一步的说明,实施例参见附图,自锁紧 热电偶固定装置,设有定位块 ...
【技术保护点】
一种自锁紧热电偶固定装置,其特征在于:设有定位块(6)、夹块(1),在该定位块和夹块上设有纵向透孔,透孔中设有紧固螺钉(2)和螺母(4),螺钉上套有锁紧定位块和夹块的弹簧(3),在定位块和夹块的夹缝中设有固定热电偶瓷管的定位孔(5)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:郝晓明,李补忠,姜艳杰,
申请(专利权)人:北京七星华创电子股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:11[中国|北京]
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