一种半导体设备用滤风整流装置制造方法及图纸

技术编号:38720468 阅读:7 留言:0更新日期:2023-09-08 23:15
本实用新型专利技术属于滤风整流装置领域,具体的说是一种半导体设备用滤风整流装置,包括壳体、进风管、过滤板、清洁刷和集尘抽屉,进风管固定安装在壳体的外壁,过滤板卡接在进风管的内壁,清洁刷滑动安装在进风管的内腔,集尘抽屉滑动安装在壳体的外壁,壳体的内壁开设有与进风管的内腔相互连通的集尘槽,集尘抽屉位于集尘槽的内部;通过驱动电机的输出轴转动,能够带动风扇转动,同时,能够带动清洁刷将灰尘和杂质推入集尘抽屉的内部,并且,在清洁刷向远离集尘槽的方向移动时,能够使清洁刷脱离过滤板的表面,在清扫过滤板的同时,能够有效减少灰尘和杂质的堆积,解决了过滤板表面的灰尘容易堆积的问题。容易堆积的问题。容易堆积的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体设备用滤风整流装置


[0001]本技术涉及滤风整流装置领域,具体是一种半导体设备用滤风整流装置。

技术介绍

[0002]滤风整流装置是指可以对外界抽入的气流进行过滤并集中定向的装置,半导体在进行工作的时候,为了获得较强的半导体工作状态,对设备内部的温度等要求较高,因此广泛使用滤风整流装置来令半导体设备内部可以获得足够的气流带走热量。
[0003]公告号为CN216023720U的中国专利,其公开了一种半导体设备用滤风整流装置,上述专利通过限位机构来调节刷子的转动速度,从而清理过滤板上的灰尘,避免转速过快,刷子会损坏过滤板;当过滤板上的灰尘过多,通过推块和插销的配合设置,可以对过滤板进行拆卸,节省大量的时间,提高了对过滤网的清洁效率。
[0004]上述专利中在第二风扇的作用下,第一风扇开始转动,转动刷子转动,从而对过滤板上的灰尘进行清理,虽然刷子在转动时,能够对过滤板上的灰尘进行清扫,但是经过清扫后的部分灰尘依然处于进风管的内部,附着在过滤板的表面,在长期使用后,附着在过滤板表面的灰尘易使过滤板堵塞。
[0005]因此,针对上述问题提出一种半导体设备用滤风整流装置。

技术实现思路

[0006]为了弥补现有技术的不足,解决
技术介绍
中所提出的问题,本技术提出一种半导体设备用滤风整流装置。
[0007]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:本技术的一种半导体设备用滤风整流装置,包括壳体、进风管、过滤板、清洁刷和集尘抽屉,进风管固定安装在壳体的外壁,过滤板卡接在进风管的内壁,清洁刷滑动安装在进风管的内腔,集尘抽屉滑动安装在壳体的外壁,壳体的内壁开设有与进风管的内腔相互连通的集尘槽,集尘抽屉位于集尘槽的内部,从而能够对过滤板表面的灰尘进行清扫,清洁刷清扫的过程中,能够将灰尘和杂质推入集尘抽屉的内部进行收集。
[0008]优选的,壳体的内部开设有安装槽,安装槽的内部转动安装有往复丝杆,往复丝杆的外壁通过内外螺纹配合连接有活动块,清洁刷弹性安装在活动块的内腔,从而能够带动清洁刷在过滤板的表面进行往复清扫,完成过滤板表面灰尘和杂质的收集,有效减少过滤板由于灰尘附着过多发生堵塞的情况。
[0009]优选的,壳体的内腔固定连接有驱动电机,安装槽的内腔转动安装有连接轴,驱动电机的输出轴贯穿至安装槽的内腔,从而驱动电机为整个滤风整流装置的运动提供动力,在引风的同时能够对过滤板表面的灰尘进行清扫。
[0010]优选的,清洁刷的外壁通过L形杆固定连接有球形滑动块,壳体的内部开设有供球形滑动块滑动的容置部,容置部的内腔滑动安装有楔块,从而能够有效减少过滤板表面灰尘的堆积,提高灰尘的收集率。
[0011]优选的,楔块的外壁固定连接有弹性件,弹性件的另一端与容置部的内壁固定连接,从而方便对过滤板表面的灰尘和杂质进行清扫。
[0012]优选的,容置部的横截面设置呈回字形,容置部的内壁与球形滑动块的外壁滑动贴合,从而能够带动清洁刷与过滤板的表面紧密贴合,或是使清洁刷脱离过滤板的表面,进而能够减少过滤板表面灰尘的堆积。
[0013]本技术的有益之处在于:
[0014]本技术通过驱动电机的输出轴转动,能够带动风扇转动,同时,能够带动清洁刷将灰尘和杂质推入集尘抽屉的内部,并且,在清洁刷向远离集尘槽的方向移动时,能够使清洁刷脱离过滤板的表面,在清扫过滤板的同时,能够有效减少灰尘和杂质的堆积,有效解决了过滤板表面的灰尘容易堆积的问题。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0016]图1为本技术的立体结构示意图;
[0017]图2为本技术的剖面结构示意图;
[0018]图3为本技术的剖面结构示意图;
[0019]图4为本技术中图3的A结构放大示意图;
[0020]图5为本技术中图3的B结构放大示意图;
[0021]图6为本技术中图3的C结构放大示意图;
[0022]图7为本技术中活动块的剖面结构示意图。
[0023]图中:1、壳体;2、进风管;3、过滤板;4、清洁刷;5、集尘抽屉;6、往复丝杆;7、活动块;8、驱动电机;9、连接轴;10、球形滑动块;11、弹性件;12、楔块。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本技术保护的范围。
[0025]实施例一
[0026]请参阅图1

7所示,一种半导体设备用滤风整流装置,包括壳体1、进风管2、过滤板3、清洁刷4和集尘抽屉5,进风管2固定安装在壳体1的外壁,在壳体1的内腔转动安装有风扇,通过将风扇的轴向端与驱动电机8的输出轴使用皮带和皮带轮连接,可以带动风扇转动,在壳体1的内腔还固定连接有整流片,用来对风扇吹来的风进行整流,令半导体设备内部可以获得足够的气流带走热量,在壳体1远离进风管2的一侧面固定连接有出风管,经过整流片整流的风通过出风管流出。
[0027]过滤板3卡接在进风管2的内壁,通过风扇吹来的风经过过滤板3,能够对外界空气
中的灰尘和杂质进行过滤,清洁刷4滑动安装在进风管2的内腔,集尘抽屉5滑动安装在壳体1的外壁,壳体1的内壁开设有与进风管2的内腔相互连通的集尘槽,集尘抽屉5位于集尘槽的内部。
[0028]当需要对过滤板3的表面进行清扫时,通过滑动清洁刷4,能够对过滤板3表面的灰尘进行清扫,清洁刷4清扫的过程中,能够将灰尘和杂质推入集尘槽的内部,进而灰尘和杂质能够掉进集尘抽屉5的内部进行收集,当集尘抽屉5里的灰尘较多时,能够拉动集尘抽屉5,将集尘抽屉5里的灰尘和杂质倒出。
[0029]壳体1的内部开设有安装槽,安装槽的内部转动安装有往复丝杆6,往复丝杆6的外壁通过内外螺纹配合连接有活动块7,清洁刷4弹性安装在活动块7的内腔。
[0030]通过转动往复丝杆6,能够带动活动块7进行水平往复移动,进而带动清洁刷4在过滤板3的表面进行往复清扫,完成过滤板3表面灰尘和杂质的收集,有效减少过滤板3由于灰尘附着过多发生堵塞的情况。
[0031]壳体1的内腔固定连接有驱动电机8,安装槽的内腔转动安装有连接轴9,驱动电机8的输出轴贯穿至安装槽的内腔,驱动电机8的输出轴通过第一伞齿轮和第二伞齿轮与连接轴9传动,且第一伞齿轮与第二伞齿轮的转速传动比设置为10:1,起到减速的作用,连接轴9与往复丝杆6之间通过皮带和皮带轮传动。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体设备用滤风整流装置,其特征在于:包括壳体(1)、进风管(2)、过滤板(3)、清洁刷(4)和集尘抽屉(5),所述进风管(2)固定安装在所述壳体(1)的外壁,所述过滤板(3)卡接在所述进风管(2)的内壁,所述清洁刷(4)滑动安装在所述进风管(2)的内腔,所述集尘抽屉(5)滑动安装在所述壳体(1)的外壁;所述壳体(1)的内壁开设有与所述进风管(2)的内腔相互连通的集尘槽,所述集尘抽屉(5)位于所述集尘槽的内部。2.根据权利要求1所述的一种半导体设备用滤风整流装置,其特征在于:所述壳体(1)的内部开设有安装槽,所述安装槽的内部转动安装有往复丝杆(6),所述往复丝杆(6)的外壁通过内外螺纹配合连接有活动块(7),所述清洁刷(4)弹性安装在所述活动块(7)的内腔。3.根据权利要求2所述的一种半导体设备用滤风整流...

【专利技术属性】
技术研发人员:韩建良苏朋锁
申请(专利权)人:苏州赫斯威电子有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1