一种半导体清洗设备制造技术

技术编号:40044291 阅读:13 留言:0更新日期:2024-01-16 20:12
本技术公开了一种半导体清洗设备,涉及半导体清洗领域,解决了晶体表面会残留液体滴落到台面的问题,包括液压杆、连接件、活动块、容纳箱和隔板,所述容纳箱的下部安装有盛液盒,所述盛液盒的两端均设置有活动杆、固定杆、螺杆、侧块和转动齿轮,所述活动杆在固定杆的内部伸缩活动,所述螺杆与侧块的活动连接,所述转动齿轮的上部与转动齿轮螺纹连接,所述盛液盒在容纳箱的下部平移活动,本技术通过在容纳箱的下部安装可以进行平移的盛液盒,同时盛液盒可以进行上下活动,如此设置,从清洗池拿出时,可以控制盛液盒活动到容纳箱的下部,使得容纳箱中所漏下的液体滴落到盛液盒中。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体清洗,具体为一种半导体清洗设备


技术介绍

1、半导体晶体生产需要多个步骤,在最后生产完成后需要对半导体晶体进行清洗,会使用到多种化学试剂以及水进行清洗,现有的清洗设备通过在一个台面安装较多的清洗池,之后依次将半导体晶体沉浸在池中进行清洗,在对晶体从某一个清洗池取出后转移这一该过程中,晶体表面会残留液体并向下滴落,滴落到台面上,而弄脏台面,长期以来会对台面造成不可逆转的侵蚀。

2、为此,我们提出了一种半导体清洗设备。


技术实现思路

1、本技术提出一种半导体清洗设备。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种半导体清洗设备,包括液压杆、连接件、活动块、容纳箱和隔板,所述容纳箱的下部安装有盛液盒,所述盛液盒的两端均设置有活动杆、固定杆、螺杆、侧块和转动齿轮,所述活动杆在固定杆的内部伸缩活动,所述螺杆与侧块的活动连接,所述转动齿轮的上部与转动齿轮螺纹连接,所述盛液盒在容纳箱的下部平移活动。

3、优选的,所述液压杆的下部与连接件栓接,所述活动块分布在连接件的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体清洗设备,包括液压杆(1)、连接件(2)、活动块(4)、容纳箱(14)和隔板(13),其特征在于:所述容纳箱(14)的下部安装有盛液盒(11),所述盛液盒(11)的两端均设置有活动杆(8)、固定杆(9)、螺杆(6)、侧块(15)和转动齿轮(12),所述活动杆(8)在固定杆(9)的内部伸缩活动,所述螺杆(6)与侧块(15)的活动连接,所述转动齿轮(12)的上部与转动齿轮(12)螺纹连接,所述盛液盒(11)在容纳箱(14)的下部平移活动。

2.根据权利要求1所述的一种半导体清洗设备,其特征在于:所述液压杆(1)的下部与连接件(2)栓接,所述活动块(4)分布在连接件(...

【技术特征摘要】

1.一种半导体清洗设备,包括液压杆(1)、连接件(2)、活动块(4)、容纳箱(14)和隔板(13),其特征在于:所述容纳箱(14)的下部安装有盛液盒(11),所述盛液盒(11)的两端均设置有活动杆(8)、固定杆(9)、螺杆(6)、侧块(15)和转动齿轮(12),所述活动杆(8)在固定杆(9)的内部伸缩活动,所述螺杆(6)与侧块(15)的活动连接,所述转动齿轮(12)的上部与转动齿轮(12)螺纹连接,所述盛液盒(11)在容纳箱(14)的下部平移活动。

2.根据权利要求1所述的一种半导体清洗设备,其特征在于:所述液压杆(1)的下部与连接件(2)栓接,所述活动块(4)分布在连接件(2)的两端,所述活动块(4)与连接件(2)活动连接,所述活动块(4)与容纳箱(14)的两端搭接,所述隔板(13)在容纳箱(14)的内部线性分布,所述容纳箱(14)的表面开设有较多孔洞。

3.根据权利要求2所述的一种半导体清洗设备,其特征在于:所述盛液盒(11)的两端均固定连接有连接块(7),所述连接块(7)的表面与活动杆(8)栓接,所述活动杆(8)在固定杆(9)的内部滑动连接。

4.根据权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员:韩建良侯喜明
申请(专利权)人:苏州赫斯威电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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