可旋转波纹管装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种可旋转波纹管装置，波纹管本体为非金属材质通过一体机械加工方式制造而成，自身具有拉伸压缩功能，两端分别与回转法兰一体成型组合成整体，实现一体回旋功能。本装置可以同时实现旋转和升降运动防护的功能。可以同时实现旋转和升降运动防护的功能。可以同时实现旋转和升降运动防护的功能。

【技术实现步骤摘要】
可旋转波纹管装置


[0001]本技术涉及半导体湿制程设备
，特别是一种可旋转波纹管装置。

技术介绍

[0002]在半导体湿制程工艺设备中，存在某些特定环境例如化学腐蚀环境，在此种环境下运动机构金属材质需要避免被化学介质腐蚀失效；同时为了避免占用过多的空间，需要一种密封有效且同时满足升降旋转运动的防护装置。
[0003]现有技术一：采用交叉伸缩套筒+静密封密封件(密封圈、密封垫片等)。缺点是交叉伸缩部分占据很大高度空间，例如占用空间≥2倍伸缩行程；
[0004]现有技术二：采用普通波纹管+静密封密封件(密封圈、密封垫片等)；该结构能满足升降运动防护，但是无法做到兼容旋转运动。

技术实现思路

[0005]本技术为了有效的解决上述
技术介绍
中的问题，提出了一种可旋转波纹管装置。
[0006]具体技术方案如下：
[0007]一种可旋转波纹管装置，包括波纹管本体，波纹管本体为非金属材质通过一体机械加工方式制造而成，自身具有拉伸压缩功能，两端分别与回转法兰一体成型组合成整体，实现一体回旋功能。
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可旋转波纹管装置，包括波纹管本体，其特征在于：所述波纹管本体为非金属材质通过一体机械加工方式制造而成，自身具有拉伸压缩功能，两端分别与回转法兰一体成型组合成整体，实现一体回旋功能；所述回转法兰分为第一回转法兰和第二回转法兰，所述第一回转法兰与运动装置安装，第二回转法兰用于固定于安装基座；所述第二回转法兰包括由非金属材料制成的第一回转体、第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：王淑梅，刘翠，蒋嘉，
申请(专利权)人：盛华基材天津科技有限公司，
类型：新型
国别省市：