多层喷淋装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种多层喷淋装置，包括至少一层外层非金属管材、至少一层中间层金属管材和至少一层内层非金属管材，其中，外层非金属管材、中间层金属管材和内层非金属管材依次同心套装在一起。本装置既耐化学药品腐蚀又能具有很好的刚性，通过最外层非金属管材实现耐化学药品腐蚀功能，通过中间层金属管材实现喷淋装置具有足够的刚性，通过最内层非金属管材实现化学药品的承载。药品的承载。药品的承载。

【技术实现步骤摘要】
多层喷淋装置


[0001]本技术涉及半导体湿制程设备
，特别是一种多层喷淋装置。

技术介绍

[0002]在半导体湿制程中常常使用很多化学药品，而某些化学药品具有强腐蚀性与挥发性；在半导体湿制程设备中常常需要将工艺介质喷淋至基板，如何使喷淋装置既耐化学药品腐蚀又能具有很好的刚性以及安装便捷性，成为湿制程工艺设备的关键要素。
[0003]现有技术虽使用非金属且耐化学腐蚀管材用于承载化学药品，但是遇多种化学药品且单一装置供液时，仍存在多种非金属管材外漏且需要金属材质作为支撑载体；然而在半导体湿制程中某些化学药品具有强腐蚀性与强挥发性，容易将未有效防护的金属材质腐蚀或者在防护密封失效的情况下导致金属材质腐蚀情况的发生。因此在不宜存在金属材质的半导体湿制程工艺设备中，现有技术存在被化学药品腐蚀的风险。

技术实现思路

[0004]本技术为了有效的解决上述
技术介绍
中的问题，提出了一种多层喷淋装置。
[0005]具体技术方案如下：
[0006]一种多层喷淋装置，包括至少一层外层非金属管材、至少一层中间层金属管材和至少一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多层喷淋装置，其特征在于：包括至少一层外层非金属管材、至少一层中间层金属管材和至少一层内层非金属管材，其中，外层非金属管材、中间层金属管材和内层非金属管材依次同心套装在一起。2.根据权利要求1所述的多层喷淋装置，其特征在于，所述中间层金属管材紧贴于所述外层非金属管材。3.根据权利要求1所述的多层喷淋装置，其特征在于，所述中间层金属管材与内层非金属管材之间留有间隙...

【专利技术属性】
技术研发人员：李足花，王淑梅，刘翠，蒋嘉，
申请(专利权)人：盛华基材天津科技有限公司，
类型：新型
国别省市：