一种便于调节角度的通风管道制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于调节角度的通风管道，包括固定管道，所述固定管道的上端设置有连接环，所述连接环的上端设置有活动管道，所述连接环的内部设置有角度调节机构；本实用新型专利技术结构简单，设计合理，向下推动活动管道，同时带动下端的导向块向下挤压压缩弹簧，压缩弹簧向下移动并带动压缩弹簧上端的导向槽向下位移，由此活动管道外侧的活动齿轮与空腔内侧壁上的锁止环失去啮合，接着转动活动管道，活动管道下端导向块在导向槽内发生旋转，完成活动管道的角度调节，然后松开活动管道，由于压缩弹簧收到挤压产生相反的力将活动管道向上推动，带动活动管道外侧的活动齿轮向上位移与锁止环啮合卡住，活动管道完成固定。活动管道完成固定。活动管道完成固定。

【技术实现步骤摘要】
一种便于调节角度的通风管道


[0001]本技术涉及半导体生产
，具体为一种便于调节角度的通风管道。

技术介绍

[0002]在半导体生产行业中，经常要用到四氟化碳气体来作为工作气体，四氟化碳是一种较为常见的等离子蚀刻工作气体，也广泛用作于二氧化硅、氮化硅的等离子蚀刻剂。
[0003]现有技术的不足：
[0004]四氟化碳为惰性低毒物质，在空气中不燃烧，所以在日常工作中，经常由于四氟化碳的低毒性而疏于管理，但是在高温时会与可燃气体一同燃烧，并分解出有毒的氟化物，而目前的通风管道一般采用固定结构，不能实现角度的任意调节，在遇到高温情况时不能及时调整角度规避有毒物质产生，所以现在急需一种方便操作且能适应不同角度调节的通风管道。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种便于调节角度的通风管道，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便于调节角度的通风管道，包括固定管道，所述固定管道的上端设置有连接环，所述连接环的上端设置有活动管道，所述连接环的内部设置有角度调节机构，所述连接环的内部开设有空腔，所述固定管道的外侧设置有固定组件；
[0007]所述角度调节机构包括有：
[0008]若干个压缩弹簧，所述压缩弹簧设置在空腔的下端面上，所述压缩弹簧的上端设置有导向槽；
[0009]导向块，所述导向块设置在活动管道的下端，所述导向块与导向槽滑动连接；
[0010]活动齿轮，所述活动齿轮设置在活动管道下端的外侧壁上；
[0011]锁止环，所述锁止环设置在空腔的内侧壁上，所述活动齿轮与锁止环啮合连接。
[0012]优选的，所述固定组件包括有：
[0013]固定框，所述固定框设置在固定管道的外侧，所述固定框的一端通过开设螺纹孔螺纹连接有固定螺栓，所述固定框的两侧均设置有定位槽；
[0014]定位块，所述定位块设置在固定框的内部，所述定位块的两侧与定位槽滑动连接，所述固定螺栓的一端与定位块连接；
[0015]定位弹簧，所述定位弹簧设置在定位块的下端，所述定位弹簧的另一端与固定框的内侧壁连接。
[0016]优选的，所述导向槽的外侧通过设置滑块与连接环侧壁上开设的滑槽滑动连接。
[0017]优选的，所述活动管道的上端设置有弯管。
[0018]优选的，所述连接环与固定管道和活动管道的连接处均设置有密封圈。
[0019]优选的，所述压缩弹簧的数量至少为6个。
[0020]优选的，所述固定管道和活动管道均为酚醛铝箔复合风管。
[0021]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0022]1、该一种便于调节角度的通风管道，通过设置有角度调节机构，角度调节机构包括有若干个压缩弹簧、导向块、活动齿轮和锁止环，首先向下推动活动管道，活动管道向下运动的同时带动下端的导向块向下挤压压缩弹簧，压缩弹簧向下移动并带动压缩弹簧上端的导向槽向下位移，由此活动管道外侧的活动齿轮与空腔内侧壁上的锁止环失去啮合，接着转动活动管道，活动管道下端导向块在导向槽内发生旋转，完成活动管道的角度调节，完成角度调节以后，松开活动管道，由于压缩弹簧收到挤压产生相反的力将活动管道向上推动，带动活动管道外侧的活动齿轮向上位移与锁止环啮合卡住，活动管道完成固定；
[0023]2、该一种便于调节角度的通风管道，通过设置有固定组件，固定组件包括有固定框、定位块和定位弹簧，首先将固定管道放入固定框内，接着拧动固定螺栓带动定位块向固定管道的一侧移动，同时拉伸定位弹簧，定位块的两侧在固定框开设的定位槽内滑动，并将固定管道固定在固定框内，在需要取下固定框时，反向转动固定螺栓，定位弹簧拉伸产生相反的力拉动定位块位移，便于从固定框内取下固定管道。
附图说明
[0024]图1为本技术的连接环剖视图；
[0025]图2为本技术的整体正视图；
[0026]图3为本技术的固定组件结构图；
[0027]图4为本技术的活动管道俯视图。
[0028]图中：1、固定管道；11、连接环；111、滑槽；12、空腔；2、活动管道；21、弯管；3、角度调节机构；31、若干个压缩弹簧；311、导向槽；312、滑块；32、导向块；33、活动齿轮；34、锁止环；4、固定组件；41、固定框；411、固定螺栓；412、定位槽；42、定位块；43、定位弹簧。
具体实施方式
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”、
“ꢀ
顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0031]在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体的连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
[0032]此外，术语“第一”、
ꢀ“
第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0033]请参阅图1
‑
4所示，本技术提供的一种便于调节角度的通风管道技术方案：一种便于调节角度的通风管道，包括固定管道1，固定管道1的上端焊接有连接环11，连接环11的上端设置有活动管道2，连接环11的内部安装有角度调节机构3，连接环11的内部开设有空腔12，固定管道1的外侧安装有固定组件4，角度调节机构3包括有若干个压缩弹簧31、导向块32、活动齿轮33和锁止环34，压缩弹簧31固定在空腔12的下端面上，压缩弹簧31的上端焊接有导向槽311，导向块32焊接在活动管道2的下端，导向块32与导向槽311滑动连接，活动齿轮33焊接在活动管道2下端的外侧壁上，锁止环34焊接在空腔12的内侧壁上，活动齿轮33与锁止环34啮合连接，首先向下推动活动管道2，活动管道2向下运动的同时带动下端的导向块32向下挤压压缩弹簧31，压缩弹簧31向下移动并带动压缩弹簧31上端的导向槽311本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于调节角度的通风管道，包括固定管道（1），其特征在于：所述固定管道（1）的上端设置有连接环（11），所述连接环（11）的上端设置有活动管道（2），所述连接环（11）的内部设置有角度调节机构（3），所述连接环（11）的内部开设有空腔（12），所述固定管道（1）的外侧设置有固定组件（4）；所述角度调节机构（3）包括有：若干个压缩弹簧（31），所述压缩弹簧（31）设置在空腔（12）的下端面上，所述压缩弹簧（31）的上端设置有导向槽（311）；导向块（32），所述导向块（32）设置在活动管道（2）的下端，所述导向块（32）与导向槽（311）滑动连接；活动齿轮（33），所述活动齿轮（33）设置在活动管道（2）下端的外侧壁上；锁止环（34），所述锁止环（34）设置在空腔（12）的内侧壁上，所述活动齿轮（33）与锁止环（34）啮合连接。2.根据权利要求1所述的一种便于调节角度的通风管道，其特征在于：所述固定组件（4）包括有：固定框（41），所述固定框（41）设置在固定管道（1）的外侧，所述固定框（41）的一端通过开设螺纹孔螺纹连接有固定螺栓（411），所述固定框...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪协庆，
申请(专利权)人：江苏晨达半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：