一种生产过程的通风智能控制方法及系统技术方案

技术编号:37716907 阅读:18 留言:0更新日期:2023-06-02 00:13
本发明专利技术公开了一种生产过程的通风智能控制方法及系统,涉及人工智能领域,所述方法包括:通过获得目标厂房的基础信息,其中包括厂房尺寸数据、通风装置布设数据;通风拟合分析并布设多个空气质量采集装置;获得厂房控制模式并生成初始控制参数;通过图像采集装置采集并分析生成工作人员信息;采集获得空气数据采集结果;生成目标厂房的通风控制数据,并进行通风控制。解决了现有技术中厂房通风控制精度不高,导致厂房空气控制效果不稳定,影响半导体产品质量的技术问题。实现了提高通风控制时考虑因素全面性的目标,达到了提高厂房通风控制精度,从而保障厂房通风控制稳定性、可靠性,为半导体产品生产提供环境基础的技术效果。为半导体产品生产提供环境基础的技术效果。为半导体产品生产提供环境基础的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种生产过程的通风智能控制方法及系统


[0001]本专利技术涉及人工智能领域,尤其涉及一种生产过程的通风智能控制方法及系统。

技术介绍

[0002]随着半导体的发展,各类半导体产品尤其是高端半导体产品对厂房环境的要求越来越高,结合半导体器件的生产工艺特点,通过排风系统对生产厂房进行全天候的通风控制,从而实现降低腐蚀性气体的含量、保持厂房洁净度的目标。现有技术由相关技术人员结合历史通风控制经验、和对厂房结构、布置等综合信息的主观分析进行通风控制,存在控制考虑不全面、控制精度不高,进而影响厂区整体空气质量控制效果,最终导致半导体产品质量不稳定的技术问题。因此,利用计算机技术对厂房实际特征数据以及厂房中工作人员实际生产工作的相关数据进行智能化分析,进而得到厂房的针对性控制数据,对于提高厂房通风控制精度和控制效果等具有重要意义。
[0003]然而,现有技术中存在厂房通风控制精度不高,进而导致厂房空气控制效果不稳定,影响半导体产品质量的技术问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是提供一种生产过程的通风智能控制方法及系统,用以解决现有技术中存在厂房通风控制精度不高,进而导致厂房空气控制效果不稳定,影响半导体产品质量的技术问题。
[0005]鉴于上述问题,本专利技术提供了一种生产过程的通风智能控制方法及系统。
[0006]第一方面,本专利技术提供了一种生产过程的通风智能控制方法,所述方法通过一种生产过程的通风智能控制系统实现,其中,所述方法包括:通过获得目标厂房的基础信息,其中,所述基础信息包括厂房尺寸数据、通风装置布设数据;通过所述基础信息进行通风拟合分析,基于拟合分析结果布设多个所述空气质量采集装置;获得所述目标厂房的厂房控制模式,通过所述厂房控制模式生成初始控制参数;通过所述图像采集装置进行所述目标厂房的图像采集,根据图像采集结果生成工作人员信息;通过所述空气质量采集装置进行所述目标厂房的空气数据采集,获得空气数据采集结果;根据所述空气数据采集结果、所述工作人员信息和所述初始控制参数生成所述目标厂房的通风控制数据;通过所述通风控制数据进行所述目标厂房的通风控制。
[0007]第二方面,本专利技术还提供了一种生产过程的通风智能控制系统,用于执行如第一方面所述的一种生产过程的通风智能控制方法,其中,所述系统包括:信息获得模块,所述信息获得模块用于获得目标厂房的基础信息,其中,所述基础信息包括厂房尺寸数据、通风装置布设数据;拟合分析模块,所述拟合分析模块用于通过所述基础信息进行通风拟合分析,基于拟合分析结果布设多个空气质量采集装置;参数生成模块,所述参数生成模块用于获得所述目标厂房的厂房控制模式,通过所述厂房控制模式生成初始控制参数;人员获得模块,所述人员获得模块用于通过图像采集装置进行所述目标厂房的图像采集,根据图像
采集结果生成工作人员信息;数据采集模块,所述数据采集模块用于通过所述空气质量采集装置进行所述目标厂房的空气数据采集,获得空气数据采集结果;智能生成模块,所述智能生成模块用于根据所述空气数据采集结果、所述工作人员信息和所述初始控制参数生成所述目标厂房的通风控制数据;控制执行模块,所述控制执行模块用于通过所述通风控制数据进行所述目标厂房的通风控制。
[0008]本专利技术中提供的一个或多个技术方案,至少具有如下技术效果或优点:通过获得目标厂房的基础信息,其中,所述基础信息包括厂房尺寸数据、通风装置布设数据;通过所述基础信息进行通风拟合分析,基于拟合分析结果布设多个所述空气质量采集装置;获得所述目标厂房的厂房控制模式,通过所述厂房控制模式生成初始控制参数;通过所述图像采集装置进行所述目标厂房的图像采集,根据图像采集结果生成工作人员信息;通过所述空气质量采集装置进行所述目标厂房的空气数据采集,获得空气数据采集结果;根据所述空气数据采集结果、所述工作人员信息和所述初始控制参数生成所述目标厂房的通风控制数据;通过所述通风控制数据进行所述目标厂房的通风控制。通过对目标厂房的尺寸、结构、通风布设数据进行采集,实现了为对目标厂房的通风情况进行拟合分析提供数据基础的技术目标。通过智能化拟合分析,并根据拟合分析结果进行空气质量采集装置的安装和布置,达到了提高空气质量采集装置安装合理性、科学性的技术效果,进而为后续监测目标厂房的空气质量提供了设备基础,同时达到了提高空气数据的可靠性、准确性、符合实际性的技术效果。接着,通过图像采集装置对目标厂房进行图像采集,然后对采集到的厂房图像进行图像智能分析,并根据分析结果确定目标厂房中工作人员基本信息,通过将目标厂房中的工作人员考虑到通风控制中,实现了对通风控制进行多角度影响因素分析,进而提高分析全面性的技术目标。此外,对目标厂房中各通风装置的初始控制参数进行采集,进而为分析在初始控制参数条件下的厂房通风控制情况提供参数基础,达到了对目标厂房的通风控制提供基本信息和优化基础的技术效果。通过对目标厂房中基础信息、初始控制参数以及目标厂房中的工作人员进行全方面的分析,实现了提高通风控制时考虑因素全面性的目标,达到了提高厂房通风控制精度,从而保障厂房通风控制稳定性、可靠性,为半导体产品生产提供环境基础的技术效果。
[0009]上述说明仅是本专利技术技术方案的概述,为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本专利技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举本专利技术的具体实施方式。
附图说明
[0010]为了更清楚地说明本专利技术或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是示例性的,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0011]图1为本专利技术一种生产过程的通风智能控制方法的流程示意图;图2为本专利技术一种生产过程的通风智能控制方法中基于污染效率评价结果和初始控制参数生成目标厂房的通风控制数据的流程示意图;图3为本专利技术一种生产过程的通风智能控制方法中根据多层级影响区域分析结果
和初始控制参数生成目标厂房的通风控制数据的流程示意图;图4为本专利技术一种生产过程的通风智能控制方法中通过整体通风控制指令进行目标厂房的整体通风控制的流程示意图;图5为本专利技术一种生产过程的通风智能控制系统的结构示意图。
[0012]附图标记说明:信息获得模块M100,拟合分析模块M200,参数生成模块M300,人员获得模块M400,数据采集模块M500,智能生成模块M600,控制执行模块M700。
具体实施方式
[0013]本专利技术通过提供一种生产过程的通风智能控制方法及系统,解决了现有技术中存在厂房通风控制精度不高,进而导致厂房空气控制效果不稳定,影响半导体产品质量的技术问题。通过对目标厂房中基础信息、初始控制参数以及目标厂房中的工作人员进行全方面的分析,实现了提高通风控制时考虑因素全面性的目标,达到了提高厂房通风控制精度,从而保障厂房通风控制稳定性、可靠性,为半导体产品生产提供环境基础的技术效果。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种生产过程的通风智能控制方法,其特征在于,所述方法应用于智能控制系统,所述智能控制系统与图像采集装置、空气质量采集装置通信连接,所述方法包括:获得目标厂房的基础信息,其中,所述基础信息包括厂房尺寸数据、通风装置布设数据;通过所述基础信息进行通风拟合分析,基于拟合分析结果布设多个所述空气质量采集装置;获得所述目标厂房的厂房控制模式,通过所述厂房控制模式生成初始控制参数;通过所述图像采集装置进行所述目标厂房的图像采集,根据图像采集结果生成工作人员信息;通过所述空气质量采集装置进行所述目标厂房的空气数据采集,获得空气数据采集结果;根据所述空气数据采集结果、所述工作人员信息和所述初始控制参数生成所述目标厂房的通风控制数据;通过所述通风控制数据进行所述目标厂房的通风控制。2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:对所述图像采集结果进行图像识别,获得用户识别信息;调用登记员工信息,根据所述用户识别信息对所述登记员工信息调用,获得信息调用结果,将所述信息调用结果作为所述工作人员信息;根据所述工作人员信息进行所述目标厂房的污染效率评价,基于污染效率评价结果和所述初始控制参数生成所述目标厂房的通风控制数据。3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:根据所述信息调用结果进行性别等级评价,基于性别等级评价结果生成第一关联系数;通过所述信息调用结果进行体重等级评价,基于体重等级评价结果生成第二关联系数;将所述第一关联系数和所述第二关联系数输入污染效率评价模型,获得模型输出结果;根据所述模型输出结果获得所述污染效率评价结果。4.如权利要求3所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:根据所述信息调用结果获得工位分布数据;通过所述工位分布数据进行分布密度分析,生成密度分布约束参数;通过所述污染效率评价结果和所述密度分布约束参数进行影响区域分析,生成多层级影响区域分析结果;根据所述多层级影响区域分析结果和所述初始控制参数生成所述目标厂房的通风控制数据。5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:洪协庆
申请(专利权)人:江苏晨达半导体科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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