一种防脱治具和静电吸盘制造技术

本实用新型专利技术提供一种防脱治具和静电吸盘，所述防脱治具适用于静电吸盘，所述静电吸盘包括荧光衬垫，所述荧光衬垫设有至少两个连接孔，所述防脱治具包括相连的第一圆柱体和第二圆柱体；其中，所述第一圆柱体用于伸入所述连接孔且所述第一圆柱体的直径与所述连接孔相适应；当所述第一圆柱体伸入所述连接孔时，所述第二圆柱体位于所述连接孔外部，且所述第二圆柱体与所述第一圆柱体连接的一端与所述荧光衬垫抵接。本实用新型专利技术提供的防脱治具降低了静电吸盘在委外清洁的运输过程中，荧光衬垫的脱落风险。脱落风险。脱落风险。

【技术实现步骤摘要】
一种防脱治具和静电吸盘


[0001]本技术涉及集成电路设备领域，尤其涉及一种防脱治具和静电吸盘。

技术介绍

[0002]半导体制备过程中，在干法刻蚀时，将静电吸盘作为吸附晶圆的载体，其中，静电吸盘的正面材料为陶瓷，背面材料为铝涂层，并且在下部电极设有控温系统，而静电吸盘在吸附晶圆时需要进行温度控制，温度控制的过程是通过静电吸盘背面的荧光衬垫传递光波，然后通过纤维传递到ATCC控制器，ATCC控制器再利用衰减函数，计算出温度变化，以使得静电吸盘的加热装置根据温度变化进行温度控制。因此，静电吸盘是干法刻蚀设备腔体中的重要组成部件，但是静电吸盘使用一定时间后，需要委托外部公司清洗静电吸盘表面附着的聚合物，但是在委外清洁的运输过程中，静电吸盘背面的荧光衬垫容易出现脱落的问题。
[0003]因此，如何提供一种防脱治具和静电吸盘，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种防脱治具和静电吸盘，以解决现有技术存在的静电吸盘在送洗过程中，静电吸盘背面的荧光衬垫易脱落的问题。
[0005]为了达到上述目的，本技术提供了一种防脱治具，适用于静电吸盘，所述静电吸盘包括荧光衬垫，所述荧光衬垫设有至少两个连接孔，所述防脱治具包括相连的第一圆柱体和第二圆柱体；
[0006]其中，所述第一圆柱体用于伸入所述连接孔且所述第一圆柱体的直径与所述连接孔相适应；
[0007]当所述第一圆柱体伸入所述连接孔时，所述第二圆柱体位于所述连接孔外部，且所述第二圆柱体与所述第一圆柱体连接的一端与所述荧光衬垫抵接。
[0008]可选的，所述第一圆柱体的高度与所述连接孔的深度相适应。
[0009]可选的，所述第一圆柱体的直径为10mm
‑
13mm，高度为13mm
‑
17mm。
[0010]可选的，所述第一圆柱体与所述连接孔之间可拆卸连接。
[0011]可选的，所述第二圆柱体的直径大于所述连接孔的直径。
[0012]可选的，所述第二圆柱体的直径为17mm
‑
20mm。
[0013]可选的，所述第一圆柱体和所述第二圆柱体之间的连接方式包括：一体成型。
[0014]可选的，所述第一圆柱体与所述第二圆柱体共轴线。
[0015]可选的，所述防脱治具的材质包括：硅胶。
[0016]为了达到上述目的，本技术还提供了一种静电吸盘，包括上述任一项所述的防脱治具。
[0017]与现有技术相比，本技术提供的一种防脱治具和静电吸盘具有以下有益效
果：
[0018]本技术提供的防脱治具适用于静电吸盘，所述静电吸盘包括荧光衬垫，所述荧光衬垫设有至少两个连接孔，所述防脱治具包括相连的第一圆柱体和第二圆柱体；其中，所述第一圆柱体用于伸入所述连接孔且所述第一圆柱体的直径与所述连接孔相适应；当所述第一圆柱体伸入所述连接孔时，所述第二圆柱体位于所述连接孔外部，且所述第二圆柱体与所述第一圆柱体连接的一端与所述荧光衬垫抵接。本技术提供的防脱治具通过将所述防脱治具的第一圆柱体伸入所述连接孔，由于所述第一圆柱体的直径与所述连接孔的直径相适应，因此，当将所述第一圆柱体伸入所述连接孔时，所述第一圆柱体能够完全堵住所述荧光衬垫的连接孔，进一步地，由于所述第一圆柱体伸入所述连接孔时，所述第二圆柱体位于所述连接孔外部，且所述第二圆柱体与所述第一圆柱体连接的一端与所述荧光衬垫抵接。因此，当将所述第一圆柱体插入所述连接孔后，所述第二圆柱体能够抵住所述荧光衬垫，从而使得在所述静电吸盘委外清洁的运输过程中，所述荧光衬垫不易从静电吸盘上脱落。
[0019]由于本技术提供的静电吸盘与本技术提供的所述防脱治具属于同一技术构思，因此，至少具有相同的有益效果，在此不再一一赘述。
附图说明
[0020]图1为本技术一实施方式提供的防脱治具的结构示意图；
[0021]图2为本技术一实施方式提供的静电吸盘的结构示意图；
[0022]其中，附图标记如下：
[0023]100
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防脱治具，101
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第一圆柱体，102
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第二圆柱体，200
‑
静电吸盘，300
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荧光衬垫，301
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连接孔。
具体实施方式
[0024]下面将结合示意图对本技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。应当了解，说明书附图并不一定按比例的显示本技术的具体结构，并且在说明书附图中用于说明本技术某些原理的图示性特征也会采取略微简化的画法。本文所公开的本技术的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确定。以及，在以下说明的实施方式中，有时在不同的附图之间共同使用同一附图标记来表示相同部分或具有相同功能的部分，而省略其重复说明。在本说明书中，使用相似的标号和字母表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
[0025]本技术的核心思想在于提供一种防脱治具100，以解决现有技术存在的静电吸盘200在送洗过程中，静电吸盘200背面的荧光衬垫300易脱落的问题。
[0026]为了实现上述思想，本技术的专利技术人经过大量的调查研究和不断深入的实践发现：如果要做成一种避免荧光衬垫300脱落的防脱治具100，必须解决静电吸盘200在送洗过程中，因荧光衬垫300与其他物体摩擦导致荧光衬垫300的粘性降低而脱落的问题，从而
保证静电吸盘200在送洗过程中荧光衬垫300不会脱落。为此，本技术的专利技术人创造性地提出了一种能够伸入荧光衬垫300的连接孔301并抵住荧光衬垫300的防脱治具100，以避免静电吸盘200在送洗过程中荧光衬垫300脱落。
[0027]实施例一
[0028]本实施例提供了一种防脱治具100，具体地，请参见附图1
‑
附图2，其中，图1示意性地提供了防脱治具100的结构示意图，图2示意性地提供了静电吸盘200的结构示意图，结合图1
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图2可以看出，所述防脱治适用于静电吸盘200，所述静电吸盘200包括荧光衬垫300，所述荧光衬垫300设有至少两个连接孔301，所述防脱治具100包括相连的第一圆柱体101和第二圆柱体102；其中，所述第一圆柱体101用于伸入所述连接孔301且所述第一圆柱体101的直径与所述连接孔301相适应；当所述第一圆柱体101伸入所述连接孔301时，所述第二圆柱体102位于所述连接孔301外部，且所述第二圆柱体102与所述第一圆柱体101连接的一端与所述荧光衬垫300抵接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防脱治具，适用于静电吸盘，所述静电吸盘包括荧光衬垫，所述荧光衬垫设有至少两个连接孔，其特征在于，所述防脱治具包括相连的第一圆柱体和第二圆柱体；其中，所述第一圆柱体用于伸入所述连接孔且所述第一圆柱体的直径与所述连接孔相适应；当所述第一圆柱体伸入所述连接孔时，所述第二圆柱体位于所述连接孔外部，且所述第二圆柱体与所述第一圆柱体连接的一端与所述荧光衬垫抵接。2.如权利要求1所述的防脱治具，其特征在于，所述第一圆柱体的高度与所述连接孔的深度相适应。3.如权利要求1所述的防脱治具，其特征在于，所述第一圆柱体的直径为10mm
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13mm，高度为13mm
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17mm。4.如权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞鹏翼，朱怀昊，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：