一种含氨硅烷废气排放治理系统及工艺技术方案

本发明专利技术公开了一种含氨硅烷废气排放治理系统及工艺，工艺包括：将含氨硅烷废气进行燃烧，同时收集燃烧时生成的二氧化硅粉尘；将燃烧产生的含有氨气的废气进行除尘；将除尘后的含有氨气的废气进行洗涤，以除去含有氨气的废气中的氨气；将除去氨气后的废气排放。通过本发明专利技术的处理方法，能够将含氨硅烷废气完全进行无害化处理，无二次污染，治理现场无异味，既经济又环保，实现了硅烷废气持续达标排放的治理目的。目的。目的。

【技术实现步骤摘要】
一种含氨硅烷废气排放治理系统及工艺


[0001]本专利技术属于环境治理
，具体涉及一种含氨硅烷废气排放治理系统及工艺。

技术介绍

[0002]太阳能光伏电池板制造行业在生产过程中，需要在太阳能电池表面沉积一层氮化硅减反射膜，以达到减少光线在电池片表面反射作用，提高太阳能电池的光电转换效率。制备氮化硅膜过程中，通过控制真空泵将腔体内过量的氨气和硅烷抽出来保证炉管腔体压力恒定。被抽出的氨气和硅烷作为废气(称作含氨硅烷废气)通过废气处理装置处理后排放。现有处理工艺普遍采取吸收法，处理效率低，由于硅烷以它特有的自燃、爆炸性而著称，硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体，如何安全有效的处理含氨硅烷废气体是本领域亟待解决问题。

技术实现思路

[0003]为解决现有技术中存在的问题，本专利技术目的彩玉提供一种含氨硅烷废气排放治理系统及工艺，本专利技术能有效处理含氨硅烷废气且无二次污染，既经济又环保。
[0004]本专利技术采用的技术方案如下：
[0005]一种含氨硅烷废气排放治理工艺，包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种含氨硅烷废气排放治理工艺，其特征在于，包括如下过程：将含氨硅烷废气进行燃烧，同时收集燃烧时生成的二氧化硅粉尘；将燃烧产生的含有氨气的废气进行除尘；将除尘后的含有氨气的废气进行洗涤，以除去含有氨气的废气中的氨气；将除去氨气后的废气排放。2.一种含氨硅烷废气排放治理系统，其特征在于，该系统用于实现权利要求1所述的含氨硅烷废气排放治理工艺，包括硅烷燃烧筒单元(1)、除尘器单元(2)、洗涤塔(3)和排废风机(4)，硅烷燃烧筒单元(1)设有废气入口、助燃气入口、废气出口以及排渣口，硅烷燃烧筒单元(1)的排渣口设置于硅烷燃烧筒单元(1)的底部，硅烷燃烧筒单元(1)的废气出口与除尘器单元(2)的入口通过管道连接，除尘器单元(2)的出口与洗涤塔(3)的废气入口通过管道连接，洗涤塔(3)的废气出口与排废风机(4)的入口通过管道连接。3.根据权利要求2所述的一种含氨硅烷废气排放治理系统，其特征在于，硅烷燃烧筒单元(1)采用不锈钢硅烷燃烧筒，不锈钢硅烷燃烧筒设有废气入口、助燃气入口、废气出口以及排渣口，不锈钢硅烷燃烧筒的底部设有集渣斗，排渣口位于集渣斗的底部，且排渣口设有排渣阀。4.根据权利要求3所述的一种含氨硅烷废气排放治理系统，其特征在于，所述不锈钢硅烷燃烧筒设置多个，所有不锈钢硅烷燃烧筒的废气出口通过管路连通后与除尘器单...

【专利技术属性】
技术研发人员：何川，佘娟娟，孔锋，穆来西，高炜，赵雷，刘战刚，
申请(专利权)人：西安鼎研科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：