一种含氨硅烷废气排放治理系统及工艺技术方案

本发明专利技术公开了一种含氨硅烷废气排放治理系统及工艺，工艺包括：将含氨硅烷废气进行燃烧，同时收集燃烧时生成的二氧化硅粉尘；将燃烧产生的含有氨气的废气进行除尘；将除尘后的含有氨气的废气进行洗涤，以除去含有氨气的废气中的氨气；将除去氨气后的废气排放。通过本发明专利技术的处理方法，能够将含氨硅烷废气完全进行无害化处理，无二次污染，治理现场无异味，既经济又环保，实现了硅烷废气持续达标排放的治理目的。目的。目的。

【技术实现步骤摘要】
一种含氨硅烷废气排放治理系统及工艺


[0001]本专利技术属于环境治理
，具体涉及一种含氨硅烷废气排放治理系统及工艺。

技术介绍

[0002]太阳能光伏电池板制造行业在生产过程中，需要在太阳能电池表面沉积一层氮化硅减反射膜，以达到减少光线在电池片表面反射作用，提高太阳能电池的光电转换效率。制备氮化硅膜过程中，通过控制真空泵将腔体内过量的氨气和硅烷抽出来保证炉管腔体压力恒定。被抽出的氨气和硅烷作为废气(称作含氨硅烷废气)通过废气处理装置处理后排放。现有处理工艺普遍采取吸收法，处理效率低，由于硅烷以它特有的自燃、爆炸性而著称，硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体，如何安全有效的处理含氨硅烷废气体是本领域亟待解决问题。

技术实现思路

[0003]为解决现有技术中存在的问题，本专利技术目的彩玉提供一种含氨硅烷废气排放治理系统及工艺，本专利技术能有效处理含氨硅烷废气且无二次污染，既经济又环保。
[0004]本专利技术采用的技术方案如下：
[0005]一种含氨硅烷废气排放治理工艺，包括如下过程：
[0006]将含氨硅烷废气进行燃烧，同时收集燃烧时生成的二氧化硅粉尘；
[0007]将燃烧产生的含有氨气的废气进行除尘；
[0008]将除尘后的含有氨气的废气进行洗涤，以除去含有氨气的废气中的氨气；
[0009]将除去氨气后的废气排放。
[0010]本专利技术还提供了一种含氨硅烷废气排放治理系统，该系统用于实现本专利技术如上所述的含氨硅烷废气排放治理工艺，包括硅烷燃烧筒单元、除尘器单元、洗涤塔和排废风机，硅烷燃烧筒单元设有废气入口、助燃气入口、废气出口以及排渣口，硅烷燃烧筒单元的排渣口设置于硅烷燃烧筒单元的底部，硅烷燃烧筒单元的废气出口与除尘器单元的入口通过管道连接，除尘器单元的出口与洗涤塔的废气入口通过管道连接，洗涤塔的废气出口与排废风机的入口通过管道连接。
[0011]优选的，硅烷燃烧筒单元采用不锈钢硅烷燃烧筒，不锈钢硅烷燃烧筒设有废气入口、助燃气入口、废气出口以及排渣口，不锈钢硅烷燃烧筒的底部设有集渣斗，排渣口位于集渣斗的底部，且排渣口设有排渣阀。
[0012]优选的，所述不锈钢硅烷燃烧筒设置多个，所有不锈钢硅烷燃烧筒的废气出口通过管路连通后与除尘器单元的入口连接。
[0013]优选的，除尘器单元包括布袋除尘器，硅烷燃烧筒单元的废气出口与布袋除尘器的入口通过管道连接，布袋除尘器的出口与洗涤塔的废气入口通过管道连接。
[0014]优选的，布袋除尘器周围设有反吹气嘴，反吹气嘴连接压缩空气源。
[0015]优选的，除尘器单元还包括多管除尘器，多管除尘器设置于布袋除尘器的入口侧，多管除尘器的入口与硅烷燃烧筒单元的废气出口连接，多管除尘器的出口与布袋除尘器的入口连接。
[0016]优选的，洗涤塔的喷嘴采用无堵塞螺旋喷嘴。
[0017]优选的，洗涤塔采用一用一备的方式布置，除尘器单元的出口与洗涤塔的废气入口之间的管道上设有第一切换阀，第一切换阀用于切换两台洗涤塔的废气入口。
[0018]优选的，洗涤塔的废气出口与排废风机的入口之间的管道上设有第二切换阀，第二切换阀用于切换两台洗涤塔的废气出口。
[0019]本专利技术具有如下有益效果：
[0020]本专利技术含氨硅烷废气排放治理工艺中，将含氨硅烷废气进行燃烧，能够将硅烷废气转化为SiO2粉尘，同时还会形成含有氨气的废气，在含氨硅烷废气燃烧的同时收集燃烧生成的二氧化硅粉尘，能够降低含有氨气的废气中粉尘的含量，进而降低后续除尘的难度；将含有氨气的废气进行除尘后能够使得含有氨气的废气进行洗涤除氨的要求；通过洗涤能够除去废气中的氨，同时还有去除废气中的颗粒成分的作用，通过本专利技术的处理方法，能够将含氨硅烷废气完全进行无害化处理，无二次污染，治理现场无异味，既经济又环保，实现了硅烷废气持续达标排放的治理目的。
附图说明
[0021]图1为本专利技术实施例提供的含氨硅烷废气排放治理系统的结构示意图。
[0022]图2为本专利技术实施例提供的含氨硅烷废气排放治理工艺的工艺流程图。
[0023]图中，1
‑
硅烷燃烧筒单元，2
‑
除尘器单元，3
‑
洗涤塔，4
‑
排废风机，5
‑
第一管道，6
‑
爬梯，7
‑
第二管道，8
‑
第一切换阀，9
‑
第二切换阀，10
‑
第三管道。
具体实施方式
[0024]下面结合附图和实施例来对本专利技术做进一步的说明。
[0025]参见图1和图2，本专利技术含氨硅烷废气排放治理工艺，包括如下过程：
[0026]将含氨硅烷废气进行燃烧，同时收集燃烧时生成的二氧化硅粉尘；将燃烧产生的含有氨气的废气进行除尘；将除尘后的含有氨气的废气进行洗涤，以除去含有氨气的废气中的氨气；将除去氨气后的废气排放。
[0027]参见图1，本专利技术含氨硅烷废气排放治理系统，包括硅烷燃烧筒单元1、除尘器单元2、洗涤塔3和排废风机4，硅烷燃烧筒单元1设有废气入口、助燃气入口、废气出口以及排渣口，硅烷燃烧筒单元1的排渣口设置于硅烷燃烧筒单元1的底部，硅烷燃烧筒单元1的废气出口与除尘器单元2的入口通过管道连接，除尘器单元2的出口与洗涤塔3的废气入口通过管道连接，洗涤塔3的废气出口与排废风机4的入口通过管道连接。
[0028]本专利技术含氨硅烷废气排放治理系统中，通过硅烷燃烧筒单元1能够将含氨硅烷废气进行燃烧，同时还能收集燃烧时生成的二氧化硅粉尘；硅烷燃烧筒单元1上设置的废气入口能够与硅烷废气排放管道连接，将含氨硅烷废气通入硅烷燃烧筒单元1内，通过助燃气入口能够向硅烷燃烧筒单元1内通入助燃气(如空气)，空气和含氨硅烷废气中的硅烷燃烧，生成二氧化硅粉尘，而氨无法燃烧而保留在废气中，生成的二氧化硅粉尘大部分沉积在硅烷
燃烧筒单元1的底部并最终能够通过排渣口排出，而还有一小部分二氧化硅粉尘仍滞留在废气中、并随废气从废气出口一起流入除尘器单元2中进行除尘，在除尘器单元2中，剩余的绝大部分废气中的二氧化硅粉尘能够被除去，经除尘器单元2处理后的含有氨气的废气进入洗涤塔3进行洗涤，在洗涤塔3中，一方面将含有氨气的废气中的氨气洗脱掉，另一方面还能够将废气中残余的颗粒物清洗掉，使得废气达到无害的排放标准。利用排废风机4将洗涤塔3处理后的无害废气抽出排放掉，排废风机4抽出的废气可经烟囱达标排放。
[0029]本专利技术进一步的改进在于，硅烷燃烧筒单元1采用不锈钢硅烷燃烧筒，不锈钢硅烷燃烧筒设有废气入口、助燃气入口、废气出口以及排渣口，不锈钢硅烷燃烧筒的底部设有集渣斗，排渣口位于集渣斗的底部，且排渣口设有排渣阀。本专利技术采用不锈钢硅烷燃烧筒，利用其强度高的特点，对大量出现硅烷时起到应急保护、防爆的作用，因此本专利技术对硅烷气浓度波动适应范围广。
[0030]更具体的，不锈本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种含氨硅烷废气排放治理工艺，其特征在于，包括如下过程：将含氨硅烷废气进行燃烧，同时收集燃烧时生成的二氧化硅粉尘；将燃烧产生的含有氨气的废气进行除尘；将除尘后的含有氨气的废气进行洗涤，以除去含有氨气的废气中的氨气；将除去氨气后的废气排放。2.一种含氨硅烷废气排放治理系统，其特征在于，该系统用于实现权利要求1所述的含氨硅烷废气排放治理工艺，包括硅烷燃烧筒单元(1)、除尘器单元(2)、洗涤塔(3)和排废风机(4)，硅烷燃烧筒单元(1)设有废气入口、助燃气入口、废气出口以及排渣口，硅烷燃烧筒单元(1)的排渣口设置于硅烷燃烧筒单元(1)的底部，硅烷燃烧筒单元(1)的废气出口与除尘器单元(2)的入口通过管道连接，除尘器单元(2)的出口与洗涤塔(3)的废气入口通过管道连接，洗涤塔(3)的废气出口与排废风机(4)的入口通过管道连接。3.根据权利要求2所述的一种含氨硅烷废气排放治理系统，其特征在于，硅烷燃烧筒单元(1)采用不锈钢硅烷燃烧筒，不锈钢硅烷燃烧筒设有废气入口、助燃气入口、废气出口以及排渣口，不锈钢硅烷燃烧筒的底部设有集渣斗，排渣口位于集渣斗的底部，且排渣口设有排渣阀。4.根据权利要求3所述的一种含氨硅烷废气排放治理系统，其特征在于，所述不锈钢硅烷燃烧筒设置多个，所有不锈钢硅烷燃烧筒的废气出口通过管路连通后与除尘器单...

【专利技术属性】
技术研发人员：何川，佘娟娟，孔锋，穆来西，高炜，赵雷，刘战刚，
申请(专利权)人：西安鼎研科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：