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本发明公开了一种含氨硅烷废气排放治理系统及工艺，工艺包括：将含氨硅烷废气进行燃烧，同时收集燃烧时生成的二氧化硅粉尘；将燃烧产生的含有氨气的废气进行除尘；将除尘后的含有氨气的废气进行洗涤，以除去含有氨气的废气中的氨气；将除去氨气后的废气排放。...
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