一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及研磨装置技术领域，且公开了一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置，该碳化硅晶圆的自动精细研磨装置包括机身，机身设置有机械臂，机械臂设置有连接盘设置有夹持装置，包括：液压杆，液压杆用于控制夹持器进行夹持工作，弧形的夹持器能够更加精准的贴合碳化硅晶圆的形状，缓冲层可以避免碳化硅晶圆产生损坏，具有更高的稳定性，从而减少研磨工作中产生的失误，提高生产的效率。该碳化硅晶圆的自动精细研磨装置设置有除尘装置，研磨工作中产生的灰尘会由设置在机身的气泵从吸风口吸入，然后灰尘会从出风口排出并回收到收料盒中，避免产生灰尘影响研磨质量，并且可以减少灰尘产生对生产环境和工作人员的影响。灰尘产生对生产环境和工作人员的影响。灰尘产生对生产环境和工作人员的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置


[0001]本技术涉及研磨装置
，具体为一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置。

技术介绍

[0002]碳化硅晶片的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件。该材料具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性，在高温、高压、高频、大功率、光电、抗辐射、微波性等电子应用领域和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势。
[0003]目前市面上的碳化硅晶圆的自动精细研磨装置没有设置夹持装置，进而当在进行研磨时，可能会使碳化硅晶圆发生偏移，影响对碳化硅晶圆的打磨，且研磨时产生的灰尘会影响研磨效果，对产品质量产生影响。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置，包括机身，所述机身设置有机械臂，所述机械臂设置在机身的一侧，所述机械臂设置有连接盘，所述连接盘设置在机械臂远离机身的一端，所述连接盘设置有夹持装置，所述夹持装置包括：
[0006]液压杆，所述液压杆的一端与连接盘的内壁固定连接，所述液压杆远离连接盘的一端与L型伸缩杆的一端固定连接；
[0007]L型伸缩杆，所述L型伸缩杆的外壁与气缸支座的内壁固定连接，所述L型伸缩杆远离液压杆的一端与夹持器的顶部外壁固定连接；
[0008]气缸支座，所述气缸支座的底部外壁与气缸的一端固定连接；
[0009]气缸，所述气缸远离气缸支座的一端与夹持器的顶部外壁固定连接；
[0010]夹持器，所述夹持器的一侧的外壁与缓冲层固定连接。
[0011]优选的，所述机身设置有除尘装置，所述除尘装置包括：
[0012]气泵，所述气泵的两侧外壁与机身固定连接，所述气泵的一侧外壁与吸风口的一端固定连接，所述气泵远离吸风口的一侧与出风口的一端固定连接；
[0013]出风口，所述出风口远离气泵的一端与收料盒的顶部套接。
[0014]优选的，所述机身设置有传送带，所述传送带设置在机身的内壁中，所述连接盘设置有研磨器，所述研磨器设置在连接盘的底部。
[0015]优选的，所述夹持装置设置有两组，两组所述夹持装置以连接盘为中线对称设置在连接盘的两侧。
[0016]优选的，所述除尘装置设置有两组，两组所述夹持装置以传送带为中线对称设置
在机身的两侧内壁。
[0017]优选的，所述夹持器的夹持面为弧面，所述缓冲层设置在夹持器的夹持面一侧和底面一侧。
[0018]优选的，所述吸风口的形状为横截面为梯形的立方结构，所述出风口的形状为横截面为直角扇形的立体结构。
[0019]与现有技术相比，本技术提供了一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置，具备以下有益效果：
[0020]1、该碳化硅晶圆的自动精细研磨装置设置有夹持装置，研磨工作设置在连接盘上的液压杆连接了L型伸缩杆，液压杆用于控制夹持器进行夹持工作，L型伸缩杆由气缸操控控制夹持器的上下运动，弧形的夹持器能够更加精准的贴合碳化硅晶圆的形状，夹持器的夹持面设置有缓冲层，可以避免碳化硅晶圆与夹持器磕碰产生损坏，对比市面上大多数产品具有更高的稳定性，夹持装置可以帮助研磨器进行更精准的研磨作业，从而减少研磨工作中产生的失误，提高生产效率。
[0021]2、该碳化硅晶圆的自动精细研磨装置设置有除尘装置，研磨工作中产生的灰尘会由设置在机身的气泵从吸风口吸入，然后灰尘会从出风口排出并回收到收料盒中，与同类产品相比可以避免灰尘影响研磨质量，使产品质量得到提高，并且可以减少灰尘产生对生产环境和工作人员的影响，减少不必要的人工支出，提高工作效率。
附图说明
[0022]图1为本技术正面结构示意图；
[0023]图2为本技术侧面结构示意图；
[0024]图3为本技术顶面结构示意图；
[0025]图4为本技术夹持装置剖面结构示意图。
[0026]图中：1、机身；2、传送带；3、机械臂；4、夹持装置；401、液压杆；402、L型伸缩杆；403、气缸支座；404、夹持器；405、缓冲层；406、气缸；5、除尘装置；501、吸风口；502、气泵；503、出风口；504、收料盒；6、连接盘；7、研磨器。
具体实施方式
[0027]如图1
‑
4所示，本技术提供一种技术方案：一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置，包括机身1，其机身1设置有机械臂3，机械臂3设置在机身1的一侧，机械臂3设置有连接盘6，连接盘6设置在机械臂3远离机身1的一端，连接盘6设置有夹持装置4，夹持装置4包括：液压杆401，液压杆401的一端与连接盘6的内壁固定连接，液压杆401远离连接盘6的一端与L型伸缩杆402的一端固定连接，液压杆401用于控制夹持器404进行夹持工作；L型伸缩杆402，L型伸缩杆402的外壁与气缸支座403的内壁固定连接，L型伸缩杆402远离液压杆401的一端与夹持器404的顶部外壁固定连接，L型伸缩杆402用于控制夹持器404的上下移动；气缸支座403，气缸支座403的底部外壁与气缸406的一端固定连接；气缸406，气缸406远离气缸支座403的一端与夹持器404的顶部外壁固定连接，气缸406用于带动L型伸缩杆402进行工作；夹持器404，夹持器404的一侧的外壁与缓冲层405固定连接，缓冲层405用于保护碳化硅晶圆受损。机身1设置有除尘装置5，除尘装置5包括：气泵502，气泵502的两侧外壁与机身
1固定连接，气泵502的一侧外壁与吸风口501的一端固定连接，气泵502远离吸风口501的一侧与出风口503的一端固定连接；出风口503，出风口503远离气泵502的一端与收料盒504的顶部套接，收料盒504用于收纳吸出的灰尘。机身1设置有传送带2，传送带2设置在机身1的内壁中，连接盘6设置有研磨器7，研磨器7设置在连接盘6的底部。夹持装置4设置有两组，两组夹持装置4以连接盘6为中线对称设置在连接盘6的两侧。除尘装置5设置有两组，两组夹持装置4以传送带2为中线对称设置在机身1的两侧内壁。夹持器404的夹持面为弧面，缓冲层405设置在夹持器404的夹持面一侧和底面一侧。吸风口501的形状为横截面为梯形的立方结构，出风口503的形状为横截面为直角扇形的立体结构。
[0028]使用时，机身1上的传送带2将碳化硅晶圆传送至机械臂3的下方，机械臂3伸展至工作区域，设置在连接盘6的夹持装置4开始夹持工作，工作时气缸406会控制L型伸缩杆402伸长，带动夹持器404向下移动进入研磨区域，之后液压杆401会向内收缩，带动夹持器404向内移动将碳化硅晶圆夹持，设置在夹持器404的缓冲层405可以保护碳化硅晶圆受到损坏，夹持完成后研磨器7进行研磨工作，研磨工作时产生的灰尘会由气泵502从吸风口501中吸入，再将灰尘从出风口503中排出，排出的废料和灰尘会收纳在套本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置，包括机身(1)，其特征在于：所述机身(1)设置有机械臂(3)，所述机械臂(3)设置在机身(1)的一侧，所述机械臂(3)设置有连接盘(6)，所述连接盘(6)设置在机械臂(3)远离机身(1)的一端，所述连接盘(6)设置有夹持装置(4)，所述夹持装置(4)包括：液压杆(401)，所述液压杆(401)的一端与连接盘(6)的内壁固定连接，所述液压杆(401)远离连接盘(6)的一端与L型伸缩杆(402)的一端固定连接；L型伸缩杆(402)，所述L型伸缩杆(402)的外壁与气缸支座(403)的内壁固定连接，所述L型伸缩杆(402)远离液压杆(401)的一端与夹持器(404)的顶部外壁固定连接；气缸支座(403)，所述气缸支座(403)的底部外壁与气缸(406)的一端固定连接；气缸(406)，所述气缸(406)远离气缸支座(403)的一端与夹持器(404)的顶部外壁固定连接；夹持器(404)，所述夹持器(404)的一侧的外壁与缓冲层(405)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置，其特征在于：所述机身(1)设置有除尘装置(5)，所述除尘装置(5)包括：气泵(502)，所述气泵(502)的两侧外壁与机身(1)固定连接，所述气泵(502)的一侧外壁与吸风口(50...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄朝辉，
申请(专利权)人：扬帆半导体江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：