本实用新型专利技术公开了一种用于碳化硅线切割的高效冷却装置，包括工作台，所述工作台上开设有掉落槽，所述掉落槽下端设置有收集箱，所述收集箱内部设置有筛分装置，所述筛分装置包括有固定板、伸缩弹簧、筛分板及抖动装置，所述固定板固定安装在收集箱的内壁上，所述伸缩弹簧固定安装在固定板的上端，所述筛分板的下端与伸缩弹簧固定连接。该用于碳化硅线切割的高效冷却装置，通过设置有筛分装置，对粘附一起的晶片进行分散，加快分散效率，通过设置有喷洒头，提高切割装置的冷却效果，同时喷洒头的水也可以对切割后的晶片进行清洗，清洗完的水通过收集管道进入到水箱内，实现水循环，节约水资源，提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。
【技术实现步骤摘要】
一种用于碳化硅线切割的高效冷却装置
[0001]本技术涉及碳化硅线切割
，具体为一种用于碳化硅线切割的高效冷却装置。
技术介绍
[0002]碳化硅单晶是第三代半导体材料，碳化硅晶体需经过多线切割、研磨、抛光等加工工序，获得的单晶薄片作为衬底材料，经过外延生长、器件制造等环节，方可制成碳化硅基功率器件和微波射频器件。
[0003]由于碳化硅的硬度较大，现有的碳化硅切割基本上都是使用金刚石砂浆进行切割，在切割后，晶片和晶片之间紧密相贴，上端布有大量的污渍，需要人工对晶片之间进行分离，并需要对污渍进行清洗，工作效率较低。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于碳化硅线切割的高效冷却装置，解决了使用线切割对碳化硅切割时，人工对晶片之间进行分离清理工作效率低的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种用于碳化硅线切割的高效冷却装置，包括工作台，所述工作台上端固定安装有切割装置，所述工作台上开设有掉落槽，所述掉落槽下端设置有收集箱，所述收集箱内部设置有筛分装置，所述筛分装置包括：
[0008]固定板，所述固定板固定安装在收集箱的内壁上；
[0009]伸缩弹簧，所述伸缩弹簧固定安装在固定板的上端；
[0010]筛分板，所述筛分板的下端与伸缩弹簧固定连接；
[0011]抖动装置，所述抖动装置设置在筛分板的下端。
[0012]优选的，所述抖动装置包括有驱动电机、转动杆及凸轮，所述驱动电机通过机箱固定安装在收集箱的左端，所述驱动电机的输出端贯穿收集箱的左端并与转动杆固定连接，所述转动杆与收集箱转动连接，所述转动杆的右端固定连接凸轮，所述凸轮设置在筛分板的下端。
[0013]优选的，所述收集箱下端与收集管道相连通，所述收集管道远离收集箱的一端贯穿工作台并与水箱相连通，所述水箱固定安装在工作台的上端左侧。
[0014]优选的，所述水箱上端与出水管道相连通，所述出水管道远离水箱的一端与喷洒头相连通。
[0015]优选的，所述收集箱前端活动连接有箱门。
[0016]优选的，所述切割装置上端固定安装有支撑柱，所述支撑柱上贯穿有出水管道。
[0017](三)有益效果
[0018]本技术提供了一种用于碳化硅线切割的高效冷却装置。具备以下有益效果：
[0019](1)、该用于碳化硅线切割的高效冷却装置，通过设置有筛分装置，当对碳化硅切割完毕后，碳化硅通过掉落槽掉落至收集箱内，与筛分板相接触，筛分板的下端设置有伸缩弹簧和凸轮，通过驱动电机带动转动杆和凸轮进行转动，凸轮对筛分板的下端进行敲击，使筛分板产生抖动，对粘附一起的晶片进行分散，加快分散效率。
[0020](2)、该用于碳化硅线切割的高效冷却装置，通过设置有喷洒头，当对碳化硅切割时，喷洒头进行洒水工作，提高切割装置的冷却效果，同时喷洒头的水也可以对切割后的晶片进行清洗，当收集箱内的晶片抖动时，提高清洗效果，清洗完的水通过收集管道进入到水箱内，实现水循环，节约水资源，提高工作效率。
附图说明
[0021]图1为本技术立体的结构示意图；
[0022]图2为本技术正面剖视的结构示意图；
[0023]图3为本技术图2中A部分放大的结构示意图。
[0024]图中：1、工作台；101、掉落槽；2、切割装置；3、收集箱；4、筛分装置；401、固定板；402、伸缩弹簧；403、筛分板；404、抖动装置；4041、驱动电机；4042、转动杆；4043、凸轮；5、收集管道；6、水箱；7、出水管道；8、喷洒头；9、箱门；10、支撑柱。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]请参阅图1
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图3，本技术提供一种技术方案：一种用于碳化硅线切割的高效冷却装置，包括工作台1，工作台1上端固定安装有切割装置2，工作台1上开设有掉落槽101，掉落槽101下端设置有收集箱3，收集箱3内部设置有筛分装置4，筛分装置4包括固定板401，固定板401固定安装在收集箱3的内壁上，固定板401的上端固定安装有伸缩弹簧402，伸缩弹簧402的上端固定安装有筛分板403，筛分板403的下端设置有抖动装置404。
[0027]具体而言，本技术技术方案的筛分装置4包括有固定板401、伸缩弹簧402、筛分板403及抖动装置404，对碳化硅进行切割后，成为晶片的碳化硅从掉落槽101掉落至下端的收集箱3内，通过伸缩弹簧402和抖动装置404使筛分板403在收集箱3内进行上下抖动，对粘附在一起的晶片进行抖动分散，提高工作效率，固定板401和伸缩弹簧402均设置有四个，并两个为一组设置在收集箱3内部的前后内壁上。
[0028]在本技术的一实施方式中，收集管道5的一端上设置有螺旋状管道，当对水进行收集时，提高对水的散热效果，在水箱6内部设置有抽水泵，方便对收集管道5内的水进行抽取，水箱6内部设置有过滤器，对水进行净化效果，切割装置2为线切割机，为现有设备。
[0029]请继续参阅图1
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图3，抖动装置404包括有驱动电机4041、转动杆4042及凸轮4043，驱动电机4041通过机箱固定安装在收集箱3的左端，驱动电机4041的输出端贯穿收集箱3的左端并与转动杆4042固定连接，转动杆4042与收集箱3转动连接，转动杆4042的右端固定连
接凸轮4043，凸轮4043设置在筛分板403的下端，收集箱3下端与收集管道5相连通，收集管道5远离收集箱3的一端贯穿工作台1并与水箱6相连通，水箱6固定安装在工作台1的上端左侧，水箱6上端与出水管道7相连通，出水管道7远离水箱6的一端与喷洒头8相连通，收集箱3前端活动连接有箱门9，切割装置2上端固定安装有支撑柱10，支撑柱10上贯穿有出水管道7，对出水管道7进行支撑。
[0030]为了防止对水进行循环回收时，水中存在颗粒等影响收集管道5的堵塞，对上端的筛分板403上设置有小型筛分孔，当对晶片进行抖动筛分时，也可以对小颗粒等杂质进行过滤，防止小颗粒等杂质通过收集管道5进入到水箱6内，影响水箱6的正常使用。
[0031]本技术的实施方式中，为了方便提高对切割过后的晶片进行分散，通过在筛分板403的下端设置有抖动装置404，启动驱动电机4041带动转动杆4042和凸轮4043进行转动，凸轮4043转动时与上端的筛分板403相接触，并对筛分板403进行敲击，使筛分板403产生抖动，提高对晶片分散效率，同时带动晶片进行抖动时，也可本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于碳化硅线切割的高效冷却装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上端固定安装有切割装置(2)，所述工作台(1)上开设有掉落槽(101)，所述掉落槽(101)下端设置有收集箱(3)，所述收集箱(3)内部设置有筛分装置(4)，所述筛分装置(4)包括：固定板(401)，所述固定板(401)固定安装在收集箱(3)的内壁上；伸缩弹簧(402)，所述伸缩弹簧(402)固定安装在固定板(401)的上端；筛分板(403)，所述筛分板(403)的下端与伸缩弹簧(402)固定连接；抖动装置(404)，所述抖动装置(404)设置在筛分板(403)的下端。2.如权利要求1所述的一种用于碳化硅线切割的高效冷却装置，其特征在于：所述抖动装置(404)包括有驱动电机(4041)、转动杆(4042)及凸轮(4043)，所述驱动电机(4041)通过机箱固定安装在收集箱(3)的左端，所述驱动电机(4041)的输出端贯穿收集箱(3)的左端并与转动杆(4042)...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑圣君，
申请(专利权)人：扬帆半导体江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：
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