密封阀门及密封结构制造技术

本申请属于密封设备技术领域，尤其是涉及一种密封阀门及密封结构。该密封阀门包括驱动装置、转接件及密封件；转接件设有通道，通道包括第一开口和第二开口，第一开口的开口方向平行于第一方向，第二开口的开口方向与第一方向相交；密封件面向第二开口设置并连接于驱动装置，且密封件设置为在驱动装置的作用下沿第二方向靠近或远离转接件，以封闭或打开第二开口，第二方向垂直于第一方向。在本申请提供的密封阀门中，密封件仅需在驱动装置的作用下进行单向运动即可完成密封，极大地降低了密封阀门的复杂性以及成本。门的复杂性以及成本。门的复杂性以及成本。

【技术实现步骤摘要】
密封阀门及密封结构


[0001]本申请属于密封设备
，尤其是涉及一种密封阀门及密封结构。

技术介绍

[0002]近年来，半导体设备发展迅速，涉及几十道加工工艺，众所周知，半导体设备大部分需要在真空环境内作业，所以稳定的真空环境已成为所有半导体设备基本的要求。
[0003]请参阅图1，在现有的半导体设备中，需要通过送料机构将硅片沿送料方向经由通孔H进入待密封装置20中。为了避免干涉，在送料方向(水平方向)上不能直接设置密封阀门以封闭通孔H。
[0004]现有的密封阀门连接于待密封装置并垂直于送料方向(竖直方向)设置，现有密封阀门包括气缸驱动机构及连接于气缸驱动机构到的阀门，阀门在气缸驱动机构的作用下先沿竖直方向运动抵达至与通孔H在送料方向上的间隔位置，然后继续在气缸驱动机构的作用下沿送料方向靠近通孔H运动，直至封闭通孔H。
[0005]可见，为了避免干涉硅片的输送，现有的气缸驱动机构需要驱动阀门沿两个方向进行运动，气缸驱动机构较为复杂，成本较高。

技术实现思路

[0006]本申请提供了一种密封阀门及密封结构，以解决现有气缸驱动机构过于复杂、成本较高的技术问题。
[0007]根据本申请的一个方面，提供了一种密封阀门，该密封阀门包括驱动装置、转接件及密封件；转接件设有通道，通道包括第一开口和第二开口，第一开口的开口方向平行于第一方向，第二开口的开口方向与第一方向相交；密封件面向第二开口设置并连接于驱动装置，且密封件设置为在驱动装置的作用下沿第二方向靠近或远离转接件，以封闭或打开第二开口，第二方向垂直于第一方向。
[0008]在本申请可选的方案中，第二开口的开口方向与第一方向形成的锐角为θ，30
°
≤θ≤60
°
。
[0009]在本申请可选的方案中，密封件设有密封面，密封面至少覆盖第二开口。
[0010]在本申请可选的方案中，密封面与第二开口所在平面平行。
[0011]在本申请可选的方案中，驱动装置包括伸缩杆和驱动机构，伸缩杆连接于密封件，驱动机构连接于伸缩杆，以用于驱动伸缩杆沿第二方向移动。
[0012]在本申请可选的方案中，驱动机构包括丝杆传动机构、滑块传动机构以及齿轮齿条传动机构中的任一者或组合。
[0013]在本申请可选的方案中，密封阀门还包括第一密封圈，第一密封圈设置于转接件并环绕第二开口布置。
[0014]根据本申请的另一个方面，提供了一种密封结构，该密封结构包括待密封装置以及上述的密封阀门；待密封装置设有待密封口，待密封口的开口方向平行于第一方向；转接
件连接于待密封装置，且第一开口面向待密封口设置，以使第二开口通过第一开口与待密封口连通。
[0015]在本申请可选的方案中，第一开口在第一方向上的投影至少覆盖待密封口。
[0016]在本申请可选的方案中，密封结构还包括第二密封圈，第二密封圈环绕待密封口设置并夹设在转接件与待密封装置之间。
[0017]在本申请提供的密封阀门中，通过转接件实现在不影响物料输送的前提下将待密封口的开口方向转换为第二开口的开口方向，通过合理设置第二开口的开口方向与第一开口的开口方向之间的夹角，使得密封件在驱动装置提供的单向运动下即可完成对第二开口的密封。相较于现有技术，该密封阀门中的密封件仅需单向运动以完成密封，极大地降低了密封阀门的复杂性以及成本。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域的技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为现有一种待密封装置的局部示意图；
[0020]图2为根据本申请其中一个实施例提供的密封结构的示意图；
[0021]图3为图2中的密封结构在另一状态下的示意图；
[0022]图4为图2中的密封结构的爆炸图；
[0023]图5为根据本申请其中另一实施例提供的密封结构的示意图。
[0024]附图标记如下：
[0025]10、密封阀门；11、驱动装置；111、伸缩杆；112、驱动机构；1121、电机；1122、联轴器；1123、丝杆；1124、安装块；1125、传动座；113、连接板；12、转接件；13、密封件；131、密封面；14、第一密封圈；
[0026]101、第一紧固连接件；102、第二紧固连接件；103、第三紧固连接件；
[0027]A、通道；A1、第一开口；A2、第二开口；
[0028]20、待密封装置；30、第二密封圈；
[0029]H、待密封口。
具体实施方式
[0030]在本申请的描述中，需要理解的是，如出现术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示方位或位置关系的描述，若无特殊的说明，则理解为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0031]另外，如出现限定有“第一”、“第二”仅用于描述目的的特征，不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。限定有“第一”、“第二”的特征可以
明示或者隐含地包括至少一个该被限定的特征。如出现“多个”的描述，一般含义是至少包括两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0032]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，如出现“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语，应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0033]在本说明书的描述中，如出现术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等，意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
[0034]图2至图4出示了一种密封结构，请参阅图2至图4，该密封结构为半导体加工设备的部分组成构件。该密封结构包括待密封装置20以及密封本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种密封阀门，其特征在于，所述密封阀门(10)包括驱动装置(11)、转接件(12)及密封件(13)；所述转接件(12)设有通道(A)，所述通道(A)包括第一开口(A1)和第二开口(A2)，所述第一开口(A1)的开口方向平行于第一方向，所述第二开口(A2)的开口方向与所述第一方向相交；所述密封件(13)面向所述第二开口(A2)设置并连接于所述驱动装置(11)，且所述密封件(13)设置为在所述驱动装置(11)的作用下沿第二方向靠近或远离所述转接件(12)，以封闭或打开所述第二开口(A2)，所述第二方向垂直于所述第一方向。2.根据权利要求1所述的密封阀门，其特征在于，所述第二开口(A2)的开口方向与所述第一方向形成的锐角为θ，30
°
≤θ≤60
°
。3.根据权利要求1所述的密封阀门，其特征在于，所述密封件(13)设有密封面(131)，所述密封面(131)至少覆盖所述第二开口(A2)。4.根据权利要求3所述的密封阀门，其特征在于，所述密封面(131)与所述第二开口(A2)所在平面平行。5.根据权利要求1所述的密封阀门，其特征在于，所述驱动装置(11)包括伸缩杆(111)和驱动机构(112)，所述伸缩杆(111)连接于所述密封件(13)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李帅辰，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：