用于晶圆检测设备的电源开关装置及晶圆检测设备制造方法及图纸

本申请属于晶圆检测技术领域，尤其是涉及一种用于晶圆检测设备的电源开关装置及晶圆检测设备。晶圆检测设备包括内部能够形成真空环境的壳体及移动平台，移动平台设置于壳体内且能够在移动平台内移动，该电源开关装置包括第一接线结构及第二接线结构；第一接线结构设置于壳体且至少部分位于壳体内，第一接线结构用于接入导线；第二接线结构设置于移动平台且用于引出导线，移动平台能够带动第二接线结构移动，以使第二接线结构与第一接线结构在相接与脱离连接之间切换。该电源开关装置通过控制两接线结构在相接与脱离连接之间切换实现电源通断，响应更迅速，因而具备该电源开关装置的晶圆检测设备效率更高。另外，导线布局简单，稳定性更高。稳定性更高。稳定性更高。

【技术实现步骤摘要】
用于晶圆检测设备的电源开关装置及晶圆检测设备


[0001]本申请属于晶圆检测
，尤其是涉及一种用于晶圆检测设备的电源开关装置及晶圆检测设备。

技术介绍

[0002]绝大部分半导体设备需要在真空环境内作业，然而维护真空环境对半导体设备的配件要求较高；大气环境内能够使用的电气元件，放到真空环境下，可能会产生挥发、发热或受到电磁场影响等问题，进而污染真空环境。
[0003]目前，真空环境(真空侧)与大气侧连接主要依靠真空窥入的方法实现；具体的，大气侧的电气元件经由导线及电磁阀连接真空环境的电气元件，通过控制电磁阀以实现真空环境内各用电元件的电能通断。
[0004]然而采用此方案，需要对引入于真空环境的导线进行合理布局以避免干涉真空侧的运动机构，导线布局复杂；导线容易被缠绕进而造成设备损坏，导线为避免缠绕若设置太长，则又会影响环境内的电场(导线一般为高压线缆)，进而影响设备检测精度；其次，控制电磁阀的通断(每次检测产品，均需通断)，会降低设备效率。

技术实现思路

[0005]本申请提供了一种用于晶圆检测设备的电源开关装置及晶圆检测设备，该电源开关装置取消了电磁阀，应用该电源开关装置的晶圆检测设备响应迅速，效率高，导线布局简单，稳定性更高。
[0006]根据本申请的一个方面，提供了一种用于晶圆检测设备的电源开关装置，晶圆检测设备包括内部能够形成真空环境的壳体及移动平台，移动平台设置于壳体内且能够在移动平台内移动，该电源开关装置包括第一接线结构及第二接线结构；第一接线结构设置于壳体且至少部分位于壳体内，第一接线结构用于接入导线；第二接线结构设置于移动平台且用于引出导线，移动平台能够带动第二接线结构移动，以使第二接线结构与第一接线结构在相接与脱离连接之间切换。
[0007]在本申请可选的方案中，第二接线结构包括活动支架、第二接线件以及抵接件，活动支架设置于移动平台，第二接线件以及抵接件均设置于活动支架；第二接线件连接于抵接件并引出导线，抵接件能够抵接于第一接线结构。
[0008]在本申请可选的方案中，活动支架包括固定板、第一转接板、第二转接板以及安装板；固定板连接于移动平台，第一转接板连接于固定板并包括第一横向板段；第二转接板包括第二横向板段以及第二竖向板段，第二竖向板段连接于第二横向板段，第二横向板段连接于第一横向板段；安装板连接于第二竖向板段，第二接线件以及抵接件均设置于安装板。
[0009]在本申请可选的方案中，活动支架还包括压板，第二接线件与压板配合以将抵接件夹设在压板与安装板之间。
[0010]在本申请可选的方案中，抵接件的数量为多个，多个抵接件均从安装板的顶端朝
靠近第一接线结构延伸并沿纵向间隔布置。
[0011]在本申请可选的方案中，活动支架还包括夹板，夹板连接于固定板并与固定板配合以固定从第二接线件引出的导线。
[0012]在本申请可选的方案中，第一接线结构包括安装座、第一接线件以及接触极；安装座连接于壳体，第一接线件以及接触极均设置于安装座且均位于壳体内；第一接线件连接于接触极并能够接入导线。
[0013]在本申请可选的方案中，安装座设有多个沿纵向间隔布置的第一安装槽，接触极的数量与第一安装槽的数量相同；各接触极收容于对应的第一安装槽内。
[0014]在本申请可选的方案中，还包括检测传感器，检测传感器连接于抵接件，以用于检测抵接件是否通电。
[0015]根据本申请的另一个方面，提供了一种晶圆检测设备，晶圆检测设备包括上述述的电源开关装置。
[0016]综上所述，本申请提供的电源开关装置能够应用于晶圆检测设备中，该电源开关装置并未设置用于控制电源通断的电磁阀，通过控制两接线结构在相接与脱离连接之间切换实现电源通断，响应更迅速，因而具备该电源开关装置的晶圆检测设备效率更高。其次，真空侧的导线仅包括从第二接线结构引出至移动平台的导线，移动平台移动作业过程中并不会与该导线干涉，换言之，壳体内并不须要布置导线以转接从大气侧引入的导线，避免出现因导线布局不合理而导致的移动平台与转接导线干涉现象。另外，由于位于真空侧的导线较短，因而其产生的电场对该晶圆检测设备的检测精度影响较小，稳定性更高。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域的技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为根据本申请其中一个实施例提供的电源开关装置的示意图之一；
[0019]图2为根据本申请其中一个实施例提供的电源开关装置的示意图之二；
[0020]图3为图1中的第二接线结构的示意图；
[0021]图4为图3中的第二接线结构的爆炸图；
[0022]图5为图3中的第二接线结构在另一视角下的示意图；
[0023]图6为图1中的第一接线结构的示意图；
[0024]图7为图6中的第一接线结构的爆炸图。
[0025]附图标记如下：
[0026]100、第一接线结构；110、安装座；120、第一接线件；130、接触极；
[0027]200、第二接线结构；210、活动支架；211、固定板；212、第一转接板；2121、第一横向板段；2122、第一竖向板段；213、第二转接板；2131、第二横向板段；2132、第二竖向板段；214、安装板；215、压板；216、夹板；220、第二接线件；230、抵接件；
[0028]101、102、103、104、201、202、203、204、205、206、螺钉；105、插销；
[0029]A1、第一安装槽；A2、第二安装槽；H1、第一长条孔；H2、第二长条孔；
[0030]300、壳体；400、移动平台；500、导线。
具体实施方式
[0031]在本申请的描述中，需要理解的是，如出现术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示方位或位置关系的描述，若无特殊的说明，则理解为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0032]另外，如出现限定有“第一”、“第二”仅用于描述目的的特征，不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该被限定的特征。如出现“多个”的描述，一般含义是至少包括两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0033]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，如出现“本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆检测设备的电源开关装置，所述晶圆检测设备包括内部能够形成真空环境的壳体及移动平台，所述移动平台设置于所述壳体内且能够在所述移动平台内移动，其特征在于，包括第一接线结构及第二接线结构；所述第一接线结构设置于所述壳体且至少部分位于所述壳体内，所述第一接线结构用于接入导线；所述第二接线结构设置于所述移动平台且用于引出导线，所述移动平台能够带动第二接线结构移动，以使所述第二接线结构与第一接线结构在相接与脱离连接之间切换。2.根据权利要求1所述的用于晶圆检测设备的电源开关装置，其特征在于，所述第二接线结构包括活动支架、第二接线件以及抵接件，所述活动支架设置于所述移动平台，所述第二接线件以及所述抵接件均设置于所述活动支架；所述第二接线件连接于所述抵接件并引出导线，所述抵接件能够抵接于所述第一接线结构。3.根据权利要求2所述的用于晶圆检测设备的电源开关装置，其特征在于，所述活动支架包括固定板、第一转接板、第二转接板以及安装板；所述固定板连接于所述移动平台，所述第一转接板连接于所述固定板并包括第一横向板段；所述第二转接板包括第二横向板段以及第二竖向板段，所述第二竖向板段连接于所述第二横向板段，所述第二横向板段连接于所述第一横向板段；所述安装板连接于所述第二竖向板段，所述第二接线件以及所述抵接件均设置于所述安装板。4.根据权利要求3所述的用于晶圆检测设备的电源开关装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙炳晖，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：