基于光信号与电信号的微/纳谐振器振动测量方法技术

本发明专利技术公开了一种基于光信号与电信号的微/纳谐振器振动测量方法，步骤如下：设计和制备带有激励电极和检测电极的微/纳谐振器；在激励电极上施加交流电压对微/纳谐振器进行激励，分析得到微/纳谐振器的振动信息；对比基于光信号和电信号得到的频谱图，分析得到微/纳谐振器振动固有频率，对振动固有频率进行单频激励后得到清晰的振动模态图。本发明专利技术实现了在微小激励条件下高精度测量微/纳谐振器振动频谱图的同时，对振型进行观测。对振型进行观测。对振型进行观测。

【技术实现步骤摘要】
基于光信号与电信号的微/纳谐振器振动测量方法


[0001]本专利技术属于高精度振动测量
，具体涉及一种基于光信号与电信号的微/纳谐振器振动测量方法。

技术介绍

[0002]随着材料科学的不断快速发展，大量具有特殊属性的新材料不断涌现。二维微/纳材料已经成为未来微/纳谐振器的主要候选材料，因为其机械性能在原子水平上得到了高度的增强。继石墨烯之后，各种二维微/纳材料被作为微/纳谐振器的结构材料得到研究，包括超导NbSe2、半导体MoS2和黑磷等，这为新兴应用开辟了广阔的空间。
[0003]与器件制造和运动激励相比，共振检测可以说是微/纳谐振器实验研究中最具技术挑战性的方面。由于器件尺寸小，共振信号振幅也小，现有用于宏观谐振器的谐振检测技术，如电容读出、高速相机成像等，可能无法直接适用或有效适用，必须开发不同的技术，以更好地完成谐振检测。到目前为止，大多数微/纳谐振器都是用光学或电学方法测量的。但是单独的光学或电学方法测量存在着各自的缺点，在光学方法测量中，测量结果对外部环境扰动非常敏感，当外界扰动较大或者试件品质因数太低时，噪声会淹没本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于光信号与电信号的微/纳谐振器振动测量方法，其特征在于，步骤如下：1)设计和制备带有激励电极和检测电极的微/纳谐振器；2)在激励电极上施加交流电压对微/纳谐振器进行激励，使用激光多普勒测振仪检测其振动信号的同时，在检测电极的一端施加与激励电极上施加的交流电压存在频率差的交流电压，并测量该电压通过微/纳谐振器后得到的电流信号，分析得到微/纳谐振器的振动信息；3)对比基于光信号和电信号得到的频谱图，分析得到微/纳谐振器振动固有频率，对振动固有频率进行单频激励后得到清晰的振动模态图。2.根据权利要求1所述的基于光信号与电信号的微/纳谐振器振动测量方法，其特征在于，所述步骤2)具体包括：在激励电极上施加频率为ω的交流电压激励微/纳谐振器，使用激光多普勒测振仪通过激光多普勒效应及光外差干涉检测其振动；当微/纳...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘汝盟，刘鑫杰，王立峰，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：