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本发明公开了一种基于光信号与电信号的微/纳谐振器振动测量方法，步骤如下：设计和制备带有激励电极和检测电极的微/纳谐振器；在激励电极上施加交流电压对微/纳谐振器进行激励，分析得到微/纳谐振器的振动信息；对比基于光信号和电信号得到的频谱图，分析...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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