聚焦离子束物理气相沉积装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种聚焦离子束物理气相沉积装置，包括真空箱盒本体，所述真空箱盒本体的内侧顶端安装有活动机械手臂，所述活动机械手臂的一端设置有离子束激光头，所述真空箱盒本体的外侧壁安装有橡胶防撞包裹板，所述真空箱盒本体的内侧下方设置有旋转组件，所述旋转组件的外侧顶端设置有放置台，所述放置台的外侧上方设置有放置组件，所述真空箱盒本体的外侧前方设置有密封门板，所述放置组件的外侧壁设置有锁紧组件。该一种聚焦离子束物理气相沉积装置，通过设置固定机箱、异步交流电动机和转动支撑机架的配合作用下，在加工过程中，通过异步交流电动机带动转动支撑机架进行旋转，从而带动放置台进行360

【技术实现步骤摘要】
聚焦离子束物理气相沉积装置


[0001]本技术涉及离子束加工相关
，具体为聚焦离子束物理气相沉积装置。

技术介绍

[0002]离子束加工的原理和电子束加工基本类似，也是在真空条件下，将离子源产生的离子束经过加速聚焦，使之撞击到工件表面。离子束的加工装置主要由包括离子源、真空系统、控制系统和电源等，故此我们需要聚焦离子束物理气相沉积装置。
[0003]目前使用的聚焦离子束物理气相沉积装置，在加工的过程中，不具备同时多产品进行加工，增加放置产品的时间，从而降低了该装置的加工效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供聚焦离子束物理气相沉积装置，以解决上述
技术介绍
中提出的目前使用的聚焦离子束物理气相沉积装置，在加工的过程中，不具备同时多产品进行加工，增加放置产品的时间，从而降低了该装置的加工效率的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：聚焦离子束物理气相沉积装置，包括真空箱盒本体，所述真空箱盒本体的内侧顶端安装有活动机械手臂，所述活动机械手臂的一端设置有离子束激光头，所述真空箱盒本体的外侧壁安装有橡胶防撞包裹板，所述真空箱盒本体的内侧下方设置有旋转组件，所述旋转组件的外侧顶端设置有放置台，所述放置台的外侧上方设置有放置组件，所述真空箱盒本体的外侧前方设置有密封门板，所述放置组件的外侧壁设置有锁紧组件。
[0006]优选的，所述旋转组件包括固定机箱、异步交流电动机和转动支撑机架，所述固定机箱安装在真空箱盒本体的内侧下方，所述固定机箱的内部安装有异步交流电动机，所述异步交流电动机的输出端法兰连接有转动支撑机架。
[0007]优选的，所述放置组件包括放置架固定底脚、放置架和锁紧螺栓，所述放置架固定底脚螺钉安装在放置台的外侧上方，所述放置架固定底脚的外侧上方焊接有放置架，所述放置架固定底脚的上表面设置有锁紧螺栓。
[0008]优选的，所述放置架在放置台的外侧上方呈环形阵列分布，且放置架的形状大小均相同。
[0009]优选的，所述锁紧组件包括伸缩杆、锁紧夹和橡胶防静电垫片，所述伸缩杆安装在放置架的外侧壁，所述伸缩杆的一端螺钉连接有锁紧夹，所述锁紧夹的外侧壁贴合有橡胶防静电垫片。
[0010]优选的，所述锁紧夹的外侧与橡胶防静电垫片的内侧紧密贴合，且锁紧夹的外侧尺寸与橡胶防静电垫片的内侧尺寸相吻合。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、该聚焦离子束物理气相沉积装置，通过设置固定机箱、异步交流电动机和转动
支撑机架的配合作用下，在加工过程中，通过异步交流电动机带动转动支撑机架进行旋转，从而带动放置台进行360
°
角度旋转，使得放置台上方多个离子束产品进行旋转加工，提高了工作效率；
[0013]2、该聚焦离子束物理气相沉积装置，通过设置放置架固定底脚、放置架和锁紧螺栓的配合作用下，安装在放置台上方的多个放置架，可以同时放置多个产品进行加工，提高了加工效率，同时也方便对放置架进行安装和拆卸，通过设置伸缩杆、锁紧夹和橡胶防静电垫片的配合作用下，通过伸缩杆带动锁紧夹与放置架内侧进行伸缩运行，可以对放置架内侧的产品大小进行固定，提高了该装置的实用性。
附图说明
[0014]图1为本技术正视结构示意图；
[0015]图2为本技术正视外观结构示意图；
[0016]图3为本技术放置台俯视结构示意图；
[0017]图4为本技术图1中A部放大结构示意图。
[0018]图中：1、真空箱盒本体；2、活动机械手臂；3、离子束激光头；4、橡胶防撞包裹板；5、旋转组件；501、固定机箱；502、异步交流电动机；503、转动支撑机架；6、放置台；7、放置组件；701、放置架固定底脚；702、放置架；703、锁紧螺栓；8、密封门板；9、锁紧组件；901、伸缩杆；902、锁紧夹；903、橡胶防静电垫片。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
‑
4，本技术提供一种技术方案：聚焦离子束物理气相沉积装置，包括真空箱盒本体1，真空箱盒本体1的内侧顶端安装有活动机械手臂2，活动机械手臂2的一端设置有离子束激光头3，真空箱盒本体1的外侧壁安装有橡胶防撞包裹板4，真空箱盒本体1的内侧下方设置有旋转组件5，旋转组件5包括固定机箱501、异步交流电动机502和转动支撑机架503，固定机箱501安装在真空箱盒本体1的内侧下方，固定机箱501的内部安装有异步交流电动机502，异步交流电动机502的输出端法兰连接有转动支撑机架503，通过设置固定机箱501、异步交流电动机502和转动支撑机架503的配合作用下，在加工过程中，通过异步交流电动机502带动转动支撑机架503进行旋转，从而带动放置台6进行360
°
角度旋转，使得放置台6上方多个离子束产品进行旋转加工，提高了工作效率；
[0021]旋转组件5的外侧顶端设置有放置台6，放置台6的外侧上方设置有放置组件7，放置组件7包括放置架固定底脚701、放置架702和锁紧螺栓703，放置架固定底脚701螺钉安装在放置台6的外侧上方，放置架固定底脚701的外侧上方焊接有放置架702，放置架固定底脚701的上表面设置有锁紧螺栓703，通过设置放置架固定底脚701、放置架702和锁紧螺栓703的配合作用下，安装在放置台6上方的多个放置架702，可以同时放置多个产品进行加工，提高了加工效率，放置架702在放置台6的外侧上方呈环形阵列分布，且放置架702的形状大小
均相同，通过放置架702通过放置架固定底脚701与锁紧螺栓703之间的螺钉连接也方便对放置架702进行安装和拆卸；
[0022]真空箱盒本体1的外侧前方设置有密封门板8，放置组件7的外侧壁设置有锁紧组件9，锁紧组件9包括伸缩杆901、锁紧夹902和橡胶防静电垫片903，伸缩杆901安装在放置架702的外侧壁，伸缩杆901的一端螺钉连接有锁紧夹902，锁紧夹902的外侧壁贴合有橡胶防静电垫片903，通过设置伸缩杆901、锁紧夹902和橡胶防静电垫片903的配合作用下，通过伸缩杆901带动锁紧夹902与放置架702内侧进行伸缩运行，可以对放置架702内侧的产品大小进行固定，提高了该装置的实用性，锁紧夹902的外侧与橡胶防静电垫片903的内侧紧密贴合，且锁紧夹902的外侧尺寸与橡胶防静电垫片903的内侧尺寸相吻合，通过贴合在锁紧夹902的外侧的橡胶防静电垫片903，确保了在固定时的防静电效果，避免了静电导致电子元件发生损坏。
[0023]工作原理：首先将该装置移动至指定位置，然后再接通外部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种聚焦离子束物理气相沉积装置，其特征在于，包括真空箱盒本体(1)，所述真空箱盒本体(1)的内侧顶端安装有活动机械手臂(2)，所述活动机械手臂(2)的一端设置有离子束激光头(3)，所述真空箱盒本体(1)的外侧壁安装有橡胶防撞包裹板(4)，所述真空箱盒本体(1)的内侧下方设置有旋转组件(5)，所述旋转组件(5)的外侧顶端设置有放置台(6)，所述放置台(6)的外侧上方设置有放置组件(7)，所述真空箱盒本体(1)的外侧前方设置有密封门板(8)，所述放置组件(7)的外侧壁设置有锁紧组件(9)。2.根据权利要求1所述的一种聚焦离子束物理气相沉积装置，其特征在于：所述旋转组件(5)包括固定机箱(501)、异步交流电动机(502)和转动支撑机架(503)，所述固定机箱(501)安装在真空箱盒本体(1)的内侧下方，所述固定机箱(501)的内部安装有异步交流电动机(502)，所述异步交流电动机(502)的输出端法兰连接有转动支撑机架(503)。3.根据权利要求1所述的一种聚焦离子束物理气相沉积装置，其特征在于：所述放置组件(7)包括放置架固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：高寒松，高小寒，王硕，
申请(专利权)人：会一科技长春有限公司，
类型：新型
国别省市：