一种粉尘收集装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种粉尘收集装置，包括主管件，所述主管件的侧壁上设有出气口，所述主管件的前端为进气口，还包括缓冲管件，包括倾斜设置在所述主管件上的倾斜段以及连通所述倾斜段的折弯段，所述倾斜段的前端连通所述主管件的出气口，末端设置在所述主管件的前端和出气口之间的区域中，以使得所述倾斜段和所述主管件之间的夹角为锐角，所述折弯段的前端连通所述倾斜段的后端，所述折弯段的末端连通干泵的进气口。改变缓冲管件中的倾斜段相对于主管件的朝向，加大了粉尘收集装置与干泵的进气口之间的角度，减少干泵因粉尘过多卡死而造成异常宕机的次数，提升干泵的使用寿命。提升干泵的使用寿命。提升干泵的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种粉尘收集装置


[0001]本技术涉及真空管道
，特别涉及一种粉尘收集装置。

技术介绍

[0002]目前的粉尘收集装置主要用于重粉尘工艺，在集成电路加工制造过程中，常常通过干式机械泵进行抽真空动作，并经过粉尘收集装置进行粉尘收集。
[0003]无油干式机械真空泵简称干泵，无油干式机械真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气，又能在粉尘收集装置的辅助下将被抽气体直接排到大气中去，用于真空腔体的低真空获得，并且泵腔内无油或其他工作介质，而泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
[0004]现行的粉尘收集装置主要用于重粉尘工艺，但是现有粉尘收集装置实际表现不佳，气体经过斜向下方的连接管道连接干泵，因此粉尘极易经过粉尘收集装置的管道进入干泵的内部而堵塞干泵，而且附着在粉尘收集装置的管道中的粉尘，在清理干泵和粉尘收集装置的管道时容易四散，进而污染集成电路的加工机台，因此需要改进设计以提升粉尘收集装置的粉尘收集能力。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种粉尘收集装置，以解决粉尘极易经过管道装置进入干泵的内部而堵塞干泵的管道中的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供一种粉尘收集装置，包括：
[0007]主管件，所述主管件的侧壁上设有出气口，所述主管件的前端为进气口；
[0008]缓冲管件，包括倾斜设置在所述主管件上的倾斜段以及连通所述倾斜段的折弯段，所述倾斜段的前端连通所述主管件的出气口，末端设置在所述主管件的前端和出气口之间的区域中，以使得所述倾斜段和所述主管件之间的夹角为锐角，所述折弯段的前端连通所述倾斜段的后端，所述折弯段的末端连通干泵的进气口；
[0009]手阀一，设置在所述主管件的末端上。
[0010]优选的，还包括：
[0011]变径件，连通所述主管件的末端，且所述变径件的管径从前端至后端是变化的；
[0012]所述手阀一，设置在所述主管件的末端上并位于所述主管件的出气口和所述变径件的前端之间。
[0013]优选的，所述变径件包括位于末端的扩张段以及位于所述手阀一和所述扩张段之间的收缩段，所述扩张段的管径从小变大，所述收缩段的管径从大变小。
[0014]优选的，所述缓冲管件还包括连接段，所述连接段与所述主管件平行设置，且所述连接段的前端连通所述折弯段的末端，所述连接段的末端连通所述干泵的进气口。
[0015]优选的，所述折弯段为圆弧状或蛇形弯曲状。
[0016]优选的，所述倾斜段与所述主管件之间的夹角范围为20度
‑
80度。
[0017]优选的，还包括手阀二，所述手阀二设置在所述干泵的进气口和所述缓冲管件的末端之间。
[0018]优选的，所述手阀一和所述手阀二均为真空插板阀。
[0019]优选的，所述缓冲管件与所述主管件之间可拆卸连接，和/或，所述缓冲管件与所述干泵之间可拆卸连接。
[0020]在本技术提供的粉尘收集装置，通过改变缓冲管件中的倾斜段相对于主管件的朝向，加大了粉尘收集装置与干泵的进气口之间的角度，这样在粉尘气流沿缓冲管件进入干泵之前，需要经过倾斜段的斜坡爬升以及折弯段的长度缓冲，具有足够的空间进行沉降，继而能够大大减少流入干泵的粉尘，减少干泵因粉尘过多卡死而造成异常宕机的次数，提升干泵的使用寿命。
[0021]并且，由于设置了手阀一，在需要对粉尘收集装置和干泵连接处的粉尘进行清理时，可以关闭手阀一，防止清理出来的粉尘沉降附着在集成电路的加工机台上，减少清理装置时对加工机台的影响，更进一步的，设置手阀一还能够防止粉尘倒吸，避免影响干式真空泵的正常使用。此外，手阀一的下方增加变径件，将末端管道尺寸放大，由此给粉尘气体沉降提供更多的缓冲空间，进一步提高主管件出的粉尘收集效果。
附图说明
[0022]图1是本技术实施例的示意图。
[0023]图中：
[0024]100、进气结构；1001、主管件；1002、手阀一；1003、收缩段；1004、扩张段；
[0025]200、缓冲管件；2001、倾斜段；2002、折弯段；2003、连接段；
[0026]300、手阀二；
[0027]400、干泵。
具体实施方式
[0028]以下结合附图和具体实施例对本技术提出的粉尘收集装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]基此，在本技术实的核心思想在于，通过改变缓冲管件200中的倾斜段相对于主管件1001的朝向，加大了粉尘收集装置与干泵400的进气口之间的角度，能够大大减少流入干泵400的粉尘，减少干泵400因粉尘过多卡死而造成异常宕机的次数，提升干泵400的使用寿命。
[0031]【实施例一】
[0032]具体的，请参考图1，其为本技术实施例的示意图。如图1所示，主管件1001，主
管件1001的侧壁上设有出气口，主管件1001的前端为进气口，这里的前端指的也是图示的主管件1001的底部一端。
[0033]进气结构100包括主管件1001，气体经过进气结构100进入缓冲管件200，进而进入干泵400，一般来说主管件1001的顶部为另一可启闭的阀门来连通外界，用于接入外界气体对主管件1001的内部进行吹扫清理。
[0034]作为另一种实施方式，主管件1001的顶部还可能为过滤装置，则主管件1001的内部还套设有一内管道，气体经过手阀一1002进入内管道，在过滤装置中过滤后，经过内管道和主管件1001之间的空间进入缓冲管件200。
[0035]缓冲管件200，包括倾斜设置在主管件1001上的倾斜段2001以及连通倾斜段2001的折弯段2002，倾斜段2001的前端连通主管件1001的出气口，末端设置在主管件1001的前端和出气口的区域中，以使得倾斜段2001和主管件1001之间的夹角为锐角，折弯段2002的前端连通倾斜段2001的后端，折弯段2002的末端连通干泵400的进气口。
[0036]倾斜段2001平滑连接有折弯段2002，倾斜段2001使得气流能够更顺畅进入，避免干泵400工作的瞬时功率受到影响，这里由于倾斜段2001和主管件1001之间的夹角为锐角沿逆时针方向，相对于斜向下接出的管道结构，加大了粉尘收集装置与干泵400的进气口之间的角度，这样在粉尘气流沿缓冲管件200进入干泵400之前，需要经过倾斜段2001的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种粉尘收集装置，其特征在于，包括：主管件(1001)，所述主管件(1001)的侧壁上设有出气口，所述主管件(1001)的前端为进气口；缓冲管件(200)，包括倾斜设置在所述主管件(1001)上的倾斜段(2001)以及连通所述倾斜段(2001)的折弯段(2002)，所述倾斜段(2001)的前端连通所述主管件(1001)的出气口，末端设置在所述主管件(1001)的前端和出气口之间的区域中，以使得所述倾斜段(2001)和所述主管件(1001)之间的夹角为锐角，所述折弯段(2002)的前端连通所述倾斜段(2001)的后端，所述折弯段(2002)的末端连通干泵(400)的进气口；手阀一(1002)，设置在所述主管件(1001)的末端上。2.如权利要求1所述的粉尘收集装置，其特征在于，还包括：变径件，连通所述主管件(1001)的末端，且所述变径件的管径从前端至后端是变化的；所述手阀一(1002)，设置在所述主管件(1001)的末端上并位于所述主管件(1001)的出气口和所述变径件的前端之间。3.如权利要求2所述的粉尘收集装置，其特征在于，所述变径件包括位于末端的扩张段(1004)以及位于所述手阀一(1002)和所述扩张段(1004)之间的收缩段(100...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐雷，袁海岭，朱小吕，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：