低温等离子体射流阵列产生电极制造技术

本发明专利技术涉及一种低温等离子体射流阵列产生电极，包括：针簇电极、密封盖及反应腔；密封盖设置为底部敞开的半封闭式结构；密封盖密封的顶部开设有电极安装孔及气管接口；反应腔设置为顶部敞开的半封闭式结构，反应腔的顶部经密封盖的底部延伸至密封盖的内侧并与密封盖密闭连接；针簇电极安装在电极安装孔内，针簇电极的放电端设置在反应腔内；反应腔的底部开设有等离子体溢出孔群。该低温等离子体射流阵列产生电极，高压电源通过限流电阻接通针簇电极，同时气瓶中的反应气体通过密封盖气管接口注入反应腔，在高压电源和反应气体的综合作用下，反应气体和等离子射流将从反应腔的等离子体溢出孔喷射而出，可产生单端的大面积低温等离子体射流阵列。离子体射流阵列。离子体射流阵列。

【技术实现步骤摘要】
低温等离子体射流阵列产生电极


[0001]本专利技术涉及等离子体
，特别涉及一种低温等离子体射流阵列产生电极。

技术介绍

[0002]低温等离子具有非常广阔的应用前景，在杀菌、消毒、表面处理等方面得到了广泛的应用。目前众多应用中存在两个显著需求：第一，低温等离子体能在不受电极结构制约的开放环境中产生。实际上等离子体的产生往往都在两个电极之间，击穿电压的大小决定了电极之间的距离不会太大，两电极之间空间有限往往影响了应用。第二，能产生大面积或大体积的稳定弥散低温等离子。实际在大气压空气中放电很容易由汤逊放电转化为流注放电，形成火花击穿通道，大面积或大体积的稳定弥散空气低温等离子的产生存在困难。
[0003]用稀有气体注入电极反应腔，并从一端高速喷出，在空气环境中产生等离子体射流可以解决第一个需求，但是射流呈现为细竖状等离子体，实际应用中无法满足第二个需求。如何进一步优化低温等离子体射流产生的电极结构，在空气中产生大面积或大体积的稳定弥散空气低温等离子，是本领域亟需研究的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术针对现本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低温等离子体射流阵列产生电极，其特征在于：包括：针簇电极(1)、密封盖(2)及反应腔(3)；所述密封盖(2)设置为底部敞开的半封闭式结构；所述密封盖(2)密封的顶部开设有贯穿内部的电极安装孔(5)及气管接口(4)；所述反应腔(3)设置为顶部敞开的半封闭式结构，所述反应腔(3)的顶部经所述密封盖(2)的底部延伸至所述密封盖(2)的内侧并与所述密封盖(2)密闭连接；所述针簇电极(1)安装在所述电极安装孔(5)内，所述针簇电极(1)的放电端设置在所述反应腔(3)内；所述反应腔(3)的底部开设有等离子体溢出孔群，所述等离子体溢出孔群与所述针簇电极(1)相对设置。2.根据权利要求1所述的低温等离子体射流阵列产生电极，其特征在于：所述电极安装孔(5)的数量大于或等于1；所述针簇电极(1)的数量和所述电极安装孔(5)的数量一致。3.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭啸龙，刘云龙，
申请(专利权)人：武汉芙丽雅电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：