光刻胶清洗装置及光刻胶剥离设备制造方法及图纸

本公开提供了一种光刻胶清洗装置及光刻胶剥离设备，属于显示技术领域。该光刻胶清洗装置，包括：清洗部；传输管道，包括第一管道、第二管道和第三管道，所述第一管道和所述第二管道的输出端与所述第三管道输入端连通，所述第三管道的输出端与所述清洗部连接；供应室，包括第一供应室和第二供应室，所述第一供应室用于装载清洗液，所述第一管道的输入端与所述第一供应室连通，所述第二供应室用于装载气体，所述第二管道的输入端与所述第二供应室连通。本公开有助于避免光刻胶清洗装置的的清洗部堵塞。堵塞。堵塞。

【技术实现步骤摘要】
光刻胶清洗装置及光刻胶剥离设备


[0001]本公开涉及显示
，尤其涉及一种光刻胶清洗装置及光刻胶剥离设备。

技术介绍

[0002]在显示面板制造工艺的湿法剥离过程中，剥离设备通常包括喷洒剥离液的剥离装置以及清洗光刻胶和剥离液反应液的清洗装置。剥离装置将剥离液喷洒至显示面板，使得显示面板上的光刻胶与剥离液反应，随后该显示面板会经过清洗装置进行清洗。
[0003]现有技术中，当清洗装置对显示面板上的剥离液和光刻胶的反应液进行清洗时，容易造成清洗装置的清洗部堵塞。
[0004]所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

[0005]本公开的目的在于提供一种光刻胶清洗装置及光刻胶剥离设备，有助于避免光刻胶清洗装置的的清洗部堵塞。
[0006]为实现上述专利技术目的，本公开采用如下技术方案：
[0007]根据本公开的第一个方面，提供一种光刻胶清洗装置，包括：
[0008]清洗部；
[0009]传输管道，包括第一管道、第二管道和第三管道，所述第一管道和所述第二管道的输出端与所述第三管道输入端连通，所述第三管道的输出端与所述清洗部连接；
[0010]供应室，包括第一供应室和第二供应室，所述第一供应室用于装载清洗液，所述第一管道的输入端与所述第一供应室连通，所述第二供应室用于装载气体，所述第二管道的输入端与所述第二供应室连通。
[0011]在本公开的一种示例性实施例中，所述第三管道具有至少三个输出端，所述第三管道的至少三个输出端分别与所述清洗部的不同位置连接。
[0012]在本公开的一种示例性实施例中，所述光刻胶清洗装置还包括：
[0013]第一控制阀，连接于所述第一管道；
[0014]第二控制阀，连接于所述第二管道。
[0015]在本公开的一种示例性实施例中，所述光刻胶清洗装置还包括：
[0016]第一控制系统，用于控制所述第一控制阀和所述第二控制阀的开启或关闭，并用于控制所述第一控制阀和所述第二控制阀在开启状态下的开启量大小。
[0017]在本公开的一种示例性实施例中，所述清洗部包括：
[0018]清洗部本体，内部为中空结构，所述中空结构形成流通腔；
[0019]流通通道，连接所述清洗部本体内部的所述流通腔与外界；
[0020]其中，所述第三管道的输出端与所述清洗部内部的所述流通腔连通。
[0021]在本公开的一种示例性实施例中，所述第三管道的至少三个输出端分别从不同位
置处与所述清洗部本体内部的所述流通腔连通。
[0022]在本公开的一种示例性实施例中，所述光刻胶清洗装置还包括：
[0023]第一过滤器，连接于所述第一管道；
[0024]第二过滤器，连接于所述第二管道。
[0025]根据本公开第二个方面，提供一种光刻胶剥离设备，包括：
[0026]多个剥离室；
[0027]剥离装置，包括剥离喷头，所述剥离喷头设于所述剥离室内，用于喷射剥离液至待剥离样品；
[0028]如第一方面所述的光刻胶清洗装置，所述光刻胶清洗装置设于所述剥离室的出口处，所述光刻胶清洗装置用于去除待剥离样品上光刻胶和剥离液的反应液。
[0029]在本公开的一种示例性实施例中，所述光刻胶剥离设备还包括：
[0030]第二控制系统，用于检测所述光刻胶剥离设备的工作状态；
[0031]当所述光刻胶清洗装置还包括所述第一控制系统时，所述第二控制系统还用于将检测获得的所述光刻胶剥离设备的工作状态输出至所述第一控制系统；
[0032]所述第一控制系统根据获得的所述光刻胶剥离设备的工作状态控制所述第一控制阀或第二控制阀的开启或关闭。
[0033]在本公开的一种示例性实施例中，所述光刻胶剥离设备的工作状态包括是否有待剥离样品在进行光刻胶剥离；
[0034]当有待剥离样品在进行光刻胶剥离时，所述第一控制系统控制所述第一控制阀关闭，控制所述第二控制阀开启，以向所述清洗部传输气体；
[0035]当无待剥离样品在进行光刻胶剥离时，所述第一控制系统控制所述第一控制阀开启，控制所述第二控制阀关闭，以向所述清洗部传输清洗液；或所述第一控制系统控制所述第一控制阀开启并同时控制所述第二控制阀开启，以向所述清洗部同时传输清洗液和气体。
[0036]本公开提供的光刻胶清洗装置，包括清洗部、传输管道和供应室。传输管道包括第一管道、第二管道和第三管道。供应室包括第一供应室和第二供应室，第一供应室用于装载清洗液，第二供应室用于装载气体。第一管道和第二管道的输出端与第三管道输入端连通，第三管道的输出端与清洗部连接，以向清洗部传输气体和清洗液。气体和清洗液可用于清洗清洗部，从而避免清洗装置的的清洗部堵塞。
附图说明
[0037]通过参照附图详细描述其示例实施方式，本公开的上述和其它特征及优点将变得更加明显。
[0038]图1是本公开示例性实施例中光刻胶清洗装置结构示意图；
[0039]图2是本公开示例性实施例中光刻胶剥离设备结构示意图；
[0040]图3是本公开示例性实施例中控制系统控制过程结构示意图；
[0041]图4是本公开示例性实施例中清洗部结构示意图；
[0042]图5是本公开示例性实施例中剥离装置结构示意图。
[0043]图中主要元件附图标记说明如下：
[0044]100
‑
清洗部；110
‑
清洗部本体；111
‑
流通腔；120
‑
流通通道；210
‑
第一管道；211
‑
第一控制阀；212
‑
第一过滤器；220
‑
第二管道；221
‑
第二控制阀；222
‑
第二过滤器；230
‑
第三管道；310
‑
第一供应室；320
‑
第二供应室；410
‑
第一控制系统；420
‑
第二控制系统；500
‑
剥离喷头；610
‑
第四管道；611
‑
第三控制阀；612
‑
第三过滤器；710
‑
第三供应室；800
‑
剥离室；900
‑
待剥离样品。
具体实施方式
[0045]现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施例使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶清洗装置，其特征在于，包括：清洗部；传输管道，包括第一管道、第二管道和第三管道，所述第一管道和所述第二管道的输出端与所述第三管道输入端连通，所述第三管道的输出端与所述清洗部连接；供应室，包括第一供应室和第二供应室，所述第一供应室用于装载清洗液，所述第一管道的输入端与所述第一供应室连通，所述第二供应室用于装载气体，所述第二管道的输入端与所述第二供应室连通。2.根据权利要求1所述的光刻胶清洗装置，其特征在于，所述第三管道具有至少三个输出端，所述第三管道的至少三个输出端分别与所述清洗部的不同位置连接。3.根据权利要求1所述的光刻胶清洗装置，其特征在于，所述光刻胶清洗装置还包括：第一控制阀，连接于所述第一管道；第二控制阀，连接于所述第二管道。4.根据权利要求3所述的光刻胶清洗装置，其特征在于，所述光刻胶清洗装置还包括：第一控制系统，用于控制所述第一控制阀和所述第二控制阀的开启或关闭，并用于控制所述第一控制阀和所述第二控制阀在开启状态下的开启量大小。5.根据权利要求2所述的光刻胶清洗装置，其特征在于，所述清洗部包括：清洗部本体，内部为中空结构，所述中空结构形成流通腔；流通通道，连接所述清洗部本体内部的所述流通腔与外界；其中，所述第三管道的输出端与所述清洗部内部的所述流通腔连通。6.根据权利要求5所述的光刻胶清洗装置，其特征在于，所述第三管道的至少三个输出端分别从不同位置处与所述清洗部本体内部的所述流通腔连通。7.根据权利要求1所述的光刻胶清洗装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜秀强，谢超，邱双，罗旋，吴丹，王勇，
申请(专利权)人：成都京东方显示科技有限公司，
类型：发明
国别省市：