一种应用parylene的PDMS微针制备方法技术

本发明专利技术公开了一种应用parylene的PDMS微针制备方法，包括以下步骤：S1、模具镀膜，在微针成型模具内沉积一层便于脱模的parylene薄膜；S2、浇筑，将常温液态PDMS罐装到微针模具内；S3、高温，固化，将微针模具置于真空烘箱，先抽真空，进行样品脱泡10分钟，然后进行4个小时75℃高温固化，待冷却到室温；S4、脱模，取出微针模具内PDMS微针；S5、沉积过渡膜，在步骤S4的，PDMS微针上沉积一层parylene薄膜的过渡膜；S6、沉积合金层，于步骤S5产品上沉积金属层。通过上述方式，本发明专利技术结构简单，PDMS微针能够更加完整的脱模，增强PDMS与金属层的粘附力，也不会导致金属层的褶皱。也不会导致金属层的褶皱。

【技术实现步骤摘要】
一种应用parylene的PDMS微针制备方法


[0001]本专利技术涉及微针加工
，特别是涉及一种应用parylene的PDMS微针制备方法。

技术介绍

[0002]PDMS
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聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane)，是一种高分子聚合物，化学式为(C2H6OSi)n，在药品、日化用品、食品、建筑等各领域均有应用，在日常微针的制备中常常选用PDMS衬底，在制作过程中PDMS直接在模具中倒模成型，然后在PDMS基底上沉积合金层，将PDMS倒入微针成型模具中，由于PDMS材料的粘黏性，PDMS材料容易粘在模具内，部分难以脱模，液态PDMS材料于模具内受热固化，容易膨胀产生形变，而后续沉积金属层也通常会发生粘附性不够或褶皱，原因是PDMS为高分子聚合物，与金属层材料不同，应力匹配不够，这两者都会导致器件的制备失败。
[0003]基于以上缺陷和不足，有必要对现有的技术予以改进，设计出一种应用parylene的PDMS微针制备方法。

技术实现思路

[0004]本专利技术主要解决的技术问题本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用parylene的PDMS微针制备方法，其特征在于：该种应用parylene的PDMS微针制备方法包括以下步骤：S1、模具镀膜，在微针成型模具内沉积一层便于脱模的parylene薄膜；S2、浇筑，将常温液态PDMS罐装到微针模具内，罐装量为模具腔体积的95％
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98％；S3、高温，固化，将步骤S2微针模具置于真空烘箱，先抽真空，进行样品脱泡10分钟，然后75℃高温固化，时间4个小时，待冷却到室温即可，约1个小时内，微针成型；S4、脱模，取出微针模具内PDMS微针，利用parylene材料表面润滑的特性，PDMS能够微针更加完整的脱模；S5、沉积过渡膜，在步骤S4的，PDMS微针上沉积一层parylene薄膜的过渡膜，能够增...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅其裕，
申请(专利权)人：百腾科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：