一种应用parylene的PDMS微针制备方法技术

本发明专利技术公开了一种应用parylene的PDMS微针制备方法，包括以下步骤：S1、模具镀膜，在微针成型模具内沉积一层便于脱模的parylene薄膜；S2、浇筑，将常温液态PDMS罐装到微针模具内；S3、高温，固化，将微针模具置于真空烘箱，先抽真空，进行样品脱泡10分钟，然后进行4个小时75℃高温固化，待冷却到室温；S4、脱模，取出微针模具内PDMS微针；S5、沉积过渡膜，在步骤S4的，PDMS微针上沉积一层parylene薄膜的过渡膜；S6、沉积合金层，于步骤S5产品上沉积金属层。通过上述方式，本发明专利技术结构简单，PDMS微针能够更加完整的脱模，增强PDMS与金属层的粘附力，也不会导致金属层的褶皱。也不会导致金属层的褶皱。

【技术实现步骤摘要】
一种应用parylene的PDMS微针制备方法


[0001]本专利技术涉及微针加工
，特别是涉及一种应用parylene的PDMS微针制备方法。

技术介绍

[0002]PDMS
‑
聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane)，是一种高分子聚合物，化学式为(C2H6OSi)n，在药品、日化用品、食品、建筑等各领域均有应用，在日常微针的制备中常常选用PDMS衬底，在制作过程中PDMS直接在模具中倒模成型，然后在PDMS基底上沉积合金层，将PDMS倒入微针成型模具中，由于PDMS材料的粘黏性，PDMS材料容易粘在模具内，部分难以脱模，液态PDMS材料于模具内受热固化，容易膨胀产生形变，而后续沉积金属层也通常会发生粘附性不够或褶皱，原因是PDMS为高分子聚合物，与金属层材料不同，应力匹配不够，这两者都会导致器件的制备失败。
[0003]基于以上缺陷和不足，有必要对现有的技术予以改进，设计出一种应用parylene的PDMS微针制备方法。

技术实现思路

[0004]本专利技术主要解决的技术问题是提供一种应用parylene的PDMS微针制备方法，解决PDMS微针倒模发生形变和金属层沉积粘附性不够问题。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是：提供一种应用parylene的PDMS微针制备方法，该种应用parylene的PDMS微针制备方法包括以下步骤：
[0006]S1、模具镀膜，在微针成型模具内沉积一层便于脱模的parylene薄膜；
[0007]S2、浇筑，将常温液态PDMS罐装到微针模具内，罐装量为模具腔体积的95％
‑
98％；
[0008]S3、高温，固化，将步骤S2微针模具置于真空烘箱，先抽真空，进行样品脱泡10分钟，然后75℃高温固化，时间4个小时，待冷却到室温即可，约1个小时内，微针成型；
[0009]S4、脱模，取出微针模具内PDMS微针，利用parylene材料表面润滑的特性，PDMS能够微针更加完整的脱模；
[0010]S5、沉积过渡膜，在步骤S4的，PDMS微针上沉积一层parylene薄膜的过渡膜，能够增强PDMS与金属层的粘附力，不会导致金属层的褶皱；
[0011]S6、沉积合金层，于步骤S5产品上沉积金属层。
[0012]优选的是，步骤S1中parylene薄膜厚度1～2μm。
[0013]优选的是，步骤S2中PDMS和固化剂配比10：1。
[0014]优选的是，步骤S5中过渡膜厚度400μm。
[0015]优选的是，步骤S6中金属层包括一层钛层和一层金层，钛层20nm，金200nm，钛主要的作用是作为粘附层，提升粘附力。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0017]利用parylene的润滑性，PDMS微针能够更加完整的脱模；
[0018]利用parylene的表面能与金属接近的特性，增强PDMS与金属层的粘附力，也不会导致金属层的褶皱。
具体实施方式
[0019]下面对本专利技术较佳实施例进行详细阐述，以使专利技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本专利技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0020]本专利技术实施例包括：
[0021]一种应用parylene的PDMS微针制备方法，该种应用parylene的PDMS微针制备方法包括以下步骤：
[0022]S1、模具镀膜，在微针成型模具内沉积一层便于脱模的parylene薄膜，parylene薄膜厚度1～2μm；
[0023]S2、浇筑，将常温液态PDMS罐装到微针模具内，罐装量为模具腔体积的95％
‑
98％，PDMS和固化剂配比10：1；
[0024]S3、高温，固化，将步骤S2微针模具置于真空烘箱，先抽真空，进行样品脱泡10分钟，然后75℃高温固化，时间4个小时，待冷却到室温即可，约1个小时内，微针成型；
[0025]S4、脱模，取出微针模具内PDMS微针，利用parylene材料表面润滑的特性，PDMS能够微针更加完整的脱模；
[0026]S5、沉积过渡膜，在步骤S4的，PDMS微针上沉积一层parylene薄膜的过渡膜，渡膜厚度400μm，能够增强PDMS与金属层的粘附力，不会导致金属层的褶皱；
[0027]S6、沉积合金层，于步骤S5产品上沉积金属层，金属层包括一层钛层和一层金层，钛层20nm，金200nm，钛主要的作用是作为粘附层，提升粘附力。
[0028]本专利技术一种应用parylene的PDMS微针制备方法，利用parylene的润滑性，PDMS微针能够更加完整的脱模，利用parylene的表面能与金属接近的特性，增强PDMS与金属层的粘附力，也不会导致金属层的褶皱。
[0029]以上所述仅为本专利技术的实施例，并非因此限制本专利技术的专利范围，凡是利用本专利技术说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本专利技术的专利保护范围内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用parylene的PDMS微针制备方法，其特征在于：该种应用parylene的PDMS微针制备方法包括以下步骤：S1、模具镀膜，在微针成型模具内沉积一层便于脱模的parylene薄膜；S2、浇筑，将常温液态PDMS罐装到微针模具内，罐装量为模具腔体积的95％
‑
98％；S3、高温，固化，将步骤S2微针模具置于真空烘箱，先抽真空，进行样品脱泡10分钟，然后75℃高温固化，时间4个小时，待冷却到室温即可，约1个小时内，微针成型；S4、脱模，取出微针模具内PDMS微针，利用parylene材料表面润滑的特性，PDMS能够微针更加完整的脱模；S5、沉积过渡膜，在步骤S4的，PDMS微针上沉积一层parylene薄膜的过渡膜，能够增...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅其裕，
申请(专利权)人：百腾科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：