一种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构，包括腔体，所述腔体放置有能够取出以及拆卸的内腔组件，所述腔体上还插装有与内腔组件相通的进料管道以及出料管道，所述腔体顶部设置有能够开合的盖板组件；所述内腔组件包括密封连接的下腔体和上腔体。通过上述方式，本实用新型专利技术小的腔体能够在短时间内快速充满镀膜材料，镀膜质量好，内腔组件能够取下拆卸，方便清理，解决腔体膜层残留，难以彻底清理的问题，方便更换，不影响镀膜节奏。不影响镀膜节奏。不影响镀膜节奏。

【技术实现步骤摘要】
一种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构


[0001]本技术涉及真空镀膜
，特别是涉及一种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构。

技术介绍

[0002]现有技术在parylene镀膜的过程中，将会镀膜腔体内部镀上一层厚厚的膜层，每次在制备对洁净度要求很高的产品时，都会由于腔体膜层清理不彻底导致成膜过程中particle较多影响膜层效果，因此需要定期对镀膜腔体内膜进行清理，需要手动撕下内腔膜层，膜层残留，存在难以彻底清理的问题，残留膜层需要专门的清理设备清理，清理过程繁杂，清理过程仲镀膜设备无法进行镀膜。
[0003]基于以上缺陷和不足，有必要对现有的技术予以改进，设计出一种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构。

技术实现思路

[0004]本技术主要解决的技术问题是提供一种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构，解决膜层残留，难以彻底清理的问题，解决清理设备影响镀膜节奏问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构，该种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构包括包括腔体，所述腔体放置有能够取出以及拆卸的内腔组件，所述腔体上还插装有与内腔组件相通的进料管道以及出料管道，所述腔体顶部设置有能够开合的盖板组件；所述内腔组件包括密封连接的下腔体和上腔体。
[0006]优选的是，所述下腔体和上腔体的连接处设置有连接法兰，连接法兰通过螺栓锁紧，连接法兰相对面通过密封圈密封。
[0007]优选的是，所述连接法兰上设置有一圈用于安装密封圈的密封凹槽。
[0008]优选的是，所述上腔体上安装有两便于取放的把手。
[0009]优选的是，所述腔体配置有至少两套内腔组件。
[0010]优选的是，所述盖板组件包括上盖板、铰支座、固定座、锁紧块以及手动螺丝，所述上盖板通过铰支座转动安装于腔体上部，上盖板伸出端和腔体上安装有相对的固定座，下方固定座上安装有锁紧块，锁紧块能够穿过上方固定座，锁紧块上设置有螺丝孔，手动螺丝从上方锁入螺丝孔内。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]在原有的大腔体内部设计一款小的能够取出拆卸的内腔组件，相对于大腔体，小的腔体能够在短时间内快速充满镀膜材料，镀膜质量好，内腔组件能够取下拆卸，方便清理，解决腔体膜层残留，难以彻底清理的问题，方便更换，不影响镀膜节奏。
附图说明
[0013]图1为一种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构的结构示意图。
[0014]图2为一种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构的剖视图。
[0015]图3为一种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构的内腔组件结构示意图。
[0016]图4为一种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构的盖板组件部分结构示意图。
[0017]其中，1、腔体；2、内腔组件，21、下腔体，22、上腔体，20、连接法兰，200、密封凹槽，23、密封圈，24、把手；3、进料管道；4、出料管道；5、盖板组件，51、上盖板，52、铰支座，3、固定座，54、锁紧块，55、手动螺丝。
具体实施方式
[0018]下面结合附图对本技术较佳实施例进行详细阐述，以使技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0019]请参阅图1至图4，本技术实施例包括：
[0020]一种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构，该种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构包括腔体1，所述腔体1放置有能够取出以及拆卸的内腔组件2，所述腔体1上还插装有与内腔组件2相通的进料管道3以及出料管道4，所述腔体1顶部设置有能够开合的盖板组件5；所述内腔组件2包括密封连接的下腔体21和上腔体22，所述下腔体21和上腔体22的连接处设置有连接法兰20，连接法兰20通过螺栓锁紧，所述连接法兰20上设置有一圈用于安装密封圈23的密封凹槽200，连接法兰20相对面通过密封圈密封23；所述上腔体22上还安装有两便于取放的把手24。
[0021]所述盖板组件5包括上盖板51、铰支座52、固定座53、锁紧块54以及手动螺丝55，所述上盖板51通过铰支座52转动安装于腔体1上部，上盖板51伸出端和腔体1上安装有相对的固定座53，下方固定座53上安装有锁紧块54，锁紧块54能够穿过上方固定座53，锁紧块54上设置有螺丝孔，手动螺丝55从上方锁入螺丝孔内。
[0022]一套腔体1可以配备两套甚至多套内腔组件2，当其中一套内腔组件2需要清理时，将其它干净的内腔组件置于腔体1内，继续进行镀膜，不影响生产节奏，内腔清理和镀膜可同时进行。
[0023]本技术一种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构工作时，镀膜前，将待镀膜产品置于内腔组件2内,密封组装好，将内腔组件2放置腔体1内，进料管道3以及出料管道4与内腔组件2接通，关闭盖板组件5并锁紧，parylene材料从进料管道3进入内腔组件2内开始镀膜，镀膜完成后，拆下进出料管道，将其它组内腔组件2重新装配镀膜，取出镀膜产品的内腔组件2可单独取至专门清洗设备处清理。
[0024]本技术一种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构，小的腔体能够在短时间内快速充满镀膜材料，镀膜质量好，内腔组件能够取下拆卸，方便清理，解决腔体膜层残留，难以彻底清理的问题，方便更换，不影响镀膜节奏。
[0025]以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构，其特征在于：包括腔体，所述腔体放置有能够取出以及拆卸的内腔组件，所述腔体上还插装有与内腔组件相通的进料管道以及出料管道，所述腔体顶部设置有能够开合的盖板组件；所述内腔组件包括密封连接的下腔体和上腔体。2.根据权利要求1所述的一种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构，其特征在于：所述下腔体和上腔体的连接处设置有连接法兰，连接法兰通过螺栓锁紧，连接法兰相对面通过密封圈密封。3.根据权利要求2所述的一种parylene热解CVD的可拆卸内腔结构，其特征在于：所述连接法兰上设置有一圈用于安装密封圈的密封凹槽。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅其裕，
申请(专利权)人：百腾科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：