一种安装静电卡盘组件的专用工具及其安装方法技术

本发明专利技术提供一种安装静电卡盘组件的专用工具及其安装方法，属于半导体设备技术领域，其中专用工具包括安装于静电卡盘组件上方的安装基础板，安装基础板上设置有把手；安装基础板上开设有多个支撑轴固定孔，支撑轴固定孔与定位孔相对应并在之间可拆卸地安装固定有支撑轴，支撑轴至少包括位于静电卡盘组件两侧的两个；安装孔中可拆卸地安装固定有向上延伸的导向柱，导向柱至少包括位于静电卡盘组件两侧的两个，导向柱与支撑轴的位置相错开。本方案通过导向柱保证了静电卡盘组件和腔体快速精确定位对齐，通过具有把手的安装基础板保证搬运安装过程方便省力且可控，防止磕碰划伤，大幅度提高静电卡盘组件与腔体的安装效率、准确性和一致性。确性和一致性。确性和一致性。

【技术实现步骤摘要】
一种安装静电卡盘组件的专用工具及其安装方法


[0001]本专利技术属于半导体设备
，具体地涉及一种安装静电卡盘组件的专用工具及其安装方法。

技术介绍

[0002]静电卡盘组件是半导体设备中常用的部件，例如在一种现有的化学气相沉积设备中，设备腔体底面上开设有六个安装孔，静电卡盘组件底面上开设有与其一一对应的六个定位孔，目前在安装静电卡盘组件时，要将静电卡盘组件搬运放入设备腔体中，并使定位孔与安装孔对齐，然后再通过专用的螺栓将静电卡盘组件与腔体底面紧固连接。其中使用的静电卡盘组件重约25kg，通常需要至少两人搬运，在放入腔体进行安装的过程中，其安装方位很难控制，极容易产生磕碰，划伤腔体侧壁及底面，造成硬件表面损坏及密封失效的问题。因此，在实际应用中，目前的安装方法无导向限位，存在着效率低、安装一致性差的缺点。

技术实现思路

[0003]基于现有技术存在的技术问题，本专利技术提供一种安装静电卡盘组件的专用工具及其安装方法，解决现有方案安装效率低、安装一致性差、安装过程易产生磕碰导致划伤及损坏的缺点。
[0004]依据本专本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种安装静电卡盘组件的专用工具，用于在将静电卡盘组件(A)安装至半导体设备的腔体(B)的过程中进行导向限位，所述腔体(B)的底面上开设有多个安装孔(B1)，所述静电卡盘组件(A)的底板上开设有多个定位孔(A1)，所述定位孔(A1)与所述安装孔(B1)的数量相同且位置一一对应；其特征在于，其包括安装于所述静电卡盘组件(A)上方的安装基础板(1)，所述安装基础板(1)上设置有把手(2)；所述安装基础板(1)上开设有多个支撑轴固定孔(3)，所述支撑轴固定孔(3)与所述定位孔(A1)相对应并在之间可拆卸地安装固定有支撑轴(4)，所述支撑轴(4)至少包括位于所述静电卡盘组件(A)两侧的两个；所述安装孔(B1)中可拆卸地安装固定有向上延伸的导向柱(5)，所述导向柱(5)至少包括位于所述静电卡盘组件(A)两侧的两个，所述导向柱(5)与所述支撑轴(4)的位置相错开。2.如权利要求1所述的安装静电卡盘组件的专用工具，其特征在于，所述支撑轴(4)的上端开设有螺孔，吊环螺栓(6)穿过所述支撑轴固定孔(3)与所述支撑轴(4)的所述螺孔相连接。3.如权利要求2所述的安装静电卡盘组件的专用工具，其特征在于，所述支撑轴固定孔(3)为阶梯孔，包括上段孔(31)和下段孔(32)，所述上段孔(31)的内径小于所述下段孔(32)的内径，所述支撑轴(4)的上端相匹配地嵌入于所述下段孔(32)中。4.如权利要求1所述的安装静电卡盘组件的专用工具，其特征在于，所述定位孔(A1)为阶梯孔，包括位于上方的具有内螺纹的沉头孔(A11)和位于下方相连通的下通孔(A12)，所述沉头孔(A11)的内径大于所述下通孔(A12)的内径。5.如权利要求4所述的安装静电卡盘组件的专用工具，其特征在于，所述支撑轴(4)的下端具有外螺纹并与所述沉头孔(A11)螺纹连接。6.如权利要求1
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5中任意一项所述的安装静电卡盘组件的专用工具...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓晨，张建，苏宇，郭鑫，李伟阳，赵云超，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：