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本发明提供一种安装静电卡盘组件的专用工具及其安装方法，属于半导体设备技术领域，其中专用工具包括安装于静电卡盘组件上方的安装基础板，安装基础板上设置有把手；安装基础板上开设有多个支撑轴固定孔，支撑轴固定孔与定位孔相对应并在之间可拆卸地安装固定...
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